一种用于干法硅烷制造的排渣的制造方法

文档序号:4272768阅读:134来源:国知局
一种用于干法硅烷制造的排渣的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于干法硅烷制造的排渣机,其包括排渣电机罩、排渣机筒体、转轴以及密封段;其中,所述排渣电机罩安装于密封段的一端,排渣机筒体安装于密封段的另一端;于所述排渣电机罩内收容有一排渣电机,该排渣电机和转轴联接;所述转轴穿过所述密封段和排渣机筒体;收容于排渣机筒体内的转轴上设有螺旋叶片和搅拌叶片。本实用新型的用于干法硅烷制造的排渣机利用螺旋叶片对疏松干渣物料进行挤压形成料封,使密封性好,能减少硅烷气体浪费;而搅拌叶片将物料再变得疏松,不仅减少了浪费,还解决了疏松干渣物料密封出料的问题。
【专利说明】一种用于干法硅烷制造的排渣机
【【技术领域】】
[0001]本实用新型涉及一种排渣机,具体涉及一种用于干法硅烷制造的排渣机,属于干法硅烷制造【技术领域】。
【【背景技术】】
[0002]众所周知,硅烷是发展电子气体必须的特种气体之一。随着微电子的发展,以硅化镁为硅源生产硅烷的工艺应运而生。以硅化镁、氯化铵为原料,液氨为介质,采用干法生产硅烷的工艺因其流程简单,设备投资小,硅烷收率高,越来越广泛的使用。
[0003]然而,上述干法生产硅烷的工艺中,由于减少了液氨的用量,疏松的含氨尾渣内会携带大量硅烷气体,造成浪费。同时也给尾渣的密封出料造成困难。
[0004]因此,为避免上述技术问题,确有必要提供一种新型的用于干法硅烷制造的排渣机,以克服现有技术中的所述缺陷。
【实用新型内容】
[0005]为解决上述问题,本实用新型的目的在于提供一种结构简单、密封性能好且能减少硅烷气体浪费的用于干法硅烷制造的排渣机。
[0006]为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:一种用于干法硅烷制造的排渣机,其包括排渣电机罩、排渣机筒体、转轴以及密封段;其中,所述排渣电机罩安装于密封段的一端,排渣机筒体安装于密封段的另一端;于所述排渣电机罩内收容有一排渣电机,该排渣电机和转轴联接;所述转轴穿过所述密封段和排渣机筒体;收容于排渣机筒体内的转轴上设有螺旋叶片和搅拌 叶片。
[0007]本实用新型的用于干法硅烷制造的排渣机进一步设置为:所述排渣电机罩外设有冷却夹套。
[0008]本实用新型的用于干法硅烷制造的排渣机还设置为:所述排渣机筒体靠近密封段的顶部设有一进渣口,该进渣口位于螺旋叶片的上方。
[0009]与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:本实用新型的用于干法硅烷制造的排渣机利用螺旋叶片对疏松干渣物料进行挤压形成料封,使密封性好,能减少硅烷气体浪费;而搅拌叶片将物料再变得疏松,不仅减少了浪费,还解决了疏松干渣物料密封出料的问题。
【【专利附图】

【附图说明】】
[0010]图1是本实用新型的用于干法硅烷制造的排渣机的示意图。
【【具体实施方式】】
[0011]请参阅说明书附图1所示,本实用新型为一种用于干法硅烷制造的排渣机,其由排渣电机罩1、排渣机筒体2、转轴3以及密封段4等几部分组成。[0012]其中,所述排渣电机罩I安装于密封段4的一端,而排渣机筒体2安装于密封段4的另一端。所述密封段4能防止尾渣中气体窜入排渣电机罩I内。
[0013]于所述排渣电机罩I内收容有一排渣电机5,该排渣电机5和转轴3联接,从而能驱动转轴3转动。所述排渣电机罩I外设有冷却夹套6,用循环水冷却为排渣电机5散热。
[0014]所述转轴3穿过所述密封段4和排渣机筒体2,且收容于排渣机筒体2内的转轴3上设有螺旋叶片7和搅拌叶片8。其中,所述螺旋叶片7对含氨尾渣有挤压作用,使气体排出,尾渣由疏松变得致密,并形成料封,使密封性好,能减少硅烷气体浪费。所述搅拌叶片8使致密尾渣变得疏松,有利于出料。
[0015]进一步的,所述排渣机筒体2靠近密封段4的顶部设有一进渣口 9,其安装在硅烷发生器尾渣出料口处。该进渣口 9位于螺旋叶片7的上方。
[0016]以上的【具体实施方式】仅为本创作的较佳实施例,并不用以限制本创作,凡在本创作的精神及原则之内所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本创作的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种用于干法硅烷制造的排渣机,其特征在于:包括排渣电机罩、排渣机筒体、转轴以及密封段;其中,所述排渣电机罩安装于密封段的一端,排渣机筒体安装于密封段的另一端;于所述排渣电机罩内收容有一排渣电机,该排渣电机和转轴联接;所述转轴穿过所述密封段和排渣机筒体;收容于排渣机筒体内的转轴上设有螺旋叶片和搅拌叶片。
2.如权利要求1所述的用于干法硅烷制造的排渣机,其特征在于:所述排渣电机罩外设有冷却夹套。
3.如权利要求1所述的用于干法硅烷制造的排渣机,其特征在于:所述排渣机筒体靠近密封段的顶部设有一进渣口,该进渣口位于螺旋叶片的上方。
【文档编号】B65G33/26GK203544975SQ201320735487
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2013年11月21日 优先权日:2013年11月21日
【发明者】李耀文, 耿彩军, 刘斌, 张增玉, 孙佳杰 申请人:李耀文
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