1.一种带有冷却装置的硅片清洗机，包括硅片清洗机本体，其特征在于：在清洗机本体的下料台上方设置有冷风通道，所述冷风通道通过风管与冷气机相连，由冷气机向冷风通道输送冷风。
2.根据权利要求1所述的带有冷却装置的硅片清洗机，其特征在于：所述冷风通道出风口位于下料台始端。
3.根据权利要求2所述的带有冷却装置的硅片清洗机，其特征在于：所述出风口内设置有导向板，所述导向板向下料台尾端方向倾斜。
4.根据权利要求2或3所述的带有冷却装置的硅片清洗机，其特征在于：所述冷风通道尾部设置有回风管，所述回风管与冷气机进气口相连。
5.根据权利要求4所述的带有冷却装置的硅片清洗机，其特征在于：所述回风管内设置有回风风机。
6.根据权利要求5所述的带有冷却装置的硅片清洗机，其特征在于：所述回风风机为轴流风机。
7.根据权利要求1-3任一项所述的带有冷却装置的硅片清洗机，其特征在于：所述冷风通道高度为250-350mm。