半导体测试设备和方法、以及数据分析设备与流程

技术特征：

技术总结
一种半导体测试设备，其包括：致动器，其保持辐射源并调整所述辐射源与样品之间的距离；以及控制器，其控制所述致动器的操作，并基于所述辐射源与所述样品之间的距离来计算所述样品的软错误率(SER)。所述控制器计算所述样品的SER在该处变为零的、所述辐射源与所述样品之间的第一距离，并基于所述第一距离来计算所述样品的金属‑介电比。

技术研发人员：李淳永;裵相右
受保护的技术使用者：三星电子株式会社
技术研发日：2016.09.14
技术公布日：2017.08.18