技术特征：
技术总结
本发明涉及晶片检查。本发明揭示一种经配置以检查晶片的系统，该系统包括照明子系统，其经配置以使由所述照明子系统将多个脉冲光束中的第一者引导到晶片上的区域在时间上早于将所述多个脉冲光束中的第二者引导到所述区域；扫描子系统，其经配置以使所述多个脉冲光束跨所述晶片进行扫描；集光子系统，其经配置以使从所述晶片上的所述区域散射的光成像到一个或多个传感器；计算机子系统，其经配置以使用所述一个或多个传感器的所述输出来检测所述晶片上的缺陷。本发明中的系统可优化检查速度及/或灵敏性。
技术研发人员：阿纳托利·罗曼诺夫斯基;伊万·马列夫;丹尼尔·卡瓦尔德杰夫;尤里·尤迪特斯凯;迪尔克·沃尔;史蒂文·比耶拉卡
受保护的技术使用者：科磊股份有限公司
技术研发日：2012.07.10
技术公布日：2017.08.18