专利名称：正型感光性树脂组合物、图形固化膜的制造方法以及电子部件的制作方法
技术领域：
本发明涉及正型感光性树脂组合物、图形固化膜、其制造方法以及电子部件。更具体地，涉及可以成膜为例如半导体元件的表面保护膜和/或层间绝缘膜的正型感光性树脂组合物、以及使用该组合物的耐热性图形固化膜的制造方法。
背景技术：
以往，对于半导体元件的层间绝缘膜和表面保护膜而言，使用兼有优异的耐热性、电特性和机械特性的聚酰亚胺树脂、聚苯并唑树脂。近年来，在半导体元件的进ー步高集成化和大型化的进行中，要求密封树脂包装的薄型化、小型化。此外，逐渐采用利用LOC (芯片上引线封装)、回流焊接的表面安装等方 法，相比于以前，机械特性、耐热性等优异的聚酰亚胺树脂日益成为必需。对应于这些要求，一直使用赋予聚酰亚胺树脂自身以感光性的感光性聚酰亚胺。通过使用感光性聚酰亚胺，能够简化图形制作エ序，能够缩短繁杂的制造エ序。对于用以往的感光性聚酰亚胺或其前体形成的耐热性光致抗蚀剂、其用途而言，已经有了很好的了解。作为这些技术的发展，最近，提出过能够用碱水溶液显影的正型感光性树脂组合物。对于正型感光性聚酰亚胺而言，可以举出在聚酰亚胺前体中通过酯键导入2-硝基苄基的方法(例如非专利文献I)、在可溶性ニ羟基酰亚胺或聚苯并《恶唑前体中混合重氮萘醌化合物的方法(例如专利文献I和2)、在聚酰亚胺前体中混合重氮萘醌的方法(例如专利文献3)等。使用在正型感光性树脂组合物中添加氧杂环丁烷化合物的方法，常常是为了防止显影时发生显影残留(浮渣)或者为了提高耐回流性、耐溶剂性(例如专利文献4、5)，但对于这些组合物而言，用于促进氧杂环丁烷化合物开环的铝络合物、活性硅化合物是必需的。另ー方面，近年来，从周期短和低成本的观点考虑，正在过渡到用无电解镀覆形成Ni膜和Au膜、用激光附着焊球的表面安装エ序。在无电解镀覆中，特别地，有使用pH为13以上的强碱性溶液处理的被称为锌酸盐处理的エ序，其需要对于该强碱性溶液的耐受性优异的聚苯并》恶唑树脂、聚酰亚胺树脂(例如非专利文献2)。但是，迄今的使用聚苯并》恶唑树脂、聚酰亚胺树脂的正型感光性树脂组合物，难以同时满足对于g射线和i射线表现出高灵敏度和高分辨率、并且可以用通用显影液显影、进而对于强碱耐受性优异的性能。现有技术文献专利文献专利文献I:日本特公昭64-60630号公报专利文献2:美国专利第4395482号说明书专利文献3:日本特开昭52-13315号公报专利文献4:日本特开2008-145579号公报
专利文献5:国际公开第07/063721号小册子非专利文献非专利文献I: J. Macromol. Sci.，Chem.，vol. A24, 12，1407 (1987 年)非专利文献2: “表面技木”社団法人表面技术协会发行，vol. 47 (1996)，p. 529
发明内容
鉴于上述情况，本发明的目的是提供一种可以用通用显影液显影、对于在无电解镀覆エ序中使用的强碱性溶液耐受性优异的正型感光性树脂组合物。本发明涉及以下发明。I. 一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含(a)可溶于碱性水溶液的树脂、(b)具有两个以上氧杂环丁烷基的化合物、(c)重氮萘醌化合物、以及(d)溶剤。2.根据I所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述(a)成分是具有酚羟基的聚合物。3.根据I或2所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述(a)成分是具有下述式(I)所示的结构单元的聚合物，[化I]
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权利要求
1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含(a)可溶于碱性水溶液的树脂、(b)具有两个以上氧杂环丁烷基的化合物、(C)重氮萘醌化合物、以及(d)溶剂。
2.根据权利要求I所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述(a)成分是具有酚羟基的聚合物。
3.根据权利要求I或2所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述(a)成分是具有下述式(I)所示的结构单元的聚合物，
4.根据权利要求f3中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述(b)成分是下述式所示的化合物，
5.根据权利要求广4中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，相对于(a)成分100重量份，含有(b)成分f 40重量份、(c)成分f 50重量份。
6.一种固化膜，其特征在于，其是使权利要求1飞中任一项所述的正型感光性树脂组合物固化而得到的。
7.一种图形固化膜的制造方法，其特征在于，包含将权利要求I飞中任一项所述的正型感光性树脂组合物涂布在支持基板上，并干燥而形成感光性树脂膜的工序；将所述感光性树脂膜曝光的工序；将所述曝光后的感光性树脂膜用碱水溶液显影而得到图形树脂膜的工序；以及对所述图形树脂膜进行加热处理而得到图形固化膜的工序。
8.一种电子部件，其设有权利要求6所述的固化膜作为层间绝缘膜层或表面保护膜层。
全文摘要
一种正型感光性树脂组合物，其特征在于包含(a)可溶于碱性水溶液的树脂、(b)一分子中具有两个以上氧杂环丁烷基的化合物、(c)重氮萘醌化合物、以及(d)溶剂。
文档编号H01L21/027GK102713753SQ201180006528
公开日2012年10月3日 申请日期2011年1月18日 优先权日2010年1月21日
发明者大江匡之, 小谷真志, 小野敬司, 峰岸知典, 绀野琢 申请人:日立化成杜邦微系统股份有限公司