存储元件及其制造方法与流程

文档序号:12160142阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种存储元件及其制造方法,存储元件包括多个第一导线层、多个支撑结构以及电荷储存层。每一第一导线层沿着第一方向与第二方向所定义的平面延伸。每一第一导线层具有沿着第一方向延伸的多条第一导线。支撑结构位于相邻的第一导线层之间。支撑结构的形状与第一导线不同。电荷储存层覆盖第一导线上表面、下表面、两侧表面以及支撑结构的表面。

技术研发人员:裘元杰;洪士平;钟曜安
受保护的技术使用者:旺宏电子股份有限公司
文档号码:201510488836
技术研发日:2015.08.11
技术公布日:2017.03.01

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