如一个干粟，当发生故障的时候，软件会抛出报警提示，此干粟识别为一个软件的部件； 如一个螺丝钉，坦然有此部件，但是软件不会抛出关于此螺丝钉的报警，所W不识别为一个 软件的部件。
[0055] 将确定的报警部件号及报警类型号编写到程序代码中，工艺加工过程中，当机台 设备（工艺加工硬件设备）反馈信号异常时，控制程序在抛出报警时抛出特定的报警序号。
[0056] 本发明实施例的半导体设备报警处理的方法，通过定义每一报警对应的部件的编 号，及不同类型的报警对应的报警类型编号，使设备在抛出故障报警时，抛出特定的带有含 义的报警序号。工艺加工人员可根据报警序号直接定位到发生故障的设备的机械部件，女口 是冷却器，温控器或者是干粟出现了问题。省去了传统技术中查看报警的详细描述的步骤。 更避免了由于工艺加工人员和控制软件开发人员之间的沟通问题。使工艺加工人员可快速 定位并排除障碍，提高工艺加工生产的效率。
[0057] 在其中一个半导体设备报警处理的方法的实施例中，报警序号为当前报警的报警 部件号在前，报警类型号在后构成的数字组合。如，报警部件号采用三位数字表示时，则可 根据报警序号中的前三位确定发生故障的部件，报警序号的后几位则表示报警类型。
[0058] 在其中一个半导体设备报警处理的方法的实施例中，步骤S300,当收到设备异常 信号时，则发出包括报警部件号及报警类型号的报警序号，包括W下步骤：
[0059] 步骤A，读取设备异常信号对应的预设报警序号。如前所述，由报警部件号和报警 类型号构成的报警序号预先编写到程序代码中，程序执行到相应位置时的报警对应固定的 报警序号。读取固定的报警序号，即预设报警序号，W便发出报警时使用。此处需耍说明的 是，也可采用预设配置文件的方式一一对应的设置报警及其相应的报警序号。在收到设备 异常信号后，从配置文件中读取相应的报警序号。
[0060] 步骤B，将预设报警序号与其他报警参数，如报警名字，简单描述，详细描述，严重 级别等，一起组成一个完整的报警，并发出。
[0061] 与传统技术相类似，本发明实施例中当半导体设备出现故障时，发出包括报警名 字、数字（报警序号）、简单描述（message)及详细描述（description)等信息在内的报警。 简单描述是对报警的一个概耍的说明，如通讯故障等；而详细描述是对报警较为详细的描 述，如，上位机发出信号，下位机没有响应，或者下位机温度值未在设定范围等。相对于传统 技术的无意义数字，本发明实施例发出的报警中的序号是唯一确定的，可根据其定位到具 体的出故障的部件及发生故障的类型。再结合报警的其他参数一起，更加准确的确定设备 故障原因，从而确定解决方案，快速解决机台设备故障，恢复生产。减小设备故障损失。
[0062] 在其中一个半导体设备报警处理的方法的实施例中，还包括W下步骤：
[0063]S010,将半导体设备中的报警部件与报警部件号一一对应，并存储到数据库中。
[0064]S020,将报警类型号与报警类型号的含义一一对应，并存储到数据库中。
[0065] 较佳地，作为一种可实施方式，可建立报警类型号与报警类型号的含义一一对应 的报警类型号对照表，并将报警类型号对照表存储到数据库中。
[0066] 本发明实施例中，将报警部件号及报警类型号存储到数据库中，W便工艺加工人 员在设备抛出报警时，根据报警的序号到数据库查找相应的含义，确定故障的部件及故障 的具体含义，而不用通过具体咨询开发人员，减少时间的浪费，提高生产的整体效率。即便 在需耍咨询开发人员时，开发人员也可通过报警序号迅速判断报警情况，加速报警故障处 理速度。
[0067] 较佳地，将报警部件与部件号对照关系及报警类型号及对应含义存储到数据库 中，也可在发出报警后录入报警序号到计算机，由计算机在数据库中查找报警序号对应的 报警部件及报警类型号对应的含义，并W弹框或者打印的方式告知工艺加工人员。
[0068] 其中步骤SOlO和步骤S020没有严格的前后顺序，且此两步骤的实施可W在编写 程序代码之前完成，也可在完成工艺执行程序之后，根据编写的工艺执行程序中的代码构 建相应的部件号对照表及报警类型号对照表。
[0069] 在其中一个半导体设备报警处理的方法的实施例中，报警部件号为三位或者三位W上的数字；报警类型号为三位或者三位W上的数字。
[0070] 为了使得number显示地整齐统一，设置报警部件号，需耍遵循一个规则。如报警 部件号采用三位数字表示，数字范围需耍从100到999,而不采用0到99的数字，报警类型 号也采用三位数字的表示方式，这样报警的number号就能统一用六位数字表示，而不会出 现四位数、五位数等。
[0071] 较佳地，作为一种可实施方式，可建立半导体设备中报警部件与报警部件号一一 对应的报警部件号对照表，并将报警部件号对照表存储到数据库中。
[0072] 在其中一个半导体设备报警处理的方法的实施例中，根据部件添加到报警部件号 对照表中的顺序确定部件对应的报警部件号，报警部件号逐渐累加。如表1所示。
[0073] 表1按加入顺序编号的部件报警号对照表
[0074]
[0075]
[0076] 在其中一个半导体设备报警处理的方法的实施例中，将半导体设备中所有可能发 出报警的报警部件按照实现功能划分为多个模块，不同的模块对应不同的报警部件号段。 比如真空气路模块的部件从100开始到199结束，温控模块从200开始到299结束，射频模 块从300开始到399结束等。如表2所示。
[0077] 表2按照划分模块编号的部件报警号对照表
[0078]
[0079] 此处需耍说明的是，对半导体工艺加工设备中包含有大量的设备部件，对所有的 可能发出报警的报警部件进行编号；而机台设备中还包含有很多和设备报警无关的部件， 对于此部分部件不进行编号，减小后续按照编号查询设备的工作量，也减小报警部件对照 表的大小。节省人力、物力资源。
[0080] 同样，根据报警类型的不同，可W将不同大类的报警类型对应不同的报警类型号 区间段，如表3所示。
[0081] 表3报警类型号段划分
[0082]
[0083] 此处需耍说明的是上表中的设值型的互锁报警的报警类型号设置在0 - 99之间， 但在编写报警序号时采用三位数字表示的形式，保证生成的报警序号为统一的6位数字。
[0084] 根据上面的报警类型号划分的范围构建的报警类型号对照表如表4所示。每一报 警类型号对应一个具体的含义。
[0085] 表4报警类型号对照表
[0086]
[0088] 在前述的多个实施例中，每个报警部件号都唯一的对应一个部件，使工艺加工人 员可毫无误差的通过报警部件号确定报警部件。
[0089] 在其中一个半导体设备报警处理的方法的实施例中，还包括W下步骤：
[0090] S400,从数据库中查找半导体设备发出的报警序号对应的报警部件及报警类型。
[0091] 如W冷却器为例，设其部件号为100,则此设备相关的报警序号的含义如表5所 /Jn O
[0092] 表日冷却器报警序号及相应含义
[0095] 工艺加工人员可根据报警序号对应的具体含义对生产加工设备故障进行处理，W 便尽快恢复正常的工艺加工，提高生产效率。
[0096] 基于同一发明构思，本发明实施例提供一种半导体设备报警处理的装置，由于此 装置解决问题的原理与前述一种半导体设备报警处理的方法相似，因此，该装置的实施可 W按照前述方法的具体步骤实现，重复之处不再费述。
[0097] 本发明实施例的一种半导体设备报警处理的装置，如图2所示，包括信号接收模 块100,异常判断模块200,W及报警模块300。其中；所述信号接收模块100,用于接收机台 设备的反馈信号；所述异常判断模