环7设置于沉孔114内。第一通孔71与出风口 22连通。风道内的气体经出风口 22、第一通孔71吹入沉孔114内。
[0066]同一个衬环7上的第一通孔71的延伸方向m与该衬环7的径向η夹角β均大于等于90°、小于180° (如图14所示)，或同一个衬环7上的第一通孔71的延伸方向m与该衬环7的径向η夹角β均大于0°、小于等于90° (如图15所示)。从而使每个衬环7吹出的气体形成涡流，在沉孔114中央形成负压。利用负压吸附晶圆，将晶圆吸附在基板I上。
[0067]衬环7的个数为偶数。沿圆周方向相邻的两个衬环7，其中一个衬环7上的第一通孔71的延伸方向m与该衬环7的径向y夹角β均大于等于90°、小于180°，另一个衬环7上的第一通孔71的延伸方向m与该衬环7的径向y夹角β均大于0°、小于等于90°。从而使沿圆周方向相邻的两个衬环7内的涡流旋转方向相反，确保新型晶圆搬运机械手具有均衡的吸附力，避免晶圆转动或发生偏移，提高晶圆搬运的稳定性。
[0068]实施例1中，为加工方便，一般采用常规切割工艺加工子凹槽3，使子凹槽3沿基板厚度方向的截面仅能呈矩形。而本实施例中的衬环7可拆卸安装在基板I上，采用常规的切割工艺即可在衬环7上加工出沿衬环厚度方向截面呈圆形、半圆形、椭圆形、矩形、三角形等各种形状的第一通孔71。本实施例中的优选方案，第一通孔71沿衬环厚度方向的截面呈圆形。
[0069]本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。
【主权项】
1.新型晶圆搬运机械手，其特征在于，包括基板；所述基板上设有第一风道，所述第一风道设置有进风口和出风口 ；所述进风口与所述出风口通过所述第一风道连通；气体自所述进风口吹入所述第一风道后从所述出风口吹出；所述基板上设有多个沉孔，多个所述沉孔沿圆周方向分布；所述出风口开设于所述沉孔的侧壁上；每个沉孔的侧壁上设置至少一个所述出风口 ；所述基板上设有抽气槽；所述抽气槽凸出所述基板的表面，围绕所述多个沉孔。
2.根据权利要求1所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，每个沉孔侧壁上设置的所述出风口数目为多个，所述多个出风口沿圆周方向分布。
3.根据权利要求1所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，所述沉孔为圆形。
4.根据权利要求1、2或3所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，所述第一风道包括出风孔；所述出风孔自所述出风口向所述基板内延伸；同一个沉孔内的出风孔的延伸方向与该沉孔的径向夹角α均大于等于90°、小于180°，或同一个沉孔内的出风孔的延伸方向与该沉孔的径向夹角α均大于0°、小于等于90°。
5.根据权利要求4所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，所述沉孔的个数为偶数；沿圆周方向相邻的两个沉孔，其中一个沉孔内的出风孔的延伸方向与该沉孔的径向夹角α均大于等于90°、小于180°，另一个沉孔内出风孔的延伸方向与该沉孔的径向夹角α均大于0°、小于等于90°。
6.根据权利要求1、2或3所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，所述基板包括基板本体和第一盖板；所述第一盖板与所述基板本体连接；所述基板本体上设置有第一凹槽；所述第一盖板将所述第一凹槽封住形成所述第一风道。
7.根据权利要求6所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，所述沉孔设置于所述基板本体正表面，并自所述基板本体正表面向所述基板本体后表面延伸；所述第一凹槽设置于所述基板本体的后表面，并自所述基板本体后表面向所述基板本体正表面延伸；所述第一盖板安装于所述基板本体后表面上。
8.根据权利要求1所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，还包括衬环，所述衬环侧壁设置有多个第一通孔；所述多个第一通孔沿圆周方向分布；所述衬环设置于所述沉孔内；所述第一通孔与所述出风口连通；所述风道内的风经所述出风口、所述第一通孔吹入所述沉孔内。
9.根据权利要求8所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，同一个衬环上的第一通孔的延伸方向与该衬环的径向夹角β均大于等于90°、小于180°，或同一个衬环上的第一通孔的延伸方向与该衬环的径向夹角β均大于0°、小于等于90°。
10.根据权利要求9所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，所述衬环的个数为偶数；沿圆周方向相邻的两个衬环，其中一个衬环上的第一通孔的延伸方向与该衬环的径向夹角β均大于等于90°、小于180°，另一个衬环上的第一通孔的延伸方向与该衬环的径向夹角β均大于0°、小于等于90°。
11.根据权利要求8所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，所述第一通孔沿基板厚度方向的截面呈圆形。
12.根据权利要求1所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，所述基板上设有第二通孔；所述多个沉孔围绕所述第二通孔设置。
13.根据权利要求1所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，所述基板上还设有至少一个凸块；所述凸块凸出所述基板的表面。
14.根据权利要求13所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，所述凸块设置于所述沉孔内；所述凸块与所述沉孔侧壁具有间隙。
15.根据权利要求14所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，所述抽气槽的开口与所述凸块的端面处在不同的水平面上。
16.根据权利要求1所述的晶圆机搬运机械手，其特征在于，所述基板还设有第二风道；所述抽气槽通过所述第二风道与抽气装置连通；所述基板包括基板本体和第二盖板；所述第二盖板与所述基板本体连接；所述基板本体上设置有第二凹槽；所述第二盖板将所述第二凹槽封住形成所述第二风道；所述抽气槽设置于所述基板本体正表面，并自所述基板本体正表面向所述基板本体后表面延伸；所述第二凹槽设置于所述基板本体的后表面，并自所述基板本体后表面向所述基板本体正表面延伸；所述第二盖板安装于所述基板本体后表面上。
17.根据权利要求1所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，还包括检测装置；所述检测装置用于检测所述基板是否吸住晶圆。
18.根据权利要求17所述的新型晶圆搬运机械手，其特征在于，所述检测装置为光电检测器。
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型晶圆搬运机械手，其特征在于，包括基板；所述基板上设有第一风道，所述第一风道设置有进风口和出风口；所述进风口与所述出风口通过所述第一风道连通；气体自所述进风口吹入所述第一风道后从所述出风口吹出；所述基板上设有多个沉孔，多个所述沉孔沿圆周方向分布；所述出风口开设于所述沉孔的侧壁上；每个沉孔的侧壁上设置至少一个所述出风口；所述基板上设有抽气槽；所述抽气槽凸出所述基板的表面，围绕所述多个沉孔。本实用新型提供的新型晶圆搬运机械手，当基板贴近晶圆时，利用沉孔侧壁吹出的气形成涡流，在沉孔中央形成负压。利用负压可吸附晶圆，将晶圆吸附在基板上。
【IPC分类】H01L21-67, H01L21-683, H01L21-677
【公开号】CN204271057
【申请号】CN201420744634
【发明人】韩良华
【申请人】上海技美电子科技有限公司
【公开日】2015年4月15日
【申请日】2014年12月1日