显示对位标记位置的方法,阵列基板及其制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及阵列基板的制备领域，特别涉及一种显示对位标记位置的方法，阵列基板及其制备方法。
【背景技术】
[0002]现有的液晶显示面板中，已经存在将彩膜层直接形成在阵列基板上(Colorfilter On Array，简称COA)的技术，该技术能够提高液晶显示面板的开口率，进而提高液晶显示面板的亮度和画面品质。这样的阵列基板的制备过程，包括如下步骤:
[0003]步骤1:在衬底基板之上形成对位标记和薄膜晶体管开关；在对位标记，薄膜晶体管开关和衬底基板之上形成第一隔离层；
[0004]步骤2:在第一隔离层的表面涂覆黑矩阵材料，形成黑矩阵材料膜层，即对位标记之上覆盖有第一隔离层和黑矩阵材料膜层，这样，对位标记被第一隔离层和黑矩阵材料膜层遮盖住，不能显示出对位标记的位置；
[0005]步骤3:曝光机以对位标记进行对位，对黑矩阵材料膜层进行曝光，形成与前序工艺的其他图形相对位的黑矩阵图形。现有的曝光机与对位标记的对位是透射光方式。由于黑矩阵材料膜层的光密度较高，会导致曝光机无法清晰的识别黑矩阵材料膜层下的对位标记。
【发明内容】
[0006]本发明提供了一种显示对位标记位置的方法，阵列基板及其制备方法，与现有技术相比，解决了不能显示出对位标记的位置的技术问题。
[0007]为达到上述目的，本发明提供以下技术方案:
[0008]一种显示对位标记位置的方法，包括如下步骤:
[0009]在衬底基板的第一板面形成对位标记；
[0010]形成覆盖所述对位标记的第一隔离层；
[0011]在所述第一隔离层形成过孔，露出所述对位标记；
[0012]在所述过孔处涂覆第一极性涂料，形成第一极性涂料图形；
[0013]在所述第一极性涂料图形和第一隔离层的表面涂覆无法附着在第一极性涂料表面的第二极性材料，形成第二极性涂料膜层。
[0014]优选的，所述第一极性涂料是亲水性涂料，所述第二极性材料是疏水性黑色材料。
[0015]优选的，所述亲水性涂料是超亲水性涂料，持续亲水角小于5度，原生粒径为5?50纳米，比表面积大于200平方米每克。
[0016]本发明还提供以下技术方案:
[0017]一种阵列基板的制备方法，包括如下步骤:
[0018]在衬底基板的第一板面形成对位标记和薄膜晶体管开关；
[0019]形成覆盖所述对位标记，薄膜晶体管开关和衬底基板的第一隔离层；
[0020]在所述第一隔离层形成过孔，露出所述对位标记；
[0021]在所述过孔处涂覆第一极性涂料，形成第一极性涂料图形；
[0022]在所述第一极性涂料图形和第一隔离层的表面涂覆第二极性黑矩阵材料，所述第二极性黑矩阵材料在所述第一极性涂料表面无法附着，所述第二极性黑矩阵材料和第一极性涂料图形之间形成边界，显示出所述对位标记的位置。
[0023]优选的，所述第一极性涂料是亲水性涂料，所述第二极性黑矩阵材料是疏水性黑矩阵材料。
[0024]优选的，所述亲水性涂料是超亲水性涂料，持续亲水角小于5度，原生粒径为5?50纳米，比表面积大于200平方米每克。
[0025]优选的，所述第一极性涂料是曝光机可透过的亲水性涂料；
[0026]所述阵列基板的制备方法还包括以下步骤:
[0027]曝光机透过所述第一极性涂料识别所述对位标记，根据对位标记进行对位，对所述黑矩阵材料进行曝光，形成黑矩阵图形。
[0028]优选的，还包括如下步骤:
[0029]在所述黑矩阵图形形成的空间内形成像素。
[0030]优选的，所述在衬底基板的第一板面形成薄膜晶体管开关具体包括如下步骤:
[0031]在衬底基板的第一板面形成与所述对位标记位于同一层的栅极；
[0032]形成覆盖所述栅极，对位标记和衬底基板的栅极绝缘层；
[0033]在所述栅极绝缘层的表面且位于栅极上方的位置形成有源层；
[0034]在所述有源层和栅极绝缘层的表面形成跨接在所述有源层表面的源极和漏极；所述第一隔离层覆盖所述源极，漏极，有源层和栅极绝缘层。
[0035]本发明还提供以下技术方案:
[0036]一种阵列基板，采用所述的阵列基板的制备方法制备的阵列基板。
[0037]本发明提供的显示对位标记位置的方法，对位标记形成在衬底基板的第一板面且位于第一隔离层的过孔内；在过孔处涂覆第一极性涂料，形成第一极性涂料图形；在第一极性涂料图形和第一隔离层的表面涂覆无法附着在第一极性涂料表面的第二极性材料，形成第二极性涂料膜层。这样，虽然对位标记被第一极性涂料图形覆盖，但是由于第一极性涂料图形的表面没有第二极性材料，而第一隔离层表面除过孔处的位置形成第二极性涂料膜层，使得所述第二极性材料膜层和第一极性涂料图形之间形成边界，通过边界可以显示出对位标记的位置。
【附图说明】
[0038]图1为本发明的一个实施例的显示对位标记位置的方法的流程图；
[0039]图2为本发明的一个实施例的阵列基板的制备方法的流程图；
[0040]图3为图2所示的在衬底基板的第一板面形成对位标记和薄膜晶体管开关的示意图；
[0041]图4为图2所示的形成覆盖所述对位标记，薄膜晶体管开关和衬底基板的第一隔离层的示意图；
[0042]图5为图2所示的在所述第一隔离层形成过孔，露出所述对位标记的示意图；
[0043]图6为图2所示的在所述过孔处涂覆第一极性涂料，形成第一极性涂料图形的示意图；
[0044]图7为图2所示的在所述第一极性涂料图形和第一隔离层的表面涂覆无法附着在第一极性涂料表面的第二极性黑矩阵材料，形成第二极性黑矩阵涂料膜层的示意图。
[0045]主要元件附图标记说明:
[0046]100衬底基板，200对位标记，310栅极，320栅极绝缘层，330有源层，
[0047]400第一隔离层，410过孔，
[0048]510第一极性涂料图形，520第二极性黑矩阵涂料膜层。
【具体实施方式】
[0049]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0050]实施例一
[0051]本发明的一个实施例的显示对位标记位置的方法，如图1所示，包括如下步骤:
[0052]步骤SlOl:在衬底基板的第一板面形成对位标记；
[0053]步骤S102:形成覆盖所述对位标记的第一隔离层；
[0054]步骤S103:在所述第一隔离层形成过孔，露出所述对位标记；
[0055]步骤S104:在所述过孔处涂覆第一极性涂料，形成第一极性涂料图形；
[0056]步骤S105:在所述第一极性涂料图形和第一隔离层的表面涂覆无法附着在第一极性涂料表面的第二极性材料，形成第二极性涂料膜层。
[0057]本实施例的显示对位标记位置的方法，对位标记形成在衬底基板的第一板面且位于第一隔离层的过孔内；在过孔处涂覆第一极性涂料，形成第一极性涂料图形；在第一极性涂料图形和第一隔离层的表面涂覆无法附着在第一极性涂料表面的第二极性材料，形成第二极性涂料膜层。这样，虽然对位标记被第一极性涂料图形覆盖，但是由于第一极性涂料图形的表面没有第二极性材料，而第一隔离层表面除过孔处的位置形成第二极性涂料膜层，使得所述第二极性材料膜层和第一极性涂料图形之间形成边界，通过边界可以显示出对位标记的位置。
[0058]作为一种优选的方式，所述第一极性涂料是亲水性涂料，所述第二极性材料是疏水性材料。
[0059]为了更好地使第二极性涂料不附着在第一极性涂料的表面，所述第一极性涂料采用超亲水性涂料，持续亲水角小于5度，原生粒径为5?50纳米，比表面积大于200平方米每克。这样，第一极性涂料图形的表面附着第二极性涂料几率更小，第二极性涂料膜层和第一极性涂料图形之间形成的边界更加清晰，能更清晰的显示出对位标记的位置。
[0060]作为一种优选的方