械手指21动作的方式求出作为驱动源的各驱动电动机的旋 转角度的补偿量。接收了关于该已补偿的各驱动电动机的旋转角度的数据的机器人控制部 35按照已补偿的数据，使真空运送机器人15动作。
[0116] W上为第1补偿量计算方法的说明。在该里，作为应注意的事宜是，为了进行形成 于半导体晶圆5上的槽、主定位边的定位而形成的缺口部分的存在。如前面所述，接纳于 F0UP4中且从前一步骤而运送来的半导体晶圆5通过设置于EFEM2中的对准器10,进行 槽、主定位边的对位处理。该槽、主定位边的对位处理按照全部的半导体晶圆5的槽或主定 位边朝向相同方向的方式进行。由于该情况，摄像机24可按照视野28设定于不存在半导 体晶圆5的槽、主定位边的位置的方式设置。或者，由于即使在槽存在于视野28的内部的 情况下，仍可从摄像机24的图像，抽取槽，故在确定边缘上的地点时，可确定为不存在主定 位边的位置。
[0117](第2错位量检测方法）
[0118] 在前述的第1方法中，采用位于基准位置的半导体晶圆5(基准圆36)的顶点C的 Y坐标Y3,与实际上搭载于生产线上而运送的半导体晶圆5 (计量圆37)的顶点H的Y坐标 Y6,计算各中方点01、02的X坐标a、c。接着，对不采用各顶点C、H的Y坐标而计算中方点 01、02的X坐标a、c的方法进行说明。附图采用在第1补偿量计算方法中所采用的图8、图 9。
[0119] 首先，如果将针对前述的基准圆36的式（5)整理为计算中屯、点01的Y坐标b的 计算式，则得到下述的式（13)。
[0120] b= (-2 狂 1-X2)a巧 12-X22巧i2-Y巧/2(Y1-Y2) ......(13)
[0121] 另外，如果将针对前述的计量圆37的式（11)整理为计算中方点02的Y坐标d的 计算式，则得到下述的式（14)。
[0122] d= {-2 狂 1-X2)c巧 12-X22巧42-Y52}/2(Y4-Y5) ......(14)
[0123] 在该里，将式（13)代入式（1)中，在展开的场合，得到下述的式（15):
[0124](数学公式1)
[012引 b= (-2 狂 1-X2)a巧 12-X22巧i2-Y巧/2(Y1-Y2) ......(13)
[0126] 在该里，为了简化公式，则得到b = A?a+B。
【主权项】
1. 一种位置检测装置，该位置检测装置检测保持于支承部件上的圆盘状衬底的位置， 该支承部件能沿规定的轨道上而移动，其特征在于， 该位置检测装置包括： 1台摄像机，该摄像机在保持上述圆盘状衬底的支承部件位于规定的监视位置时，对圆 盘状衬底的周缘部进行摄像； 边缘抽取部，该边缘抽取部从通过上述摄像机拍摄的上述圆盘状衬底的周缘部的摄像 数据中，抽取上述圆盘状衬底的边缘； 坐标检测部，该坐标检测部根据通过上述边缘抽取部抽取的边缘数据，检测上述圆盘 状衬底的中心位置坐标。
2. 根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，上述摄像机仅仅对上述圆盘状 衬底的一部分进行摄像。
3. 根据权利要求1或2所述的位置检测装置，其特征在于，上述坐标检测部根据上述边 缘数据上的两个点的坐标和上述圆盘状衬底的半径，检测上述圆盘状物的中心位置坐标。
4. 根据权利要求3所述的位置检测装置，其特征在于，上述坐标检测部根据上述边缘 数据上的两个点的坐标和上述圆盘状衬底的上述半径，制作分别以上述半径为一边的两个 直角等腰三角形，根据勾股定理，检测上述圆盘状衬底的上述中心位置坐标。
5. 根据权利要求1或2所述的位置检测装置，其特征在于，上述坐标检测部根据上述边 缘数据上的3个点的坐标，检测上述圆盘状物的上述中心位置坐标。
6. 根据权利要求5所述的位置检测装置，其特征在于，上述坐标检测部根据上述边缘 数据上的3个点的坐标和上述圆盘状衬底的上述半径，制作分别以上述半径为一边的3个 直角等腰三角形，根据勾股定理，计算上述圆盘状衬底的上述中心位置坐标。
7. 根据权利要求1~6所述的位置检测装置，其特征在于，其还包括补偿量计算部，该 补偿量计算部计算下述中心位置坐标之间的X轴方向和Y轴方向的偏移量，以计算上述支 承部件的补偿量，该中心位置坐标分别为：保持于上述支承部件的基准位置的上述圆盘状 衬底的上述中心位置坐标；在制造步骤中运送的产生错位的上述圆盘状衬底的上述中心位 置坐标。
8. -种位置检测方法，该方法检测保持于能沿规定的轨道上而移动的支承部件上的圆 盘状衬底的位置，该位置检测方法由下述步骤构成，该步骤包括： 摄像步骤，在该步骤中，在保持上述圆盘状衬底的上述支承部件位于规定的监视位置 时，通过1台摄像机，对圆盘状衬底的周缘部进行摄像； 边缘抽取步骤，在该步骤中，从通过上述摄像机拍摄的上述圆盘状衬底的周缘部的摄 像数据中，抽取上述圆盘状衬底的边缘； 坐标检测步骤，在该步骤中，根据通过上述边缘抽取步骤抽取的边缘数据，检测上述圆 盘状衬底的中心位置坐标。
9. 根据权利要求8所述的位置检测方法，其特征在于，上述摄像步骤仅仅对上述圆盘 状衬底的一部分进行摄像。
10. 根据权利要求8或9所述的位置检测方法，其特征在于，上述坐标检测步骤根据上 述边缘数据上的两个点的坐标和上述圆盘状衬底的半径，检测上述圆盘状物的中心位置坐 标。
11. 根据权利要求10所述的位置检测方法，其特征在于，上述坐标检测步骤根据上述 边缘数据上的两个点的坐标和上述圆盘状衬底的上述半径，制作分别以上述半径为一边的 两个直角等腰三角形，根据勾股定理，计算上述圆盘状衬底的上述中心位置坐标。
12. 根据权利要求8或9所述的位置检测方法，其特征在于，上述坐标检测步骤根据上 述边缘数据上的3个点的坐标，检测上述圆盘状物的上述中心位置坐标。
13. 根据权利要求12所述的位置检测方法，其特征在于，上述坐标检测步骤根据上述 边缘数据上的3个点的坐标和上述圆盘状衬底的上述半径，制作分别以上述半径为一边的 3个直角等腰三角形，根据勾股定理，计算上述圆盘状衬底的上述中心位置坐标。
14. 根据权利要求8~13所述的位置检测方法，其特征在于，其还包括补偿量计算部， 该补偿量计算部计算下述中心位置坐标之间的X轴方向和Y轴方向的偏移量，以计算上述 支承部件的补偿量，该中心位置坐标分别为：保持于上述支承部件的基准位置的上述圆盘 状衬底的上述中心位置坐标；在制造步骤中运送的产生错位的上述圆盘状衬底的上述中心 位置坐标。
15. -种位置检测装置，该位置检测装置检测保持于支承部件上的圆盘状衬底的位置， 该支承部件能沿规定的轨道上而移动，其特征在于， 该位置检测装置包括： 摄像机，在单元设置于正交的XY轴坐标系中，在保持上述圆盘状衬底的上述支承部件 位于规定的监视位置时，该摄像机按照下述方式，对上述圆盘状衬底的周缘部进行摄像，该 方式为：直线（U)和上述圆盘状衬底的边缘交叉的交点（C)进入视野，该直线（U)通过上述 圆盘状衬底的中心，为与Y轴平行的直线； 边缘抽取部，该边缘抽取部从通过上述摄像机拍摄的上述圆盘状衬底的周缘部的摄像 数据中，抽取上述交点（C)的Y轴坐标值，抽取下述地点的XY轴坐标，该地点位于在上述视 野的范围内拍摄的上述圆盘状衬底的边缘上，与上述交点（C)离开的任意位置； 坐标检测部，该坐标检测部根据通过上述边缘抽取部抽取的交点（C)的Y轴坐标值和 位于任意位置的地点的XY轴坐标，检测上述圆盘状衬底的中心位置坐标。
【专利摘要】本发明提供一种位置检测装置，其根据通过1台摄像机拍摄的图像数据，正确地检测圆盘状衬底的中心位置坐标，计算于处理过程中运送的圆盘状衬底在支承部件上的错位量，按照可装载于正确的装载位置的方式进行位置补偿。根据从图像数据中抽取的边缘数据上的两个点的坐标和圆盘状衬底的半径，或根据边缘数据上的3个点的坐标，制作分别以半径为一边的直角等腰三角形，根据勾股定理，检测圆盘状衬底的中心位置坐标。
【IPC分类】H01L21-68, G01B11-00, B65G49-07
【公开号】CN104756243
【申请号】CN201380056420
【发明人】藤本敬司, 山本康晴
【申请人】日商乐华股份有限公司
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2013年10月23日
【公告号】WO2014069291A1