一气体供应器连接;气体分叉流路323b，所述气体分叉流路323b在第一水平方向(Y)上形成在架主体321中，并且与至少一个气体供应孔323a连通，其中，气体分叉流路323b使通过气体供应孔323a供应的第一气体(G1)分叉；以及，多个连通孔323c，所述多个连通孔323c用于将气体分叉流路323b与多个气体分配流路325连接。在这种情况下，气体分叉流路323b以直线形状形成，以在架主体321的侧表面中的第一水平方向(Y)的两个侧表面处暴露，并且，气体分叉流路323b的两端通过焊接被密封或通过密封帽(未示出)被密封。
[0119]每个气体分配流路325对应于被供应由气体供应流路323分叉的第一气体(G1)的架主体321的内部空间。多个气体分配流路325沿着与气体分叉流路323b垂直的第二水平方向(X)以固定间隔形成在架主体321内，并且与气体供应流路323，即，多个连通孔323c连通。在这种情况下，每个气体分配流路325b以直线形状形成，以在架主体321的侧表面中的第二水平方向(X)的两个侧表面处暴露，并且，每个气体分配流路325的两端通过焊接325a被密封或通过密封帽325a被密封。
[0120]气体分配孔327中的每个形成在架主体321的下表面中，并且，与和间隙空间(GS)重叠的气体分配流路325中的每个连通，由此，气体分配孔327中的每个向间隙空间(GS)分配从气体分配流路325中的每个供应的第一气体(G1)。即，气体分配孔327中的每个垂直地穿透架主体321的下表面及与间隙空间(GS)重叠的气体分配流路3 25中的每个，由此，气体分配流路325中的每个与间隙空间(GS)连通。
[0121]绝缘架330由诸如陶瓷材料的绝缘材料形成，并且绝缘架330设置在第一和第二电极架310和320之间，以将第一和第二电极架310和320彼此电绝缘。即，绝缘架330可拆卸地设置在第二电极架320的下表面中，以便覆盖除了多个突出电极(PE)和多个气体分配孔327之外的剩余区域。可以在绝缘架330中形成多个电极穿透部分332，其中，第二电极架320的突出电极(PE)中的每个可以被插入到电极穿透部分332中的每个中，并且然后穿透电极穿透部分332中的每个。在每个电极穿透部分332中的截面形状与在每个突出电极(PE)中的截面形状相同。
[0122]第一电极架310的下表面和基板10的上表面之间的第一距离(D1)可以与突出电极(PE)的下表面和基板10的上表面之间的第二距离(D2)相同或不同。
[0123]根据本发明的一个实施例，第一距离(D1)可以与第二距离(D2)相同。在这种情况下，突出电极(PE)的下表面位于与第一电极架310的下表面相同的水平线处。
[0124]根据本发明的另一个实施例，第一距离(D1)可以与第二距离(D2)不同。在这种情况下，突出电极(PE)的长度长于绝缘架330和第一电极架310的总厚度，使得突出电极(PE)在基板10的上表面的方向上从第一电极架310的下表面突出，或者，突出电极(PE)的长度短于绝缘架330和第一电极架310的总厚度，使得突出电极(PE)不在基板10的上表面的方向上从第一电极架310的下表面突出。
[0125]上文所述的第一电极架310、绝缘架330和第二电极架320可以形成为一个模块，并且可拆卸地与室盖130的第一安装部分135结合。
[0126]根据本发明的第三实施例的第一气体分配模块144a通过利用根据在第一电极架310和多个突出电极(PE)之间的电势差的电场(E场)在间隙空间(GS)内或在间隙空间(GS)下从分配到间隙空间(GS)的第一气体(G1)形成等离子体，并且然后向第一气体反应区域112a分配由等离子体激活的第一气体(G1)。在这种情况下，可以根据突出电极(PE)的突出长度来在间隙空间(GS)内或间隙空间(GS)下形成等离子体。
[0127]图12至15是图示了在图11中所示的第一气体分配模块的后视图，其图示了在图11中所示的突出电极和电极插入部分的各种形状。因此，下文将仅详细描述突出电极和电极插入部分的各种形状。
[0128]首先，如图12中所示，第一气体分配模块144a可以包括一个电极插入部分(E IP)和一个突出电极(PE)。
[0129]根据本发明的一个修改实施例的电极插入部分(EIP)以平面上的矩形形状形成。根据本发明的一个修改实施例的突出电极(PE)以矩形柱形成，所述矩形柱相对于电极插入部分(EIP)的侧表面以预定间隔设置并且还被电极插入部分(EIP)的侧表面围绕。上文所述的间隙空间(GS)设置在电极插入部分(EIP)的侧表面和突出电极(PE)之间，并且，第一气体从第二电极架320的多个气体分配孔327分配到间隙空间(GS)。
[0130]然后，如图13中所示，第一气体分配模块144a可以包括多个电极插入部分(EIP)和多个突出电极(PE)。
[0131]根据本发明的另一个修改实施例的电极插入部分(EIP)以平面上的圆形形状形成，并且可以以网格结构(lattice configurat1n)设置。根据本发明的另一个修改实施例的突出电极(PE)以圆柱形成，所述圆柱相对于电极插入部分(EIP)的侧表面以预定间隔设置，并且还被电极插入部分(EIP)的侧表面围绕。上文所述的间隙空间(GS)设置在电极插入部分(EIP)的侧表面和突出电极(PE)之间，并且，第一气体从第二电极架320的多个气体分配孔327分配到间隙空间(GS)。
[0132]如图14中所示，根据本发明的另一个修改实施例的电极插入部分(EIP)可以以平面上的正方形形状(或矩形形状)或者以每个拐角为圆弧形的正方形形状(或矩形形状)形成，并且可以以网格结构设置。如图15中所示，根据本发明的另一个实施例的电极插入部分(EIP)可以以平面上的内角大于90°的多边形形状形成，并且可以以蜂巢形状设置。
[0133]如图14或15中所示，根据本发明的另一个修改实施例的突出电极(PE)可以以相对于电极插入部分(EIP)的侧表面以预定间隔设置并且还被电极插入部分(EIP)的侧表面围绕的柱状形成，但是不限于该形状。根据本发明的另一个修改实施例的突出电极(PE)可以以与电极插入部分(EIP)的形状相同的柱状形成，或者可以以具有内角大于90°的多边形截面的柱状形成。
[0134]图16至18是图示了在图3至5中所示的第一气体分配模块的后视图，其图示了在图3至5中所示的突出电极和电极插入部分的各种形状。因此，下文将仅详细描述突出电极和电极插入部分的各种形状。
[0135]首先，在图3至5中所示的第一气体分配模块144a可以具有与在图9至11的任何一个中所示的结构相同的结构，并且壳体210可以具有平面上的梯形形状。
[0136]如果根据本发明的另一个修改实施例的第一气体分配模块144a具有与在图11中所示的结构相同的结构，则第一气体分配模块144a可以包括一个电极插入部分(EIP)和一个突出电极(PE)，如图16中所示。
[0137]电极插入部分(EIP)可以具有平面上的梯形形状。
[0138]突出电极(PE)以相对于电极插入部分(EIP)的侧表面以预定间隔设置并且还被电极插入部分(EIP)的侧表面围绕的矩形柱形成。在图16中，一个突出电极(PE)被插入到电极插入部分(EIP)中并且位于电极插入部分(EIP)中，但是不限于该结构。例如，以固定间隔平行设置的多个突出电极(PE)可以被插入到电极插入部分(EIP)中。
[0139]上文所述的间隙空间(GS)设置在电极插入部分(EIP)的侧表面和突出电极(PE)之间，并且，第一气体从第二电极架320的多个气体分配孔327分配到间隙空间(GS)。在这种情况下，以下述方式来设置所述多个气体分配孔327:多个气体分配孔的数量从第一气体分配模块144a的一侧向另一侧逐渐地增加。而且，气体分配量从第一气体分配模块144a的一侧向另一侧逐渐地增加。
[0140]如图17中所示，一个突出电极(PE)以具有梯形平面形状的柱型形成，由此，突出电极(PE)被梯形的电极插入部分(EIP)的内侧表面围绕。在这种情况下，一个突出电极(PE)的侧表面相对于电极插入部分(EIP)的内侧表面以预定间隔设置，由此，具有预定间隔的间隙空间(GS)设置在一个突出电极(PE)的侧表面和电极插入部分(EIP)的内侧表面之间。
[0141]同时，在图16和17中所示的突出电极(PE)的下表面可以从靠近基板支撑体120中心的第一电极架310的内侧向第一电极架310的外侧逐渐倾斜。例如，靠近第一电极架310的内侧的突出电极(PE)的下表面的一侧位于与第一电极架310的下表面相同的线处，并且，靠近第一电极架310的外侧的突出电极(PE)的下表面的另一侧位于第一电极架310内，由此，突出电极(PE)的下表面相对于第一电极架310的下表面以预定角度倾斜。
[0142]如果根据本发明的另一个修改实施例的第一气体分配模块144a具有与在图11中所示的结构相同的结构，则第一气体分配模块144a可以包括多个电极插入部分(EIP)和多个突出电极(PE)，如图18中所示。
[0143]电极插入部分(EIP)以平面上的圆形形状形成，并且以平面上的梯形形状布置。突出电极(PE)以圆柱形成，该圆柱相对于电极插入部分(EIP)的侧表面以预定间隔设置，并且还被电极插入部分(EIP)的侧表面围绕。上文所述的间隙空间(GS)设置在电极插入部分(EIP)的侧表面和突出电极(PE)之间，并且第一气体从第二电极架320的多个气体分配孔327分配到间隙空间(GS)。
[0144]在图18中所示的电极插入部分(EIP)不限于平面上的圆形形状。如图14和15中所示，电极插入部分(EIP)可以以多边形截面形成，该多边形截面的内角大于90°。另外，突出电极(PE)不限于被电极插入部分(EIP)围绕的圆柱。例如，突出电极(PE)可以以与电极插入部分(EIP)的形状相同的柱状形成，或者可以以具有内角大于90°的多边形截面的柱状形成。
[0145]同时，在图1中所示的第二气体分配模块144b在结构上与参考图9至18描述的上述第一气体分配模块144a相同，除了从外部第二气体供应器供应的第二气体被分配到第一反应空间的第二气体反应区域，由此，将省略对于第二气体分配模块144b的详细说明。
[0146]图19图示了在图1中所示的第二气体分配部件的第一实施例。
[0147]联系图1参见图19，根据本发明的第一实施例的第二气体分配部件146可以包括:具有板410a和侧壁410b的壳体410;分隔构件415，用于将壳体410的内部在空间上分隔为第三和第四气体分配空间412a和412b;至少一个第三气体供应孔4