具有多个灵敏度范围的电-光探针的制作方法

文档序号:11947693阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电-光测试部件,包括:

基板,其构造为基于电场的应用来改变其折射率;

光波导,其在所述基板中形成并且配置成携带来自所述基板的第一端的光以及在所述波导的第二端输出经调制的输出光信号;

第一感测电极,其在距所述光波导第一距离处邻近所述光波导而形成;以及

第二感测电极,其在距所述光波导第二距离处邻近所述光波导而形成,所述第二距离不同于所述第一距离。

2.如权利要求1所述的电-光测试部件,其中所述第一感测电极是一对差分电极,所述一对差分电极中的每个在离所述光波导第一距离处形成。

3.如权利要求2所述的电-光测试部件,其中所述第二感测电极是第二对差分电极,所述第二对差分电极中的每个在离所述光波导第二距离处形成。

4.如权利要求1所述的电-光测试部件,其中将来自被测装置的第一信号应用到第一感测电极导致光以第一幅度调制,以及其中将来自被测装置的第一信号应用到第二感测电极导致光以第二幅度调制。

5.如权利要求1所述的电-光测试部件,其中所述光导包括第一通道,所述第一感测电极和第二感测电极邻近于所述第一通道而形成;以及其中所述光导包括第二通道。

6.如权利要求5所述的电-光测试部件,进一步包括:

第一偏置电极,其在距所述光波导的所述第二通道的第三距离处邻近所述光波导的所述第二通道而形成;以及

第二感测电极,其在距所述光波导的所述第二通道的第四距离处邻近所述光波导的所述第二通道而形成,所述第四距离不同于所述第三距离。

7.如权利要求6所述的电-光测试部件,其中:

所述第一偏置电极是第一对差分电极,所述第一对偏置电极中的每个在离所述光波导的所述第二通道的第三距离处形成;以及其中

所述第二偏置电极是第二对差分电极,所述第二对偏置差分电极中的每个在离所述光波导的所述第二通道的第四距离处形成。

8.如权利要求7所述的电-光测试部件,其中所述第一距离与所述第三距离相同,以及其中所述第二距离与所述第四距离相同。

9.如权利要求1所述的电-光测试部件,其中所述基板为晶体基板。

10.如权利要求1所述的电-光测试部件,其中所述基板为聚合物基板。

11.一种测试和测量装置,包括:

光发射器;

电-光测试部件,其耦合到所述光发射器,包括:

基板,其构造为基于电场的应用来改变其折射率;

光波导,其在基板中形成并且配置成携带来自基板的第一端的由光发射器生成的光以及配置成在所述波导的第二端输出经调制的输出光信号;

第一感测电极,其在距所述光波导第一距离处邻近所述光波导而形成;以及

第二感测电极,其在距所述光波导第二距离处邻近所述光波导而形成,所述第二距离不同于所述第一距离;

光/电转换器,其耦合到所述电-光测试部件的输出并且构造为从光信号生成电信号,所述光信号是从所述电-光测试部件的基板接收到的;以及

显示器,其构造为基于来自所述光/电转换器的电信号示出可视输出。

12.如权利要求11所述的测试和测量装置,其中所述光导包括第一通道,所述第一感测电极和第二感测电极邻近于所述第一通道而形成,以及其中所述光导包括第二通道。

13.如权利要求12所述的测试和测量装置,进一步包括:

第一偏置电极,其在距所述光波导的所述第二通道的第三距离处邻近所述光波导的所述第二通道而形成;以及

第二感测电极,其在距所述光波导的所述第二通道的第四距离处邻近所述光波导的所述第二通道而形成,所述第四距离不同于所述第三距离。

14.一种用于经由连接到测试和测量仪器的电-光电压附件来测量被测装置的可变输入信号的方法,所述电-光电压附件包括光波导,其具有布置在距该光波导第一距离处的第一感测电极,并且具有布置在距该光波导第二距离处的第二感测电极,所述方法包括:

在电-光电压附件处接收被测装置的可变输入信号;

选择所述电-光电压附件的所述第一感测电极或所述第二感测电极;

将该被测装置的可变输入信号应用到所选择的感测电极;

从电-光电压附件输出基于可变输入信号的经调制的输出信号;

在处理器处接收来自所述电-光电压附件的所述经调制的输出信号;

修改来自所述电光电压附件的所述经调制的输出信号来重建所述电-光电压附件的可变输入信号。

15.如权利要求14所述的用于测量被测装置的可变输入信号的方法,其中将所述被测装置的可变输入信号应用到所选择的感测电极包括将差分信号应用到一对电极。

16.如权利要求14所述的用于测量被测装置的可变输入信号的方法,进一步包括将偏置信号应用到偏置电极。

17.如权利要求16所述的用于测量被测装置的可变输入信号的方法,其中将偏置信号应用到偏置电极包括:

选择第一偏置电极或第二偏置电极中的任一个作为被选择的偏置电极;以及

将偏置信号应用到被选择的偏置电极。

18.如权利要求14所述的用于测量被测装置的可变输入信号的方法,其中所述电-光电压附件的可变输入信号在测试和测量仪器的显示器上被重建。

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