共聚物及（A4)共聚物也可以是：还共聚有关于（A2)共聚物而作为其他化合 物所记载的、（甲基）丙烯酸酯类、（甲基）丙烯酰胺类、烯丙基化合物、乙烯基醚类、乙烯基 酯类、苯乙烯类等。
[0080] 作为具有能够与（B)光聚合性单体聚合的部位的构成单元，优选具有烯属不饱和 基团作为能够与（B)光聚合性单体聚合的部位的构成单元。对于具有这样的构成单元的共 聚物而言，针对（A3)共聚物，可以通过使含有来源于上述（al)不饱和羧酸的构成单元的聚 合物所含有的羧基的至少一部分、与上述（a2)含有脂环式环氧基的不饱和化合物和/或 (a4)含有环氧基的不饱和化合物反应来制备。另外，（A4)共聚物可以通过使具有来源于 上述（al)不饱和羧酸的构成单元和来源于（a2)含有脂环式环氧基的不饱和化合物和/或 (a4)含有环氧基的不饱和化合物的构成单元的共聚物中的环氧基的至少一部分、与（al) 不饱和羧酸反应来制备。
[0081] (A3)共聚物中的来源于（al)不饱和羧酸的构成单元所占的比例优选为1~50质 量％，更优选为5~45质量％。（A3)共聚物中的、具有能够与（B)光聚合性单体聚合的部 位的构成单元所占的比例优选为1~45质量％，更优选为5~40质量％。（A3)共聚物以 这样的比例包含各构成单元的情况下，容易得到可形成与基板的密合性优异的固化物的感 光性树脂组合物。
[0082] (A4)共聚物中的、来源于（al)不饱和羧酸的构成单元所占的比例优选为1~50 质量％，更优选为5~45质量％。（A4)共聚物中的、来源于（a2)含有脂环式环氧基的不饱 和化合物和/或（a4)含有环氧基的不饱和化合物的构成单元所占的比例优选为55质量％ 以上，更优选为71质量％以上，特别优选为71~80质量％。
[0083] (A4)共聚物中的、具有能够与（B)光聚合性单体聚合的部位的构成单元所占的比 例优选为1~45质量％，更优选为5~40质量％。（A4)共聚物以这样的比例包含各构成 单元的情况下，容易得到可形成与基板的密合性优异的黑色柱状间隔件的感光性树脂组合 物。
[0084] (A3)共聚物及（A4)共聚物的质均分子量优选为2000~50000,更优选为5000~ 30000。通过设定为上述范围，具有易于获得感光性树脂组合物的膜形成能力、曝光后的显 影性的平衡的倾向。
[0085] ⑷碱可溶性树脂的含量相对于感光性树脂组合物的固体成分优选为10~60质 量％，更优选为15~50质量％。使用上述范围量的（A)碱可溶性树脂的情况下，容易得到 显影性优异的感光性树脂组合物。
[0086] 〈⑶光聚合性单体〉
[0087] 光聚合性单体存在有单官能单体和多官能单体。
[0088] 作为单官能单体，可以举出：（甲基）丙烯酰胺、羟甲基（甲基）丙烯酰胺、甲氧基 甲基（甲基）丙烯酰胺、乙氧基甲基（甲基）丙烯酰胺、丙氧基甲基（甲基）丙烯酰胺、丁氧 基甲氧基甲基（甲基）丙烯酰胺、N-羟甲基（甲基）丙烯酰胺、N-羟基甲基（甲基）丙烯 酰胺、（甲基）丙烯酸、富马酸、马来酸、马来酸酐、衣康酸、衣康酸酐、柠康酸、柠康酸酐、巴 豆酸、2-丙烯酰胺-2-甲基丙烷磺酸、叔丁基丙烯酰胺磺酸、（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基） 丙烯酸乙酯、（甲基）丙烯酸丁酯、（甲基）丙烯酸2-乙基己酯、（甲基）丙烯酸环己酯、 (甲基）丙烯酸2-羟基乙酯、（甲基）丙烯酸2-羟基丙酯、（甲基）丙烯酸2-羟基丁酯、 (甲基）丙烯酸2-苯氧基-2-羟基丙酯、2-(甲基）丙烯酰氧基-2-羟基丙基邻苯二甲酸 酯、丙三醇单（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酸四氢糠酯、（甲基）丙烯酸二甲基氨基酯、 (甲基）丙烯酸缩水甘油酯、（甲基）丙烯酸2,2,2-三氟乙酯、（甲基）丙烯酸2,2,3,3-四 氟丙酯、邻苯二甲酸衍生物的（甲基）丙烯酸半酯等。这些单官能单体可以单独使用或者 组合使用2种以上。
[0089] 另一方面，作为多官能单体，可以举出：乙二醇二（甲基）丙烯酸酯、二乙二醇二 (甲基）丙烯酸酯、四乙二醇二（甲基）丙烯酸酯、丙二醇二（甲基）丙烯酸酯、聚丙二醇二 (甲基）丙烯酸酯、丁二醇二（甲基）丙烯酸酯、新戊二醇二（甲基）丙烯酸酯、1，6-己二 醇二（甲基）丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、丙三醇二（甲基）丙烯酸酯、 季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸 酯、季戊四醇二（甲基）丙烯酸酯、季戊四醇三（甲基）丙烯酸酯、季戊四醇四（甲基）丙 烯酸酯、二季戊四醇五（甲基）丙烯酸酯、二季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、2, 2-双（4-(甲 基）丙烯酰氧基二乙氧基苯基）丙烷、2, 2-双（4-(甲基）丙烯酰氧基聚乙氧基苯基）丙烷、 2-羟基-3-(甲基）丙烯酰氧基丙基（甲基）丙烯酸酯、乙二醇二缩水甘油醚二（甲基）丙 烯酸酯、二乙二醇二缩水甘油醚二（甲基）丙烯酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油酯二（甲基） 丙烯酸酯、丙三醇三丙烯酸酯、丙三醇聚缩水甘油醚聚（甲基）丙烯酸酯、氨基甲酸酯（甲 基）丙烯酸酯（即，甲苯二异氰酸酯）、三甲基六亚甲基二异氰酸酯和六亚甲基二异氰酸酯 与（甲基）丙烯酸2-羟基乙酯的反应产物、亚甲基双（甲基）丙烯酰胺、（甲基）丙烯酰 胺亚甲基醚、多元醇与N-羟甲基（甲基）丙烯酰胺的缩合物等多官能单体、1，3, 5-三丙烯 酰基六氢-1，3, 5-三嗪等。这些多官能单体可以单独使用或者组合使用2种以上。
[0090] (B)光聚合性单体的含量相对于感光性树脂组合物的固体成分优选为3~30质 量％，更优选为5~20质量％。通过设定为上述范围，从而具有易于获得灵敏度、显影性、 分辨率的平衡的倾向。
[0091] < (C)光聚合引发剂〉
[0092] 作为（C)光聚合引发剂，没有特别限定，可以使用以往公知的光聚合引发剂。
[0093] 作为光聚合引发剂，具体而言，可以举出：1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-甲 基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羟基乙氧基）苯基]-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、 1- (4-异丙基苯基）-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-十二烷基苯基）-2-羟基-2-甲基 丙烷-1-酮、双（4-二甲基氨基苯基）酮、2, 4, 6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、4-苯甲酰 基-4'-甲基二甲基硫醚、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基 苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸丁酯、4-二甲基氨基-2-乙基己基苯甲酸、4-二甲基氨 基-2-异戊基苯甲酸、苯偶酰-β-甲氧基乙基乙缩醛、苯偶酰二甲基缩酮、1-苯基-1，2-丙 烷二酮-2-(邻乙氧基羰基）肟、邻苯甲酰基苯甲酸甲酯、2, 4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、 2, 4-二甲基噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、噻吨、2-氯噻吨、2, 4-二乙基噻吨、2-甲基噻 吨、2-异丙基噻吨、2-乙基蒽醌、八甲基蒽醌、1，2-苯并蒽醌、2, 3-二苯基蒽醌、偶氮二异 丁腈、过氧化苯甲酰、过氧化枯烯、2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并噻唑、 2_ (邻氯苯基）_4, 5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻氯苯基）-4, 5-二（甲氧基苯基）咪唑二聚 物、2-(邻氟苯基）-4, 5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻甲氧基苯基）-4, 5-二苯基咪唑二聚物、 2_ (对甲氧基苯基）_4, 5-二苯基咪唑二聚物、2, 4, 5-三芳基咪唑二聚物、二苯甲酮、2-氯二 苯甲酮、4, 4'-双二甲基氨基二苯甲酮（即，米希勒酮）、4, 4'-双（二乙基氨基）二苯甲酮 (即，乙基米希勒酮）、4, 4' -二氯二苯甲酮、3, 3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、苯偶酰、苯 偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻正丁醚、苯偶姻异丁醚、苯偶姻丁醚、 苯乙酮、2, 2-二乙氧基苯乙酮、对二甲基苯乙酮、对二甲基氨基苯丙酮、二氯苯乙酮、三氯苯 乙酮、对叔丁基苯乙酮、对二甲基氨基苯乙酮、对叔丁基三氯苯乙酮、对叔丁基二氯苯乙酮、 α，α_二氯_4_苯氧基苯乙酮、噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、二苯并环庚酮、 戊基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、9-苯基吖啶、1，7-双（9-吖啶基）庚烷、1，5-双（9-吖啶 基）戊烷、1，3-双（9-吖啶基）丙烷、对甲氧基三嗪、2, 4, 6-三（三氯甲基）均三嗪、2-甲 基-4, 6-双（三氯甲基）均三嗪、2-[2_(5-甲基呋喃-2-基）乙烯基]-4,6-双（三氯甲 基）均三嗪、2-[2-(呋喃-2-基）乙烯基]-4, 6-双（三氯甲基）均三嗪、2-[2-(4-二乙基 氨基-2-甲基苯基）乙烯基]-4, 6-双（三氯甲基）均三嗪、2-[2-(3, 4-二甲氧基苯基） 乙烯基]-4, 6-双（三氯甲基）均三嗪、2-(4-甲氧基苯基）-4, 6-双（三氯甲基）均三嗪、 2- (4-乙氧基苯乙烯基）-4, 6-双（三氯甲基）均三嗪、2-(4-正丁氧基苯基）-4, 6-双（三 氯甲基）均三嗪、2, 4-双-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基）苯基均三嗪、2, 4-双-三氯甲 基-6-(2-溴-4-甲氧基）苯基均三嗪、2, 4-双-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基）苯乙烯 基苯基均三嗪、2, 4-双-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基）苯乙烯基苯基均三嗪、"IRGA⑶RE 0XE02"、"IRGACURE0XE01"、"IRGACURE369"、"IRGACURE651"、"IRGACURE907"（商品名： BASF制造）、"NCI-831"（商品名：ADEKA制造）等。这些光聚合引发剂可以单独使用或者 组合使用2种以上。
[0094] 感光性树脂组合物优选在以上说明的化合物中含有肟酯化合物作为（C)光聚合 引发剂。肟酯化合物是两个有机基团借助以=N-0-C0-表示的肟酯键键合而成的化合物。 感光性树脂组合物中配合有肟酯化合物作为（C)光聚合引发剂的情况下，容易得到曝光灵 敏度优异的感光性树脂组合物。
[0095] 用作（C)光聚合引发剂的肟酯化合物没有特别限定。可以使用以往公知的肟酯化 合物作为（C)光聚合引发剂。肟酯化合物之中，优选下述式（cl)所表示的化合物。
[0096] [化 9]
[0097]
[0098] 上述式（cl)中，IT1表示可以具有取代基的碳原子数1~10的烷基、可以具有取 代基的苯基、或者可以具有取代基的味唑基。a为0或1。ΙΓ2表不可以具有取代基的碳原 子数1~10的烷基、可以具有取代基的苯基、或者可以具有取代基的咔唑基。俨表示氢原 子、碳原子数1~6的烷基、或者可以具有取代基的苯基。
[0099] IT1为可以具有取代基的碳原子数1~10的烷基的情况下，烷基所具有的取代基 的种类在不阻碍本发明的目的的范围内没有特别限定。
[0100] 作为碳原子数1~10的烷基可以具有的适合的取代基的示例，可以举出：碳原子 数1~20的烷氧基、碳原子数3~10的环烷基、碳原子数3~10的环烷氧基、碳原子数 2~20的饱和脂肪族酰基、碳原子数2~20的烷氧基羰基、碳原子数2~20的饱和脂肪族 酰氧基、可以具有取代基的苯基、可以具有取代基的苯氧基、可以具有取代基的苯硫基、可 以具有取代基的苯甲酰基、可以具有取代基的苯氧基羰基、可以具有取代基的苯甲酰基氧 基、可以具有取代基的碳原子数7~20的苯基烷基、可以具有取代基的萘基、可以具有取代 基的萘氧基、可以具有取代基的萘酰基、可以具有取代基的萘氧基羰基、可以具有取代基的 萘酰氧基、可以具有取代基的碳原子数11~20的萘基烷基、可以具有取代基的杂环基、可 以具有取代基的杂环基羰基、氨基、被1个或2个有机基团取代后的氨基、吗啉-1-基及哌 嗪-1-基、卤素、硝基以及氰基等。
[0101] 碳原子数1~1〇的烷基可以为直链状可以为支链。这种情况下，烷基的碳原子数 优选为1~8,更优选为1~5。
[0102] IT1为可以具有取代基的苯基的情况下，取代基的种类在不阻碍本发明的目的的范 围内没有特别限定。作为苯基可以具有的取代基的适合的示例，可以举出：烷基、烷氧基、 环烷基、环烷氧基、饱和脂肪族酰基、烷氧基羰基、饱和脂肪族酰氧基、可以具有取代基的苯 基、可以具有取代基的苯氧基、可以具有取代基的苯甲酰基、可以具有取代基的苯氧基羰 基、可以具有取代基的苯甲酰氧基、可以具有取代基的苯基烷基、可以具有取代基的萘基、 可以具有取代基的萘氧基、可以具有取代基的萘酰基、可以具有取代基的萘氧基羰基、可以 具有取代基的萘酰氧基、可以具有取代基的萘基烷基、可以具有取代基的杂环基、氨基、被 1个或2个有机基团取代后的氨基、吗啉-1-基及哌嗪-1-基、卤素、硝基以及氰基等。IT1 为可以具有取代基的苯基且苯基具有多个取代基的情况下，多个取代基可以相同也可以不 同。
[0103] 苯基所具有的取代基为烷基的情况下，其碳原子数优选为1~20,更优选为1~ 10,进一步优选为1~6,特别优选为1~3,最优选为1。另外，烷基可以为直链状也可以 为支链状。作为苯基所具有的取代基为烷基的情况下的具体例，可以举出：甲基、乙基、正丙 基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、正己基、正庚 基、正辛基、异辛基、仲辛基、叔辛基、正壬基、异壬基、正癸基以及异癸基等。另外，烷基在碳 链中可以含有醚键（-0-)。这种情况下，作为苯基所具有的取代基，例如可以举出烷氧基烷 基、烷氧基烷氧基烷基。苯基所具有的取代基为烷氧基烷基的情况下，优选为-Rrf-0-ir5所 表示的基团。IT4为碳原子数1~10的直链或支链的亚烷基。ΙΓ5为碳原子数1~10的直 链或支链的烷基。的碳原子数优选为1~8,更优选为1~5,特别优选为1~3。ΙΓ5的 碳原子数优选为1~8,更优选为1~5,特别优选为1~3,最优选为1。作为在碳链中具 有醚键的烷基的示例，可以举出：甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧 基乙基、丙氧基乙氧基乙基以及甲氧基丙基等。
[0104] 苯基所具有的取代基为烷氧基的情况下，其碳原子数优选为1~20,更优选为1~ 6。另外，烷氧基可以为直链也可以为支链。作为苯基所具有的取代基为烷氧基的情况下的 具体例，可以举出：甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、异丁氧基、仲丁氧基、叔 丁氧基、正戊氧基、异戊氧基、仲戊氧基、叔戊氧基、正己氧基、正庚氧基、正辛氧基、异辛氧 基、仲辛氧基、叔辛氧基、正壬氧基、异壬氧基、正癸氧基以及异癸氧基等。另外，烷氧基可以 在碳链中含有醚键（-0-)。作为在碳链中具有醚键的烷氧基的示例，可以举出：甲氧基乙氧 基、乙氧基乙氧基、2-甲氧基-1-甲基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、 丙氧基乙氧基乙氧基以及甲氧基丙氧基等。
[0105] 苯基所具有的取代基为环烷基或环烷氧基的情况下，其碳原子数优选为3~10， 更优选为3~6。作为苯基所具有的取代基为环烷基的情况下的具体例，可以举出：环丙基、 环丁基、环戊基、环己基、环庚基以及环辛基等。作为苯基所具有的取代基为环烷氧基的情 况下的具体例，可以举出：环丙氧基、环丁氧基、环戊氧基、环己氧基、环庚氧基以及环辛氧 基等。
[0106] 苯基所具有的取代基为饱和脂肪族酰基或饱和脂肪族酰氧基的情况下，其碳原子 数优选为2~20,更优选为2~7。作为苯基所具有的取代基为饱和脂肪族酰基的情况下 的具体例，可以举出：乙酰基、丙酰基、正丁酰基、2-甲基丙酰基、正戊酰基、2, 2-二甲基丙 酰基、正己酰基、正庚酰基、正辛酰基、正壬酰基、正癸酰基、正十一烷酰基、正十二烷酰基、 正十三烷酰基、正十四烷酰基、正十五烷酰基以及正十六烷酰基等。作为苯基所具有的取 代基为饱和脂肪族酰氧基的情况下的具体例，可以举出：乙酰氧基、丙酰氧基、正丁酰氧基、 2-甲基丙酰氧基、正戊酰氧基、2, 2-二甲基丙酰氧基、正己酰氧基、正庚酰氧基、正辛酰氧 基、正壬酰氧基、正癸酰氧基、正十一烷酰氧基、正十二烷酰氧基、正十三烷酰氧基、正十四 烷酰氧基、正十五烷酰氧基以及正十六烷酰氧基等。
[0107] 苯基所具有的取代基为烷氧基羰基的情况下，其碳原子数优选为2~20,更优选 为2~7。作为苯基所具有的取代基为烷氧基羰基的情况下的具体例，可以举出：甲氧基羰 基、乙氧基幾基、正丙氧基幾基、异丙氧基幾基、正丁氧基幾基、异丁氧基幾基、仲丁氧基幾 基、叔丁氧基幾基、正戊氧基幾基、异戊氧基幾基、仲戊氧基幾基、叔戊氧基幾基、正己氧基 羰基、正庚氧基羰基、正辛氧基羰基、异辛氧基羰基、仲辛氧基羰基、叔辛氧基羰基、正壬氧 基羰基、异壬氧基羰基、正癸氧基羰基以及异癸氧基羰基等。
[0108] 苯基所具有的取代基为苯基烷基的情况下，其碳原子数优选为7~20,更优选为 7~10。另外，苯基所具有的取代基为萘基烷基的情况下，其碳原子数优选为11~20,更优 选为11~14。作为苯基所具有的取代基为苯基烷基的情况下的具体例，可以举出：苄基、 2-苯基乙基、3-苯基丙基以及4-苯基丁基。作为苯基所具有的取代基为萘基烷基的情况 下的具体例，可以举出：α-萘基甲基、β-萘基甲基、2-(α-萘基）乙基以及2-(β-萘基） 乙基。苯基所具有的取代基为苯基烷基或萘基烷基的情况下，取代基可以在苯基或萘基上 进一步具有取代基。
[0109] 苯基所具有的取代基为杂环基的情况下，杂环基为包含1个以上的N、S、0的五元 单环或六元单环，或者所述单环彼此间或所述单环与苯环稠合而成的杂环基。杂环基为稠 环的情况下，稠合的环的数量设定为到3为止。作为构成所述杂环基的杂环，可以举出：呋 喃、噻吩、吡咯、噁唑、异噁