一种真空镀膜机用腔体前板的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机用腔体前板。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体有很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、mbe分子束外延和pld激光溅射沉积等。

真空镀膜机中需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，目前市面上现有的真空镀膜机用腔体前板存在着不便于使用的缺点，在使用时，现有的真空镀膜机用腔体前板通常为铰接活动式，不便于对其进行开启或关闭，同时真空镀膜机在安装的过程中，通常采用螺栓固定在安装面上，费时费力，不易于对其进行拆装，不便于使用，故而提出以上一种真空镀膜机用腔体前板以解决上述问题。

技术实现要素：

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜机用腔体前板，具备便于使用等优点，解决了在使用时，现有的真空镀膜机用腔体前板通常为铰接活动式，不便于对其进行开启或关闭，同时真空镀膜机在安装的过程中，通常采用螺栓固定在安装面上，费时费力，不易于对其进行拆装，不便于使用的问题。

（二）技术方案

为实现上述便于使用的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机用腔体前板，包括安装面，所述安装面顶部的内侧活动连接有安装板，所述安装板内部的左右两端均固定连接有固定环，所述固定环的内侧通过轴承活动连接有丝杆，所述丝杆外表面的左右两端均螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的外表面滑动连接有限位环，所述安装板底部的四周均固定连接有支撑杆，所述支撑杆的顶部固定连接有真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体的正面铰接有前门，所述前门与真空镀膜机本体相对的一侧之间卡接有位于真空镀膜机本体内壁的密封垫，所述丝杆外表面的中段固定连接有从动锥齿，所述从动锥齿的顶部啮合有主动锥齿，所述主动锥齿的顶部固定连接有转杆，所述转杆的顶部固定连接有手轮，所述安装面内侧的左右两端均开设有卡槽，所述真空镀膜机本体的顶部固定连接有真空泵，所述前门的右侧铰接有数量为多个的螺杆，所述真空镀膜机本体的右侧固定连接有数量为多个且与螺杆相对应的卡块。

优选的，所述安装面的顶部开设有安装槽，所述安装板位于安装槽的内部，两个所述卡槽分别位于安装槽的左右两侧。

优选的，所述螺纹套为方形螺纹套，所述限位环的内侧开设有与螺纹套相适配的方向限位孔。

优选的，所述丝杆外表面的左右两端均固定连接有方向相反的螺纹，所述螺纹套的内侧开设有与丝杆外表面螺纹相适配的螺纹槽。

优选的，所述安装板的内部开设有横向通孔，且横向通孔与卡槽处于同一水平直线上，所述横向通孔顶部的中段连通有开设于安装板顶部的连接孔。

优选的，所述卡块呈侧凹形，所述螺杆位于卡块的内侧，且螺杆外表面的背面螺纹连接有限位螺母。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种真空镀膜机用腔体前板，具备以下有益效果：

该真空镀膜机用腔体前板，通过关闭前门时，使得螺杆处于卡块的内侧，然后扭动限位螺母，使得限位螺母与卡块相贴合，即可实现对前门的关闭，密封垫的设置，保障了前门与真空镀膜机本体连接时的密封性，需要开启前门时，只需扭动限位螺母，使限位螺母不再与卡块相贴合，无需卸下限位螺母，即可实现前门的开启，通过用手正反转动手轮并带动转杆与主动锥齿正反转动，而主动锥齿的右侧啮合有从动锥齿，使得从动锥齿带动丝杆正反转动，丝杆外表面的左右两端均固定连接有方向相反的螺纹，螺纹套的内侧开设有与丝杆外表面螺纹相适配的螺纹槽，同时螺纹套为方形螺纹套，限位环的内侧开设有与螺纹套相适配的方向限位孔，有效的限制了螺纹套跟随丝杆做圆周运动，并使得两个螺纹套向相对或相背的方向运动，当螺纹套移动至卡槽内时，实现对安装板的固定，当螺纹套从卡槽内移出时，即可实现对安装板的拆卸，该装置不仅方便对前门进行开启或关闭，同时密封性好，且通过旋转卡接的方式对安装板进行固定，无需采用螺栓，省时省力，方便拆装，便于使用，适用于各种情况。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中a处放大图；

图3为本实用新型真空镀膜机本体与前门连接俯视图；

图4为本实用新型真空镀膜机本体、前门和密封垫连接侧视图；

图5为本实用新型螺纹套与限位环连接立体图。

图中：1安装面、2安装板、3丝杆、4固定环、5螺纹套、6限位环、7支撑杆、8真空镀膜机本体、9前门、10密封垫、11从动锥齿、12主动锥齿、13转杆、14手轮、15卡槽、16真空泵、17螺杆、18卡块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，一种真空镀膜机用腔体前板，包括安装面1，安装面1顶部的内侧活动连接有安装板2，安装板2内部的左右两端均固定连接有固定环4，固定环4的内侧通过轴承活动连接有丝杆3，丝杆3外表面的左右两端均螺纹连接有螺纹套5，丝杆3外表面的左右两端均固定连接有方向相反的螺纹，螺纹套5的内侧开设有与丝杆3外表面螺纹相适配的螺纹槽，螺纹套5的外表面滑动连接有限位环6，螺纹套5为方形螺纹套，限位环6的内侧开设有与螺纹套5相适配的方向限位孔，限位环6的外表面与安装板2的内侧固定连接，安装板2底部的四周均固定连接有支撑杆7，支撑杆7的顶部固定连接有真空镀膜机本体8，真空镀膜机本体8的正面铰接有前门9，真空镀膜机本体8的正面开设有固定槽，密封垫10的背面位于固定槽的内部，前门9的背面开设有密封槽，密封垫10的正面位于密封槽的内部且与密封槽活动连接，前门9与真空镀膜机本体8相对的一侧之间卡接有位于真空镀膜机本体8内壁的密封垫10，丝杆3外表面的中段固定连接有从动锥齿11，从动锥齿11的顶部啮合有主动锥齿12，主动锥齿12的顶部固定连接有转杆13，转杆13的顶部贯穿并延伸至安装板2的外部且与安装板2活动连接，转杆13的顶部固定连接有手轮14，安装面1内侧的左右两端均开设有卡槽15，安装板2的内部开设有横向通孔，且横向通孔与卡槽15处于同一水平直线上，横向通孔顶部的中段连通有开设于安装板2顶部的连接孔，转杆13位于连接孔的内部，述安装面1的顶部开设有安装槽，安装板2位于安装槽的内部，两个卡槽15分别位于安装槽的左右两侧，两个螺纹套5相背的一侧均贯穿并延伸至卡槽15的内部且与卡槽15相卡接，卡槽15为方形卡槽，真空镀膜机本体8的顶部固定连接有真空泵16，真空泵16的型号可为fy-1h-n，前门9的右侧铰接有数量为多个的螺杆17，真空镀膜机本体8的右侧固定连接有数量为多个且与螺杆17相对应的卡块18，卡块18呈侧凹形，螺杆17位于卡块18的内侧，且螺杆17外表面的背面螺纹连接有限位螺母，通过关闭前门9时，使得螺杆17处于卡块18的内侧，然后扭动限位螺母，使得限位螺母与卡块18相贴合，即可实现对前门9的关闭，密封垫10的设置，保障了前门9与真空镀膜机本体8连接时的密封性，需要开启前门9时，只需扭动限位螺母，使限位螺母不再与卡块18相贴合，无需卸下限位螺母，即可实现前门9的开启，通过用手正反转动手轮14并带动转杆13与主动锥齿12正反转动，而主动锥齿12的右侧啮合有从动锥齿11，使得从动锥齿11带动丝杆3正反转动，丝杆3外表面的左右两端均固定连接有方向相反的螺纹，螺纹套5的内侧开设有与丝杆3外表面螺纹相适配的螺纹槽，同时螺纹套5为方形螺纹套，限位环6的内侧开设有与螺纹套5相适配的方向限位孔，有效的限制了螺纹套5跟随丝杆3做圆周运动，并使得两个螺纹套5向相对或相背的方向运动，当螺纹套5移动至卡槽15内时，实现对安装板2的固定，当螺纹套5从卡槽15内移出时，即可实现对安装板2的拆卸，该装置不仅方便对前门9进行开启或关闭，同时密封性好，且通过旋转卡接的方式对安装板2进行固定，无需采用螺栓，省时省力，方便拆装，便于使用，适用于各种情况。

综上所述，该真空镀膜机用腔体前板，通过关闭前门9时，使得螺杆17处于卡块18的内侧，然后扭动限位螺母，使得限位螺母与卡块18相贴合，即可实现对前门9的关闭，密封垫10的设置，保障了前门9与真空镀膜机本体8连接时的密封性，需要开启前门9时，只需扭动限位螺母，使限位螺母不再与卡块18相贴合，无需卸下限位螺母，即可实现前门9的开启，通过用手正反转动手轮14并带动转杆13与主动锥齿12正反转动，而主动锥齿12的右侧啮合有从动锥齿11，使得从动锥齿11带动丝杆3正反转动，丝杆3外表面的左右两端均固定连接有方向相反的螺纹，螺纹套5的内侧开设有与丝杆3外表面螺纹相适配的螺纹槽，同时螺纹套5为方形螺纹套，限位环6的内侧开设有与螺纹套5相适配的方向限位孔，有效的限制了螺纹套5跟随丝杆3做圆周运动，并使得两个螺纹套5向相对或相背的方向运动，当螺纹套5移动至卡槽15内时，实现对安装板2的固定，当螺纹套5从卡槽15内移出时，即可实现对安装板2的拆卸，该装置不仅方便对前门9进行开启或关闭，同时密封性好，且通过旋转卡接的方式对安装板2进行固定，无需采用螺栓，省时省力，方便拆装，便于使用，适用于各种情况，解决了在使用时，现有的真空镀膜机用腔体前板通常为铰接活动式，不便于对其进行开启或关闭，同时真空镀膜机在安装的过程中，通常采用螺栓固定在安装面1上，费时费力，不易于对其进行拆装，不便于使用的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。