专利名称：基板传输系统及其基板取出方法
技术领域：
本发明涉及一种基板传输系统，尤其涉及一种用以存取多个基板的基板传 输系统。
背景技术：
随着科技的蓬勃发展及市场的大量需求，液晶显示器已广泛的应用在现代 生活的各种领域中，其中工艺技术的提升及生产成本的降低是促成液晶显示器
普及化的主要因素，当中，尤以基板(substrate)的研究改良与创新突破具 有不可忽略的贡献。
基板是制作液晶显示器的关键材料， 一般是为一种高质量的超薄平板玻 璃。在液晶显示器大型化的发展趋势下，作为载体的基板，其面积也在快速增 加中；然而，由于基板在程序处理前、后都必须利用卡匣(cassette)以妥善 储存，以避免碰撞或损伤，大型基板因占据的空间较大，自然增加了储存系统 的负担，成为量产大型液晶显示器的阻碍之一。
在液晶显示器的工艺中，基板是以放置在具有多层承载面的卡匣内储存， 而现行使用的卡匣主要分为标准式卡匣(normal cassette)及线索式卡匣 (wire cassette)。标准式卡匣是传统基板储存所采用的卡匣形式，主要是 由多层相同的基板承载面所组成，因各承载面之间都间隔一定的距离，足以使 机械手臂伸入其牙叉，故使用标准式卡匣可以随机的方式对任一承载面取放基 板，但是，也由于各承载面的间隔要有一定的距离，造成单一卡匣内只能规划 有限的承载面数，产生空间利用的浪费。相反，线索式卡匣则是将各承载面的 间距縮小，借以提供较大的基板容量，但因各机械手臂无法将其牙叉伸入如此 紧密的承载面中间，也就是说，线索式卡匣无法以机械手臂方式随机取放基板， 造成基板的取放顺序有严重的限制，而通常只能利用输送带以单一方向存取基 板，或需搭配额外增设的可动元件协助存取基板。
由此可知，目前的基板传输系统并无法对基板的存取提供一个能兼顾可随机取放又具有较大储存容量的卡匣形式，虽然已有部分工艺改以线索式卡匣取代标准式卡匣，以求在生产大型液晶显示器时能有足够的仓储空间，但依旧无 法解决线索式卡匣仅能以整个卡匣为单位依序取放基板所造成耗费工时的问题，可见线索式卡匣虽有助于成本控制，但是仍未尽完善。有鉴于此，如何开发出一种基板传输系统，其可用于存取多个基板，并能 兼顾储存容量与存取效率为当前重要的课题之一。发明内容本发明所要解决的技术问题在于提供一种基板传输系统及其基板取出方 法，是用于存取多个基板，并能兼顾储存容量与存取效率。为实现上述目的，依据本发明的一种用以存取多个基板的基板传输系统包 含一卡匣以及一搬运装置。卡匣包含一本体、多对第一支撑元件以及多对第二 支撑元件。本体具有相对设置的一第一壁与一第二壁。该第一支撑元件的其中 任一对是分设于第一壁及第二壁以构成存放基板的多个第一承载面的其中之 一，该第一支撑元件是沿与第一承载面垂直的一方向而设置以构成一第一储存 区，且沿此方向的相邻两第一支撑元件具有一第一距离。该第二支撑元件的其 中任一对是分设于第一壁及第二壁以构成存放基板的多个第二承载面的其中 之一，该第二支撑元件是沿与第一承载面垂直的方向而设置以构成邻设于第一 储存区的一第二储存区，且沿此方向的相邻两第二支撑元件具有一第二距离。 另外，沿与第一承载面垂直的方向的相邻的第一支撑元件与第二支撑元件之间 具有一第三距离，且第三距离是大于第一距离及第二距离。搬运装置是邻设于 卡匣，且具有至少一适于伸入卡匣以存取基板的搬运单元。第一距离与第二距 离是分别大于搬运单元的一上移距离，且上移距离是适于使各基板脱离相对应 的各对第一支撑元件或相对应的各对第二支撑元件支撑的一向上距离。另外，为达上述目的，依据本发明的一种基板传输系统的基板取出方法是 用以取出多个基板，此基板取出方法包含下列步骤提供一卡匣，卡匣具有邻 设的一第一储存区与一第二储存区，第一储存区具有多对第一支撑元件以构成 存放基板的多个第一承载面，沿与第一承载面垂直的一方向的相邻两第一支撑 元件具有一第一距离，第二储存区具有多对第二支撑元件以构成存放基板的多 个第二承载面，沿与第一承载面垂直的方向的相邻两第二支撑元件具有一第二距离，而同样沿此方向的相邻的第一支撑元件与第二支撑元件间具有一第三距 离，其中，第三距离是大于第一距离及第二距离；接着，提供具有至少一搬运 单元的一搬运装置，并将搬运单元伸入第一储存区；最后，由搬运单元依序自 第一储存区的底部至第一储存区的顶部取出基板，其中，搬运单元是以分别移 动基板一上移距离的方式，使位于第一储存区的各基板能脱离相对应的各对第 一支撑元件的支撑，且上移距离是小于该第一距离。承上所述，在本发明的基板传输系统及其基板取出方法中，由于相邻的两 第一支撑元件或第二支撑元件是以较小的间距设置于卡匣本体的壁上，因此， 可在固定大小的卡匣内构成较多的基板承载面，有效提高基板的储存容量；另 外，在相邻的第一支撑元件与第二支撑元件间则是另外具有一较大的第三距 离，其适于使搬运装置将其搬运单元伸入。以整体结构观之，由于第三距离也 可视为第一储存区与第二储存区的间距，故本发明的基板传输系统在操作上可 先提供搬运装置随机挑选储存区，再针对此储存区依序取放基板，是为一种有 弹性的基板取放方式，而不需局限于以整个卡匣为单位依序取放基板。与现有技术相较，本发明兼具部分随机存取基板与较佳空间利用效率的两 项优点，不仅改善标准式卡匣因为各基板承载面间距较大所造成存放空间浪费 的问题，另外，也节省线索式卡匣每次取放基板所要耗费的大量时间与重复作 动，有助于控制液晶显示器的生产成本。除此之外，本基板传输系统的卡匣在 结构上是为一整体，不需附加任何可动元件以协助搬运装置取放基板，可减少 来自卡匣外部的落尘机率或因本身元件间摩擦所产生的粉尘量，在液晶显示器 的工艺过程中维持基板表面的较佳状况，避免影响成品良率。以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的 限定。
图1A为本发明第一较佳实施例的一种基板传输系统的示意图；图1B为图1A的卡匣的示意图；图1C为图1A的卡匣的另一态样的示意图；图2为图1A的卡匣的前视图；图3A为本发明第二较佳实施例的一种基板传输系统的卡匣的示意图；图3B为本发明第二较佳实施例的一种基板传输系统的卡匣的另一态样的 示意图；图4为图3A的卡匣的前视图；以及图5为本发明较佳实施例的一种基板传输系统的基板取出方法的步骤流其中，附图标记-1:基板传输系统II、 3:卡匣III、 31:本体 llla、 311:第一壁 lllb、 312:第二壁112、 32:第一支撑元件113、 33:第二支撑元件114、 34:第一储存区115、 35:第二储存区12:搬运装置 121:搬运单元 dl、 d4:第一距离d2、 d5:第二距离d3、 d6:第三距离313:第三壁39:辅助支撑元件A、 E:基板Al、 El:抵靠表面 A2:表面B、 F:第一承载面C、 G:方向D、 H:第二承载面I:支撑条板 S11 S13:步骤程图。
具体实施方式
以下将参照相关图式，说明本发明较佳实施例的基板传输系统及其基板取 出方法。请参考图1A及图2所示，根据本发明第一较佳实施例的一种用以存取多 个基板A的基板传输系统1，其包含一卡匣11以及一搬运装置12。卡匣11 包含一本体111、多对第一支撑元件112以及多对第二支撑元件113。本体111 具有相对设置的一第一壁llla与一第二壁lllb。该第一支撑元件112的其中 任一对是分设于第一壁llla及第二壁lllb以构成存放基板A的多个第一承载 面B的其中之一，第一支撑元件112是沿与第一承载面B垂直的一方向C而设 置以构成一第一储存区114，且沿此方向C的相邻两第一支撑元件112具有一 第一距离dl。该第二支撑元件113的其中任一对是分设于第一壁llla及第二 壁lllb以构成存放基板A的多个第二承载面D的其中之一，第二支撑元件113 是沿方向C而设置以构成邻设于第一储存区114的一第二储存区115，且沿方 向C的相邻两第二支撑元件113具有一第二距离d2。此外，沿方向C的相邻 的第一支撑元件112与第二支撑元件113之间具有一第三距离d3，且第三距 离d3是大于第一距离dl及第二距离d2。搬运装置12是邻设于卡匣11，且具 有至少一适于伸入卡匣11以存取基板A的搬运单元121。第一距离dl与第二 距离d2是分别大于搬运单元121的一上移距离，且上移距离是适于使各基板 A脱离相对应的各对第一支撑元件112或相对应的各对第二支撑元件113支撑 的一向上距离。在本实施例中，基板传输系统1所存取的基板A可包括玻璃基材、塑料基 材、金属基材、已填入液晶的对组基材或其它适合基材。本实施例的基板A 以玻璃基板为例。卡匣11是用作于存放基板A，以提供基板A在处理程序前、后较为妥善 的储存方式，为此，卡匣ll是为具有一本体lll、多个第一支撑元件112以 及多个第二支撑元件113而可将基板A收容成积层状态的一立体结构。卡匣 11的本体111具有一第一壁llla及一第二壁lllb,其可使用的材质包括不锈 钢、铝、其它稳定性佳的金属或稳定性佳的合金，又或者为树脂(聚醚、醚酮、 聚醚酰亚胺、聚碳酸酯等)、高性能碳纤维复合材料(carbon fiber reinforced plastics, CFRP)或其它类人工合成材料。本发明不限于上述描述，可依实际需求选择适当材料。请参考图1A所示，在本实施例中，第一壁llla与第二壁 lllb可为彼此平行且相同的一对四边型平板，而第一支撑元件112与第二支 撑元件113是各自成对地分别设置于第一壁llla与第二壁lllb上；当然，请 参考图1C所示，在本实施例的另一态样中，第一壁llla与第二壁lllb也可 为平行且相同的一对四边型框架，四边型框架包含成对的支撑条板I分别以纵 向方向固定于四边型框架中的上下框架上，而第一支撑元件112或第二支撑元 件113则是设置于支撑条板I上。本发明中第一支撑元件112是以成对的方式分别设置于第一壁llla与第 二壁lllb上，且每一对第一支撑元件112可构成一存放基板A的第一承载面 B，在本实施例中，请参考图1A所示，第一支撑元件112为连续长条板状结构； 然而，在本实施例的另一态样中，第一支撑元件112也可为独立的杆状结构(如 图1B与图1C所示)，换言之，每一对第一支撑元件112可为多个杆状结构以 构成一存放基板A的第一承载面B。第一支撑元件112以使用具有不易弯曲、 抗静电性、耐磨耗性、高表面硬度、低析出物、耐高温性及耐化学性等特性者 为佳，不仅可以提升成品的良率，也可以延长卡匣11的使用寿命与减少卡匣 11的维修需求，据此，第一支撑元件112可由具有良好强度的不锈钢、铝、 合成树脂、碳纤维或强化弹性碳纤维所制造，再者，于第一支撑元件112上可 更进一步涂以预定的材料，以降低接触基板A时可能造成的基板A表面划伤。 另外，请同时参考图1A所示，各对第一支撑元件112是沿方向C分别设置于 第一壁llla及第二壁lllb上，其设置的方式可为嵌合卡固、螺丝锁固、热融 或铆接等方式，或是第一支撑元件112也可直接与卡匣11一体成型。本发明 不限于上述描述，可依实际需求选择适当的设置方式。第二支撑元件113也是以成对的方式分别设置于第一壁llla与第二壁 lllb上，且每一对第二支撑元件113可构成一存放基板A的第二承载面D，由 于第二支撑元件113的结构、制造材料与设置方式都与第一支撑元件112相同， 于此不再赘述。请参考图2所示，卡匣11具有一第一储存区114及一第二储存区115, 第一储存区114是由第一支撑元件112沿方向C设置而构成，而第二储存区 115则是由第二支撑元件113沿方向C设置而构成。在本发明的基板传输系统中，第一距离dl与第二距离d2是大于搬运单元适于使各基板A脱离相对应的各对第一 支撑元件112或相对应的各对第二支撑元件113支撑所需的一向上距离;据此, 当搬运装置12以其搬运单元121取出置放于第一承载面B或第二承载面D中 的基板A时，搬运单元121可承载并向上移动此基板A —距离，使此基板A 得不与原本支撑此基板A的第一支撑元件112或第二支撑元件113接触，同时 也不会使得基板A与上方的另一对第一支撑元件112或第二支撑元件113接 触，将基板A在搬运过程中接触面积及可能的刮损程度减到最低，确保成品良 率。请参考图1A及图2所示，沿方向C的相邻两第一支撑元件112间具有第 一距离dl，而沿方向C的相邻两第二支撑元件113间具有第二距离d2，在本 实施例中，第一距离dl可实质等于第二距离d2，使达到较佳储存容量分配。 第一距离dl与第二距离d2是大于待搬运装置12存取的基板A的厚度，使基 板A能在最少实质接触的情况下置入或取出于第一承载面B或第二承载面D。沿方向C的相邻的第一支撑元件112与第二支撑元件113之间具有第三距 离d3，而第三距离d3必须要大于第一距离dl及第二距离d2;请参考图2所 示，在本实施例中，由于第一储存区114与第二储存区115是分别由第一支撑 元件112与第二支撑元件113所构成，因此，第三距离d3也可视为第一储存 区114的底部与第二储存区115的顶部的间距，由此可以得知，在本实施例中， 第一储存区114与第二储存区115间的距离是分别大于第一承载面B与第一承 载面B间的距离或第二承载面D与第二承载面D间的距离。搬运装置12具有至少一适于伸入卡匣11的搬运单元121，因此，搬运装 置12可利用搬运单元121承载并移动基板A，而将基板A分别存放于卡匣11 中，或分别由卡匣11中取出基板A。请参考图1A所示，在本实施例中，搬运 装置12可为一具有两个搬运单元121的机械手臂，而每一搬运单元121则可 为一具有四支牙叉的牙叉组，当然，搬运单元121也可为具有其它数目牙叉的 牙叉组；另外，机械手臂在使用上并无特别限制，可为真空机械手臂、常压机 械手臂或其它适于搬运基板A的机械手臂，且牙叉可以铝合金、高性能碳纤维 复合材料或其它具有足够刚性的工程弹性材料所制成。本发明不限于上述描 述，可依实际需求选择适当的搬运装置与其材质。请参考图1A所示，在本实 施例中，为使机器手臂可在最少接触的情况下将牙叉伸入第一储存区114与第二储存区115之间存取基板A，牙叉的厚度是可介于第三距离d3与第一距离 dl之间，或介于第三距离d3与第二距离d2之间。
在本实施例中，当各基板A被分别放置于各对第一支撑元件112或各对第 二支撑元件113上时，各对第一支撑元件112或各对第二支撑元件113是以接 触相对应的基板A的一抵靠表面Al以支撑基板A，而当操作本发明的基板传 输系统1以存取基板A时，搬运装置12也是以接触基板A的抵靠表面Al以将 基板A置入卡匣11或自卡匣11中取出，其乃是为避免已披覆化学涂层或预备 予以披覆化学涂层的基板A的表面A2 (即相对抵靠表面A1的另一面)与其它 对象有实质接触。在本实施例中所使用的"抵靠表面"一词是指基板的两表面 的其中之一，是为未实施加工、处理或未规划要予以加工或处理的基板表面， 其可提供于承载搬运或与其它对象接触，以避免造成非基板抵靠表面上的刮伤 或颗粒附着，影响成品良率。
以下将参照图3A、图3B及图4说明本发明第二较佳实施例的基板传输系 统的卡匣3。
图3A是为本发明第二较佳实施例的一种基板传输系统的卡匣3的示意图， 图4则是为图3A的卡匣3的前视图。请参考图3A及4所示，根据本发明第二 较佳实施例的一种用以存取多个基板E的基板传输系统，其包含一卡匣3以及 一搬运装置(图中未示)。卡匣3包含一本体31、多对第一支撑元件32、多 对第二支撑元件33以及多个辅助支撑元件39。本体31具有相对设置的一第 一壁31K —第二壁312与一第三壁313，第三壁313是分别与第一壁311与 第二壁312连接。该第一支撑元件32的其中任一对是分设于第一壁311及第 二壁312以构成存放基板E的多个第一承载面F的其中之一，该第一支撑元件 32是沿与第一承载面F垂直的一方向G而设置以构成一第一储存区34，且沿 方向G的相邻两第一支撑元件32具有一第一距离d4。该第二支撑元件33的 其中任一对是分设于第一壁311及第二壁312以构成存放基板E的多个第二承 载面H的其中之一，该第二支撑元件33是沿方向G而设置以构成邻设于第一 储存区34的一第二储存区35，且沿方向G的相邻两第二支撑元件33具有一 第二距离d5。此外，沿方向G的相邻的第一支撑元件32与第二支撑元件33 之间具有一第三距离d6，且第三距离d6是大于第一距离d4及第二距离d5。 该辅助支撑元件39是设置于第三壁313上，且与相对应的各对第一支撑元件32共同构成相对应的各第一承载面F或与相对应的各对第二支撑元件33共同 构成相对应的各第二承载面H，该辅助支撑元件39是沿方向G而设置于第三 壁313。换言之，每一第一承载面F可由对应的一对第一支撑元件32与至少 一辅助支撑元件39构成；每一第二承载面H可由对应的一对第二支撑元件33 与至少一辅助支撑元件39构成。其中每一第一承载面F或每一第二承载面H 使用的辅助支撑元件39的数目并不限于图式所示，可依实际需求调整，以避 免基板因中央支撑力较小而弯曲。搬运装置(图中未示)是邻设于卡匣3，且 具有一至少适于伸入卡匣3以存取基板E的搬运单元。第一距离d4与第二距 离d5是分别大于搬运单元的一上移距离，且上移距离是适于使各基板E脱离 相对应的各对第一支撑元件32或相对应的各对第二支撑元件33支撑的一向上 距离。
本实施例的基板传输系统的卡匣适用于提供大尺寸的基板足够强度的支 撑，避免因为基板E在第一承载面F或第二承载面H上时由于左右两端与中间 部位受力不均匀而产生曲折或变形。
在本实施例中，基板传输系统所存取的基板E、多对第一支撑元件32以 及多对第二支撑元件33都与本发明第一较佳实施例中所揭示的基板传输系统 1所存取的基板A、多对第一支撑元件112以及多对第二支撑元件113相同(如 图1所示)，于此不再赘述。
请参考图3A所示，在本实施例中，卡匣3是和本发明第一较佳实施例中 所揭示的卡匣11相似但其本体31而更具有一第三壁313，其材质可与第一壁 312与第二壁313相同，再者，请参考图4所示，第三壁313可为一四边型平 板，其长宽比例则可依照欲存放基板E的长宽比例及欲使用的基板E承载面数 量进行规划，然而，第三壁313可为与第一壁311及第二壁312不同的形状或 结构；当然，在本实施例的另一态样中，第三壁313也可为一四边型框架(如 图3B所示)，惟本发明不限于上述描述，可依实际需求选择适当的第三壁结 构或形状。本发明的第三壁313与第一壁311及第二壁312连接的方式可为螺 丝锁固、插入嵌合、通过其它元件连结固定或一体成型，第三壁313并以此与 第一壁311及第二壁312组成一截面为n字形立体结构的本体31 (如图3A与 图3B所示)。当然，本体也可具有一上盖以及一底板，以与第一壁311、第 二壁312及第三壁313组成具有一开口的箱体，然其并非为限制性，可依实际需求调整。
请参考图3A所示，在本实施例中，辅助支撑元件39是沿方向G而设置于 第三壁313并相对应的第一支撑元件32共同构成相对应的第一承载面F或与 相对应的第二支撑元件33共同构成相对应的第二承载面H。辅助支撑元件39 可由良好强度的不锈钢、铝、合成树脂、碳纤维、强化弹性碳纤维或其它适当 材料所制造，并如同使用第一支撑元件32及第二支撑元件33，要考虑不易弯 曲、抗静电性、耐磨耗性、高表面硬度、低析出物、耐高温性及耐化学性等特 性，再者，辅助支撑元件39上可更进一步涂以预定的材料，以降低接触基板 E时可能造成的基板E表面划伤。另外，在本实施例中，辅助支撑元件39是 为连续长条状，而其长度是必须依据待存放的基板E的大小，考虑是否能提供 足够的支撑力，而必须使基板E在置放于第一承载面F或第二承载面H上时不 会因为本身的重量下压而产生变形弯曲。另外，辅助支撑元件39是设置于第 三壁313上，其设置的方式可为嵌合卡固、螺丝锁固、热融或铆接等方式，或 是辅助支撑元件39也可直接与卡匣3—体成型。本发明不限于上述描述，可
依实际需求选择适当的设置方式。
请参考图4所示，在本实施例中，辅助支撑元件39也是通过接触基板E 的抵靠表面E1以支撑基板E，其中，抵靠表面E1即为各基板E被分别放置于 各对第一支撑元件32或各对第二支撑元件33上时，第一支撑元件32或第二 支撑元件33用以接触并支持基板E的一基板E表面。祇靠表面与前述概念相 近，于此不再赘述。
以下将参照图5说明本发明较佳实施例的一种基板传输系统的基板取出 方法，此方法是用于取出储存的多个基板。由于本方法中所使用的卡匣以及搬 运装置都与前述的基板传输系统的卡匣11 (或卡匣3)以及搬运装置12相似， 于此不再赘述。
请参考图5所示，依据本发明较佳实施例的基板传输系统的基板取出方 法，包括步骤S11至步骤S13。步骤S11为提供一卡匣；步骤S12提供具有至 少一搬运单元的一搬运装置，并将搬运单元伸入第一储存区；步骤S13由搬运 单元依序自第一储存区的底部至第一储存区的顶部取出基板。
在本发明的基板传输系统的基板取出方法中，使用搬运装置依序自第一储 存区的底部至第一储存区的顶部取出基板的方式是以搬运单元先分别移动基板一上移距离，使各基板脱离相对应的各对第一支撑元件支撑，再由卡匣前侧 取出基板，需注意的是，上移距离要小于相邻两第一支撑元件间的第一距离， 以避免当搬运单元以取出基板为目的而向上移动基板时，基板会接触到其上的 第一支撑元件，产生无谓的碰撞或刮伤。
在本实施例中，当实施本发明的基板传输系统的基板取出方法的步骤S3 前，第一支撑元件的其中任一对是以接触基板的一抵靠表面以支撑基板，使基 板能处于一稳定的状态，其中，抵靠表面是指基板具有的未实施加工、处理或 未规划要予以加工或处理的一表面，其可提供承载或搬运使用，以避免其它对 象接触非基板抵靠表面可能造成的表面刮伤或颗粒附着，再者，于实施本发明 的基板传输系统的基板取出方法的步骤S3时，搬运单元也是以接触基板的抵 靠表面以取出基板。另外，在本实施例中，搬运单元是以真空吸附或静电吸附 基板的方式承载与移动基板，可加强基板位于搬运单元上时的稳定性，以避免 基板在搬运的过程中产生位移、晃动、不稳甚至由搬运单元上坠落，惟本发明 不限于上述描述，可依实际需求选择适当的承载基板的机制。此处是以取出第 一储存区的基板为例，而取出第二储存区的基板的概念与上述原理相近，于此 不再赘述。
综上所述，依据本发明的基板传输系统及其基板取出方法是以一紧密的距 离间隔设置相邻的第一支撑元件或第二支撑元件，故可使单一卡匣内具有较多 的基板承载面，从而提高卡匣的基板储存容量；另外，在相邻的储存区与储存 区间则是搭配设置一较大的第三距离，其适于使搬运装置将其搬运单元伸入， 以快速完成此储存区内的基板存取；据此，本基板传输系统可提供先随机选取 储存区，再对储存区内的各承载面依序取放基板的基板取放方式，除改善使用 标准式卡匣所造成卡匣内内部空间浪费的问题，还可突破现行线索式卡匣严重 受限的基板存取方式，有助于节省仓储空间或工时，降低液晶显示器的生产成 本。另外，本基板传输系统也不需在卡匣结构上附加任何可动元件来协助搬运 装置取放基板，避免因为外部落尘进入或可动元件磨擦所产生出的颗粒掉落基 板表面上，影响成品良率。
当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情 况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但 这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
权利要求
1、一种基板传输系统，用以存取多个基板，其特征在于，该基板传输系统包含一卡匣，用以存放该基板，包含一本体，具有相对设置的一第一壁与一第二壁；多对第一支撑元件，该第一支撑元件的其中任一对分设于该第一壁及该第二壁以构成存放该基板的多个第一承载面的其中之一，该第一支撑元件沿与该第一承载面垂直的一方向设置以构成一第一储存区，且沿该方向的相邻两第一支撑元件具有一第一距离；及多对第二支撑元件，该第二支撑元件的其中任一对分设于该第一壁及该第二壁以构成存放该基板的多个第二承载面的其中之一，该第二支撑元件沿该方向设置以构成邻设于该第一储存区的一第二储存区，且沿该方向的相邻两第二支撑元件具有一第二距离，沿该方向的相邻的该第一支撑元件与该第二支撑元件之间具有一第三距离，该第三距离大于该第一距离及该第二距离；以及一搬运装置，邻设于该卡匣，且具有至少一搬运单元适于伸入该卡匣以存取该基板，其中，该第一距离与该第二距离分别大于该搬运单元的一上移距离，且该上移距离适于使各基板脱离相对应的各对第一支撑元件或相对应的各对第二支撑元件支撑的一向上距离。
2、 根据权利要求1所述的基板传输系统，其特征在于，该本体更具有一第三壁，其分别与该第一壁与该第二壁连接。
3、 根据权利要求2所述的基板传输系统，其特征在于，还包含多个辅助支撑元件，该辅助支撑元件设置于该第三壁，且与相对应的各对 第一支撑元件共同构成相对应的各第一承载面或与相对应的各对第二支撑元 件共同构成相对应的各第二承载面，且该辅助支撑元件沿该方向设置于该第三 壁。
4、 根据权利要求3所述的基板传输系统，其特征在于，各辅助支撑元件为连续长条状。
5、 根据权利要求1所述的基板传输系统，其特征在于，该第一距离与该第二距离大于该基板的一厚度。
6、 根据权利要求1所述的基板传输系统，其特征在于，该第一距离等于该第二距离。
7、 根据权利要求1所述的基板传输系统，其特征在于，该第一支撑元件 的其中任一对或该第二支撑元件的其中任一对适于接触相对应的该基板的一 抵靠表面以支撑该基板。
8、 根据权利要求7所述的基板传输系统，其特征在于，该搬运单元适于 接触该基板的该抵靠表面以存取该基板。
9、 根据权利要求1所述的基板传输系统，其特征在于，该搬运单元具有 至少一牙叉，且该牙叉的厚度介于该第三距离与该第一距离之间，或介于该第 三距离与该第二距离之间。
10、 一种基板传输系统的基板取出方法，其特征在于，包含以下步骤 提供一卡匣，该卡匣具有邻设的一第一储存区与一第二储存区，该第一储存区具有多对第一支撑元件以构成存放该基板的多个第一承载面，沿与该第一 承载面垂直的一方向的相邻两第一支撑元件具有一第一距离，该第二储存区具 有多对第二支撑元件以构成存放该基板的多个第二承载面，沿该方向的相邻两 第二支撑元件具有一第二距离，沿该方向相邻的该第一支撑元件与该第二支撑 元件间具有一第三距离，其中该第三距离大于该第一距离及该第二距离；提供具有至少一搬运单元的一搬运装置，并将该搬运单元伸入该第一储存区；以及由该搬运单元依序自该第一储存区的底部至该第一储存区的顶部取出该 基板，其中该搬运单元分别移动一上移距离使位于该第一储存区的各基板脱离相对应的各对第一支撑元件支撑，且该上移距离小于该第一距离。
11、 根据权利要求IO所述的基板传输系统的基板取出方法，其特征在于， 该第一距离与该第二距离大于该基板的一厚度。
12、 根据权利要求10所述的基板传输系统的基板取出方法，其特征在于， 该第一距离等于该第二距离。
13、 根据权利要求IO所述的基板传输系统的基板取出方法，其特征在于， 该搬运单元以真空吸附或静电吸附方式承载与移动该基板。
14、 根据权利要求IO所述的基板传输系统的基板取出方法，其特征在于，在由该搬运单元依序自该第一储存区的底部至该第一储存区的顶部取出该基 板步骤之前，该第一支撑元件的其中任一对接触相对应的该基板的一抵靠表面 以支撑该基板。
15、 根据权利要求14所述的基板传输系统的基板取出方法，其特征在于， 在由该搬运单元依序自该第一储存区的底部至该第一储存区的顶部取出该基 板步骤中，该搬运单元接触该基板的该抵靠表面以取出该基板。
16、 根据权利要求IO所述的基板传输系统的基板取出方法，其特征在于， 该搬运单元具有至少一牙叉，且该牙叉的厚度介于该第三距离与该第一距离之 间，或介于该第三距离与该第二距离之间。
全文摘要
本发明公开了一种用以存取基板的基板传输系统，包含一卡匣及一搬运装置。卡匣包含一本体、多对第一支撑元件及多对第二支撑元件。本体具有相对设置的一第一壁与一第二壁。各对第一支撑元件是沿纵向分设于第一壁及第二壁，并共同构成一第一储存区，且相邻两第一支撑元件具有一第一距离。各对第二支撑元件是沿纵向分设于第一壁及第二壁，并共同构成一第二储存区，且相邻两第二支撑元件具有一第二距离。另外，沿纵向的相邻的第一支撑元件与第二支撑元件间有一第三距离，且第三距离大于第一距离及第二距离。本发明也揭露一种使用上述基板传输系统的基板取出方法。
文档编号B65G1/04GK101659346SQ20091017202
公开日2010年3月3日 申请日期2009年9月3日 优先权日2009年9月3日
发明者杨奇桦, 陈宏伟 申请人:友达光电股份有限公司