Cmos图像传感器产品的带图案cp测试装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，包括探针卡，探针卡上安装有图形玻璃，图形玻璃上设有测试图案和对准标记。探针卡的两侧分别设有移动卡槽，移动卡槽的两端分别设有步进电机，两个步进电机的轴相对设置，两个步进电机的轴之间连接有圆辊状导轨，图形玻璃放在圆辊状导轨上。可以更准确的发现芯片缺陷，提高测试的效率。
【专利说明】CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种WAFER测试装置，尤其涉及一种CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置。
【背景技术】
[0002]CMOS图像传感器产品的WAFER测试(CP测试)是必备的测试项目，要求能能保证测试的准确性。
[0003]现有技术中的测试方法准确性较低、测试效率较低。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是提供一种准确性高、测试效率高的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置。
[0005]本发明的目的是通过以下技术方案实现的:
[0006]本发明的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，包括探针卡，所述探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记。
[0007]由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明实施例提供的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，由于探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记，可以更准确的发现芯片缺陷，提高测试的效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1为本发明实施例中图形玻璃的结构示意图；
[0009]图2为本发明实施例中图形玻璃在探针卡上的安装结构示意图；
[0010]图3为本发明实施例中移动卡槽的结构示意图。
[0011]图中:
[0012]1、测试图案，2、对准标记，3、图形玻璃，4、PUPIL LENS (测试镜头)，5、移动卡槽，6、探针卡，7、步进马达，8、导轨。
【具体实施方式】
[0013]下面将对本发明实施例作进一步地详细描述。
[0014]本发明的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，其较佳的【具体实施方式】是:
[0015]包括探针卡，所述探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记。
[0016]所述探针卡的两侧分别设有移动卡槽，所述移动卡槽中设有驱动装置，所述图形玻璃安装在所述驱动装置上。
[0017]所述驱动装置包括步进电机，所述步进电机的轴上连接有导轨，所述图形玻璃设于所述导轨上。
[0018]所述移动卡槽的两端分别设有步进电机，两个步进电机的轴相对设置，所述导轨连接在两个步进电机的轴之间。
[0019]所述导轨为圆辊状。
[0020]本发明的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，将测试的PATTERN(图案)印制在玻璃上，通过程序控制玻璃的移动，实现有PATTERN的测试和无PATTERN的测试；为保证测试的准确性，在玻璃上印制对准标记，实现玻璃上PATTERN对芯片的感光测试。CMOS图像传感器产品的WAFER测试(CP测试)，在PROBE CARD (探针卡)上安装带有特定的图案玻璃，可以更准确的发现芯片缺陷，提高测试的效率。
[0021]以上所述，仅为本发明较佳的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本【技术领域】的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
【权利要求】
1.一种CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，包括探针卡，其特征在于，所述探针卡上安装有图形玻璃，所述图形玻璃上设有测试图案和对准标记。
2.根据权利要求1所述的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，其特征在于，所述探针卡的两侧分别设有移动卡槽，所述移动卡槽中设有驱动装置，所述图形玻璃安装在所述驱动装置上。
3.根据权利要求2所述的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，其特征在于，所述驱动装置包括步进电机，所述步进电机的轴上连接有导轨，所述图形玻璃设于所述导轨上。
4.根据权利要求3所述的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，其特征在于，所述移动卡槽的两端分别设有步进电机，两个步进电机的轴相对设置，所述导轨连接在两个步进电机的轴之间。
5.根据权利要求4所述的CMOS图像传感器产品的带图案CP测试装置，其特征在于，所述导轨为圆棍状。
【文档编号】G01R31/26GK104297659SQ201410589030
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2014年10月28日 优先权日:2014年10月28日
【发明者】冯建中 申请人:北京思比科微电子技术股份有限公司