专利名称：面发光器件的透明衬底及其生产方法及面发光器件的制作方法
技术领域：
本发明涉及到用于面发光器件的透明衬底、透明衬底的制造方法、包括此透明衬底的面发光器件、以及具有面发光器件的液晶显示器件。此透明衬底具有光入射表面以及与此光入射表面相反的光出射表面，且包括用来将入射光发射到外部的装置。
背景技术：
通常已知底部发射型的面发光器件。光源包括具有光入射表面和与光入射表面相反的光出射表面的透明衬底以及诸如制作在衬底的光入射表面上的有机电致发光器件之类的发光元件。从有机电致发光器件发射的光被引导到透明衬底中，且入射光从光出射表面被发射到外部。
这种类型的面发光器件无法将发光元件产生的发射到透明衬底的全部光发射到外部。这是因为光出射表面上入射角小于临界角的入射光之外的光由于二者的折射率不同而在光出射表面上被反射。光出射表面上的临界角决定于透明衬底与外部气氛(通常是空气)的折射率。光出射表面上被反射的光能够通过透明衬底的边沿被发射到外部，在衬底内被反复反射之后能够被衰减，或能够由于传播进入到面发光器件中而被衰减，致使无法从光出射表面被发射到外部。
为了取出难以从光出射表面发射的光，已经提出了一种在透明衬底的光出射表面上形成一个光散射部分的技术(日本专利公开8-83688)。根据此公开，无法从光出射表面取出的光在光散射部分处被散射，从而使部分光能够从透明衬底的平坦光出射表面发射。
而且，通常要求面发光器件在光出射表面上沿特定方向具有高的亮度。
例如，在液晶显示器件中装配的面发光器件中，沿垂直于光出射表面的方向发射的光量必须大于沿其它方向发射的光量。
因此，透明衬底必须以高的比率从光出射表面发射从面发光器件进入的光(改善了出光效率)，且光出射表面处沿特定方向的亮度必须高(改善了光利用效率)。
发明内容
根据上述要求而完成了本发明。本发明的目的是提供一种面发光器件的透明衬底，它不仅在用于面发光器件时具有高的出光效率，而且在用于面发光器件和液晶显示器件时也具有高的光利用效率。
本发明的另一目的是提供一种生产这种面发光器件的透明衬底的方法。
本发明的另一目的是提供一种具有高出光效率和高光利用效率的面发光器件。
本发明的另一目的是提供一种具有上述平面光源的液晶显示器件。
为了达到上述目的，根据本发明的面发光器件的透明衬底具有光入射表面和与此光入射表面相反的光出射表面，所述光出射表面具有多个形成在光出射表面上的凸向光入射表面的凹陷，其特征是，各个凹陷的壁形成大致对应于椭球的一部分的形状，光出射表面上的各个凹陷的周界大致是椭圆，且各个凹陷彼此分隔开。
注意，术语“椭球”表示借助于绕其长轴或短轴旋转二维椭圆而得到的形状。因此，凹陷能够被描述为具有大致与椭球的一部分相同的形状，其长轴或短轴大致垂直于光出射表面。
而且，在上述透明衬底中，各个凹陷的深度最好是透明衬底厚度的一半或以下，最多为光出射表面上周界直径的1.5倍，至少为0.1微米。
而且，各个凹陷最好被形成为彼此分隔开。
在各个凹陷被彼此分隔开形成的情况下，各个凹陷被安置成离最近邻凹陷的最短距离至少为50微米，且光出射表面上周界中心之间的距离最多为200微米。
能够以光出射表面上凹陷周界的直径与到最近邻凹陷的最短距离之和至少为椭球短轴的长度且最多为椭球长轴的长度的方式，来安排各个凹陷。
各个凹陷能够以相对于光出射表面上凹陷周界的中心接近六方密堆结构或立方密堆结构的方式在光出射表面上排列。
本发明的面发光器件包括透明衬底和面对发光表面排列的发光元件。面发光器件还包括光反射部件，它将从透明衬底发射的光沿离开发光元件的方向反射回透明衬底，或，在面发光器件中，从而在将光传输通过透明衬底之后出射到外部。
此发光元件可以是有机电致发光器件或无机电致发光器件。
注意，能够面对发光元件将棱镜片排列在透明衬底上。
根据本发明的液晶显示器件包括上述的面发光器件和液晶显示板。此液晶显示板被排列在面发光器件发射的光的光路中。
在液晶显示器件中，液晶显示板相对于面发光器件被安置成使显示表面上各个相邻象素中心之间形成的线与光出射表面上相邻凹陷周界确定的各个区域中心之间形成的线在从液晶显示板的显示表面看时彼此位移(彼此不平行)。
根据本发明的生产面发光器件的透明衬底的方法包括借助于喷沙而在透明衬底的光出射表面侧上形成凹陷的步骤。
根据本发明的生产面发光器件的透明衬底的另一方法包括借助于在透明衬底的光出射表面侧上不形成凹陷的区域中提供掩模并执行喷沙而形成凹陷的步骤。
结合附图，参照优选实施方案的下列描述，可以最好地理解本发明的目的和优点，其中图1是剖面图，示出了根据本发明一个实施方案的有机电致发光器件的结构；图2是透视图，示出了根据本发明一个实施方案的有机电致发光器件的结构；图3是图1的局部放大剖面图，示出了凹陷的剖面形状；图4是透明衬底的局部放大俯视图，示出了发光表面上的凹陷周界；图5(a)-5(d)示出了本发明的透明衬底比具有由垂直于光出射表面的2对平行平面的4个平面形成的凹陷的透明衬底，具有更高的出光效率，其中，图5(a)和5(c)是俯视图，而图5(b)和5(d)是剖面图；图6(a)-6(d)示出了本发明的透明衬底比形成为圆柱形的凹陷的透明衬底，具有更高的出光效率，其中，图6(a)和6(c)是俯视图，而图6(b)和6(d)是剖面图；图7(a)和7(b)是剖面图，示出了根据本发明一个实施方案的透明衬底比具有其剖面形状由相对于光出射表面的垂直线和平行线形成的凹陷的透明衬底，具有更高的出光效率；图8(a)和8(b)是剖面图，示出了形成有凹陷的透明衬底比形成有凸出部分的透明衬底，具有更高的光利用效率；图9(a)和9(b)是剖面图，示出了根据本发明一个实施方案的透明衬底比具有包括多角形剖面的凹陷的透明衬底，具有更高的亮度均匀性；图10是俯视图，示出了光出射表面上的凹陷以六方密堆结构排列；图11是俯视图，示出了光出射表面上的凹陷以立方密堆结构排列；图12是流程图，示出了用来在透明衬底上形成凹陷的优选生产方法的各个步骤；图13是面发光器件的剖面图，示出了提供在面发光器件中的光反射部件；图14(a)是具有棱镜片的面发光器件的剖面图；图14(b)是分解透视图，示出了具有棱镜片的面发光器件的构造；图15是剖面图，示出了根据本发明一个实施方案的液晶显示器件的构造；而图16是分解透视图，示出了用来防止莫尔条纹的液晶显示板与有机电致发光器件的位置关系。
具体实施例方式
下面来详细描述有机电致发光器件、根据本发明一个实施方案的面发光器件的例子、以及具有有机电致发光器件的液晶显示器件。还描述根据本发明的透明衬底以及制作衬底的方法。注意，图中相似参考号指出的元件表示相同的或相似的元件。
描述了根据本发明一个实施方案的面发光器件1。
《面发光器件1》如图1和2所示，面发光器件1包括透明衬底2光入射表面21上的发光元件，即有机电致发光器件3。光反射部件4被形成在有机电致发光器件3上。
还可以在透明衬底2的光出射表面22上或其上方排列诸如棱镜膜之类的已知光学部件。
下面详细描述透明衬底2。
<透明衬底2>
如图1和2所示，透明衬底2具有光入射表面21和与光入射表面21相反的光出射表面22，且透明衬底是一种用来支持有机电致发光器件3的衬底。光出射表面22具有多个凸向光入射表面21的凹陷23。注意，以下将具有凹陷23的光出射表面适当地表示为发光侧24。
如图3的剖面图所示，凹陷23的形状大致与椭球Q的一部分的形状相同。换言之，剖面图大致与椭圆的一部分相同。
而且，如图4的俯视图所示，光出射表面22上的凹陷23的周界23a的形状大致是圆的。
注意，在此处的整个描述中，“椭球”包括球，而“椭圆”包括圆。
凹陷的形状可以是大致的部分椭球，换言之，光出射表面上的周界形状大致是椭圆。此形状不一定是弯曲的表面。不存在垂直或平行于光入射表面的平面，以及不存在垂直或平行于光入射表面的线，也是可以的。此形状可以是相似于椭球的一部分的形状。注意，这种平面或线可以被包含为凹陷的一部分。
利用上述形状，在通过光入射表面21进入之后从发光侧24发射与其发光侧由平面形成的透明衬底或形成有其形状不同于上述形状的凹陷或凸出部分的透明衬底的光量相比，光量得到了改善。因此，出光效率得到了改善。
与形成有剖面形状不同于椭圆的凹陷的透明衬底相比，发光侧24(光出射表面22)中沿特定方向的亮度更高。亦即，光利用效率更高。
而且，具有比其它区域明显更高亮度的区域不太可能被形成在光出射表面上(不太可能出现强发射线)。
下面来描述这些机制。首先描述的是与具有其它形状的凹陷的透明衬底相比，利用形状大致与椭球的一部分相同且光出射表面22上周界23a的形状大致对应于圆的凹陷所得到的更高的出光效率的机制。
(机制1凹陷23的形状对出光效率的贡献机制)其俯视图示于图5(a)且剖面图示于5(b)的透明衬底200，配备有矩形形状的凹陷230。换言之，凹陷230由2对彼此平行的表面的4个表面以及平行于光出射表面220的底部表面组成。因此，如图5(a)所示，光线在透明衬底200中凹陷230处如光线b1和光线b1’(光线b1和光线b1’彼此平行)所示被反射。同样，如图5(b)所示，光线在透明衬底200中凹陷230处如光线b2和光线b2’(光线b2和光线b2’彼此平行)所示被反射。因此，没有光从发光侧240被发射到外部。
另一方面，图5(c)俯视图和图5(d)剖面图所示的透明衬底2的凹陷23具有一个部分，此部分由于上述的形状而能够将其相对于光入射表面的传播方向与光线b1相同的光线b1”以及其相对于光入射表面的传播方向与光线b2相同的光b2”从发光侧24发射到外部。
因此，此实施方案的透明衬底2与凹陷仅仅由垂直或平行于光出射表面的平面组成的透明衬底相比，具有更高的出光效率。
图6(a)俯视图和图6(b)剖面图所示的透明衬底201配备有凹陷231。在图6(b)的剖面图中，凹陷231由垂直或平行于光出射表面221的线组成。因此，与图5(a)和图5(b)的矩形凹陷230相似，透明衬底201中凹陷231沿图6(b)所示透明衬底201的厚度方向以一定的角度反射光(例如光b3)。
另一方面，图6(c)俯视图和图6(d)剖面图所示的透明衬底2具有一个部分，此部分能够从光线b3”的发光侧24发射其相对于光入射表面的传播方向与光线b3相同的光。
因此，与配备有仅仅由垂直或平行于光出射表面的线组成的剖面形状的凹陷的透明衬底201相比，本实施方案的透明衬底2具有更高的出光效率。
而且，如图5(a)、5(b)、6(a)、6(b)所示，与配备有由平行或垂直于光出射表面的线所形成的剖面的凹陷的透明衬底相比，本实施方案的透明衬底2具有更高的几率来经由发光侧24而将凹陷反射的光发射到外部。换言之，出光效率是高的。
如图7(a)所示，在剖面由垂直和平行于光出射表面的线组成的凹陷232的一侧232b上反射的光线b4，具有等于入射角的反射角度。因此，当光线再次入射在凹陷232或光出射表面222上时，入射角就大于临界角，从而无法经由发光侧242达到外部。
另一方面，本实施方案的凹陷23不具有线形部分，因而大部分凹陷根据入射角而改变反射角。换言之，如图7(b)所示，相对于光入射表面的角度与光线b4相同的光线b4’，在凹陷23处被反射到光入射表面21侧，被透明衬底2与有机电致发光元件3之间的界面或反射部件4反射，从而经由发光表面24被发射到外部。
如上所述，部件与光出射表面上没有任何凹陷或凸出部分的透明衬底相比，而且与凹陷形状不同于本实施方案的透明衬底相比，本实施方案的透明衬底2都具有更高的出光效率。
参照图8(a)和8(b)，来描述与形成有凸出部分的透明衬底相比，本实施方案的透明衬底2中的光利用效率更高的机制。注意，在图8(a)和8(b)中，沿光出射表面法线方向出射的光被称为“可用光”。
(机制2由于凹陷而改善光利用效率的机制)图8(a)所示光线b5进入到光出射表面223上凸向与光入射表面213相反的一侧的凸出部分233中，在凸出部分233处经由发光侧243被发射到外部。但除非具有对光出射表面223的法线分量，发射到外部的光是无法被利用的。
另一方面，即使当起始光线b5’以不可利用的角度经由发光侧24被发射到外部时，图8(b)所示实施方案的透明衬底2也能够使光反复传播到透明衬底2中。反复传播的部分光以光出射表面22的法线分量在凹陷23处通过折射和反射被发射到外部。
如上所述，本实施方案的透明衬底2具有凹陷而不是凸出部分，致使与仅仅具有凸出部分的衬底和具有凸出部分与凹陷二者的衬底相比，光的利用效率得到了改善。
而且，由于凹陷23具有大致与椭球的一部分相同的形状，故还有可能将凹陷23上的入射光汇聚成单一方向。因此，借助于恰当地设定图3的椭球Q的形状和凹陷23的深度，能够极大地改善光的利用效率。
(机制3用来抑制强发射线的机制)如图9(a)剖面图所示，在剖面中具有垂直于光出射表面224的直线部分234c的沟槽234，沿直线部分234c的方向，发射以一定的入射角入射在直线部分234c上的光线b6，b6’，...，(光线b6，b6’，...彼此平行)。另一方面，在发光侧244的其它部分，沿相对于光出射表面224的垂直方向入射的光线b7，b7’，...，沿光出射表面224的法线方向被发射。因此，发光侧244在直线部分234c处具有高得多的沿光出射表面224法线方向发射的光量，从而表现出强的发射线。
另一方面，图9(b)所示实施方案的透明衬底2不具有像图9(a)中沟槽234的直线部分234c那样的长直线部分，因而不在发光侧24的特定区域中沿特定方向引起明显高的亮度。
而且，如图3和4所示，本发明人已经发明了将凹陷23的深度A设定为光出射表面22上的周界直径B的1.5倍或以下和衬底厚度C的一半或以下。
当凹陷23的深度A被设定为至少光出射表面22上的周界直径B的1.5倍，或当深度A大于衬底厚度C的一半时，透明衬底2在生产过程中可能破裂。借助于将凹陷形成为上述形状并如上所述设定深度，不仅得到了优异的出光效率和光利用效率，而且还能够得到坚固的透明衬底。
利用深度A至少为0.1微米的凹陷23，能够进一步得到这一优点。
注意，各个凹陷23的形状和尺寸可以是相同的或不同的。
本发明人已经发明了当形成有不被耦合到任何其它凹陷的各自独立的凹陷23时，透明衬底2具有更高的出光效率。确切地说，当相邻凹陷23之间的最短距离F被设定为至少50微米，且光出射表面22上相邻凹陷周界中心X之间的距离被设定为最多200微米时，能够得到下述的优点-在喷沙被用来形成凹陷23的情况下，当最短距离F被设定为至少50微米时，掩模能够被容易地提供在光出射表面22上不提供凹陷23的位置。因此，能够容易地在光出射表面22上高精度地控制凹陷23的位置和形状。
-当中心距离X被设定为最多200微米时，在透明衬底2的光出射表面22上方至少10厘米的高度处几乎不能看到凹陷23。因此，当透明衬底2被用于移动终端的面发光器件中时，操作者看到凹陷23的几率极小。
-如同从下面所示模拟结果可见，出光效率是非常高的。
模拟条件1
(光出射表面22上周界的直径B为150微米)
模拟条件2(与条件1的不同)图3中的深度A40微米(光出射表面22上周界的直径B为60微米)作为基于上述条件的模拟的结果，在二种情况下得到了超过标准数值1.3倍的亮度。
而且发现，当直径B与最短距离F之和至少为椭球短轴D长度且最多为长轴E长度时，在相似的模拟中能够得到超过标准数值1.5倍的亮度。
与凹陷23在光出射表面22上以任何其它方式被排列的情况相比，当凹陷23如图10所示相对于周界23a的中心X被排列在大致六方密堆结构中，或如图11所示被排列在大致立方密堆结构中时，形成的凹陷23的数目增加了。因此，当以这种方式排列这些凹陷时，能够增强本实施方案的优点。
在此情况下，图10中的中心X与中心X1，...，X6之间的距离，或中心X与中心X11，X13，X14，X16之间的距离，最好是最多为200微米，且各个凹陷23之间的最短距离最好是至少为50微米。
任何透明材料若能够支持诸如有机电致发光器件3之类的发光元件，就能够被用于透明衬底2。注意，说明书中的术语“透明”表示从光出射表面22出射到外部的光存在着透射性能。从光出射表面22出射的光被大致设定在可见光光谱(光波长约为380-800nm)范围内。
至于这种部件，采用了任何已知的能够用于面发光器件的透明衬底的材料。通常选择诸如玻璃衬底或石英衬底之类的陶瓷衬底或由例如丙烯酸组成的透明树脂衬底。也可以采用组合多个相同或不同类型衬底的复合片。
虽然能够用诸如机械切割或化学腐蚀之类的任何已知的用来在透明衬底上形成凹陷的方法来形成凹陷23，但最好用喷沙方法来形成凹陷23。当采用喷沙方法时，能够仅仅依靠用沙冲击提供凹陷23的位置来形成凹陷，且即使在光入射表面21上形成了有机电致发光器件3之后，也能够在光出射表面22上形成多个凹陷23，而无须为有机电致发光器件3提供特殊的保护。
下面参照图12来描述用喷沙方法在透明衬底2的光出射表面22上形成凹陷23的优选方法。
步骤1在光出射表面22上不打算形成凹陷23的位置处，形成掩模。
步骤2在透明衬底2的光出射表面22上执行喷沙工艺。
步骤3清除掩模。
通过上述各个步骤，在光出射表面22上形成了多个凹陷23。而且，能够在光入射表面21上形成有机电致发光器件3之前或之后来执行此工艺。
下面描述其它的元件。
<有机电致发光器件3>
有机电致发光器件3包含一对电极之间的主要由含诸如Alq3之类的有机发光材料的有机材料组成的有机层。当电流在电极之间流动时，此有机发光材料被激发，有机层中的空穴与电子从而复合，且当材料的激发态弛豫到基态时，器件就发光。可以利用适用于已知有机电致发光器件的材料，通过已知的在透明衬底的光入射表面21上淀积薄膜的方法，来制作此器件。
注意，此有机电致发光器件能够被改变成诸如无机电致发光器件或侧面边沿型发光器件之类的任何其它已知的发光元件。
<光反射部件4>
光反射部件4被排列在相对于有机电致发光器件3与透明衬底2相反的侧上，并将入射光反射回到有机电致发光器件3。此部件通常包含选自金属、金属合金、或金属化合物的材料。用气相淀积方法将此部件形成在有机电致发光器件3上，或借助于将这些材料组成的片固定到有机电致发光器件3上而形成此部件。
注意，如图13所示，光反射部件4可以被排列在有机电致发光器件3中。在此情况下，利用上述材料，将电极形成在发光层上，与透明衬底2相反，以便提供光反射部件4的功能。
<棱镜片5>
如图14(a)所示，在一个实施方案的面发光器件1中，可以在透明衬底2的光出射表面22上提供棱镜片5。
通常，在形成有凹陷23的光出射表面22上，沿随机方向的亮度得到了改善。当向这些方向发射的光被棱镜片5的折射或全反射重新引导到优选方向时，能够改善光的利用效率。
诸如折射型棱镜片和全反射型棱镜片之类的已知棱镜片，能够被用作棱镜片5。
在图14(b)中，排列了一对棱镜片。如本技术领域所知，在这种棱镜片中，多个棱镜(沟槽)50’、50”从一个边沿表面延伸到另一个边沿表面。在从透明衬底2发射的光线中，当二个棱镜片被排列，以便将棱镜片5’中的沟槽50’的方向排列成大致垂直于棱镜片5”的沟槽50”的方向时，沿4个方向行进的光能够被汇聚到沿光出射表面22的法线的方向。
下面来描述根据一个实施方案的液晶显示器件6。
《液晶显示器件6》图15是剖面图，示出了根据一个实施方案的液晶显示器件6的结构。
图16是透视图，示出了用来防止莫尔条纹的液晶显示板7与面发光器件1的位置关系。
如图15所示，面对着面发光器件1的出光侧24(在与有机电致发光器件3相反的透明衬底2侧上)，液晶显示器件6配备有液晶显示板7。换言之，液晶显示板7被排列在从面发光器件1发射的光的光路中。
液晶显示板7被排列成使其非显示表面71与面发光器件1彼此相对。从非显示表面71进入并从光出射表面72被发射的光的光量和条件，被各个象素调节，以便在光出射表面72上显示图形(图象)。在各种屏中，有透射型屏和半透射型屏。为了防止由排列在透明衬底2的光出射表面22上的凹陷23以及液晶显示板7上的象素73所造成的莫尔条纹，由相邻象素73的中心组成的直线M和L以及由相邻凹陷23的周界23a的中心X组成的直线M’和L’，被安置成当从液晶显示板7的显示表面72看时彼此位移。
对本技术领域的熟练人员来说，显然可以以其它的具体形式来体现本发明而不偏离本发明的构思与范围。
因此，这些例子和实施方案要被理解为说明性的而非限制性的，本发明不局限于此处所述的细节，而是可以在所附权利要求的范围和等效物内被修正。
权利要求
1.一种用于面发光器件的透明衬底，它具有光入射表面和与光入射表面相反的光出射表面，所述光出射表面具有多个形成在光出射表面上的凸向光入射表面的凹陷，其特征是，各个凹陷的壁形成大致对应于椭球的一部分的形状，光出射表面上各个凹陷的周界大致是圆，且各个凹陷与其它凹陷分隔开。
2.根据权利要求1的用于面发光器件的透明衬底，其特征是，凹陷与其最近邻凹陷之间的最短距离至少为50微米，且由光出射表面上凹陷周界所确定的各个区域的中心之间的距离最多为200微米。
3.根据权利要求1的用于面发光器件的透明衬底，其特征是，各个凹陷被安置成使由光出射表面上凹陷周界所确定的区域的直径与离最近邻凹陷的最短距离之和，至少为椭球短轴的长度，且最多为椭球长轴的长度。
4.根据权利要求1的用于面发光器件的透明衬底，其特征是，各个凹陷相对于光出射表面上凹陷周界的中心被排列成大致六方密堆结构或立方密堆结构。
5.根据权利要求1的用于面发光器件的透明衬底，其特征是，各个凹陷的深度最多为透明衬底厚度的一半，且最多为光出射表面上周界直径的1.5倍。
6.一种面发光器件，它包含根据权利要求1-5中任何一个的透明衬底以及排列在相对于透明衬底的光入射表面的光出射表面的相反侧上的面发光元件，其特征是，光反射部件被排列在面发光元件上与透明衬底相对或在面发光器件中，以便将从透明衬底入射的光反射回到透明衬底，且从面发光器件发射的光通过透明衬底而出射。
7.根据权利要求6的面发光器件，其特征是，面发光元件是有机电致发光元件或无机电致发光元件。
8.根据权利要求6或7的面发光器件，其特征是与发光元件相反地排列在透明衬底上的棱镜片。
9.一种液晶显示器件，其特征是包括根据权利要求6的面发光器件以及排列在从面发光器件发射的光的光路中的液晶显示板。
10.根据权利要求9的液晶显示器件，其特征是，液晶显示板相对于面发光器件被安置成使形成在液晶显示板上相邻象素的中心之间的直线与形成在光出射表面上相邻凹陷周界的中心之间的直线在从液晶显示板显示表面看时彼此位移。
11.一种生产根据权利要求1-5中任何一个的用于面发光器件的透明衬底的方法，其特征是，借助于对透明衬底光出射侧上要提供凹陷的区域进行喷沙，来形成所述凹陷。
12.一种生产根据权利要求11的用于面发光器件的透明衬底的方法，其特征是，在形成凹陷之前，将掩模提供在透明衬底的光出射表面上没有凹陷的区域中。
13.一种用来在透明衬底的光出射表面中产生凹陷的方法，其特征是包含在衬底的光出射表面上不要提供凹陷的区域中提供掩模；以及执行喷沙，以便在光出射表面上形成凹陷。
全文摘要
一种用于面发光器件的透明衬底。此透明衬底包含光入射表面和与光入射表面相反的光出射表面。多个凸向光入射表面的凹陷被形成在光出射表面上。各个凹陷具有大致对应于椭球部分的形状。光出射表面上各个凹陷的周界大致是椭圆。各个凹陷与其它凹陷分隔开。
文档编号H01L51/50GK1533221SQ20041003135
公开日2004年9月29日 申请日期2004年3月25日 优先权日2003年3月26日
发明者竹内范仁, 矶谷文一, 石川明幸, 吉田干雄, 一, 幸, 雄 申请人:株式会社丰田自动织机