专利名称：静态随机存储器的制造方法
技术领域：
本发明涉及半导体技术领域，更具体的，本发明涉及一种静态随机存储器的制造方法。
背景技术：
随着以电子通讯技术为代表的现代高科技产业的不断发展，世界集成电路产业总产值每年以30%的速度发展。静态随机存储器是集成电路中一种重要部件，其尺寸小，密度高。在半导体存储器件中，静态随机存取存储器件(SRAM)与动态随机存取存储器(DRAM) 器件相比具有更低的功耗和更快的工作速度的优点。静态随机存取存储器又可以很容易地通过位图测试设备进行物理单元定位，研究产品的实效模式。此外，静态随机存取存储器的良率可以作为衡量一种半导体整个制程良率的重要指标，因此研究静态随机存取存储器件的制造方法受到越来越多的关注。静态随机存储器的单元可以分为电阻负载静态随机存储器单元和互补金属氧化物半导体(CM0Q静态随机存储器单元。电阻负载静态随机存储器单元采用高电阻值的电阻作为负载器件，而互补金属氧化物半导体静态随机存储器单元采用P沟道金属氧化物半导体(PMOS)晶体管作为负载器件。在互补金属氧化物半导体静态随机存储器包含多个NMOS晶体管和PMOS晶体管， 由于制造工艺的不同，导致所制造晶体管的阈值电压、饱和电流、夹断电流不同，从而导致静态随机存储器内部器件不兼容或所制造的静态随机存储器与电路中的其它器件不兼容。 晶体管的阈值电压、饱和电流、夹断电流等电学性能主要与制造过程中晶体管薄膜叠层的结构和形成方法、晶体管各部分临界尺度、离子注入的种类和条件等因素有关。现有技术中，主要通过改变晶体管栅极二次氧化的条件、氮化硅侧壁的厚度，离子注入的能量以及制造半导体器件过程中的刻蚀工艺等方法改善所制造静态随机存储器的不兼容问题。在公开号为CN 101640187A的中国专利申请中还可以发现更多关于改善静态随机存储器兼容性的现有技术。然而，随着半导体器件工艺节点的不断降低，对半导体器件制造工艺的要求越来越严格，现有工艺所制造的静态随机存储器件中NMOS器件和PMOS器件电性不兼容，导致所制造静态随机存储器的良品率低。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种静态随机存储器的制造方法，改善静态随机存储器内部器件的兼容性，提高所制造静态随机存储器的良品率。为解决上述问题，本发明提供了一种静态随机存储器的制造方法，包括提供半导体衬底，所述半导体衬底包含NMOS器件区和PMOS器件区，所述NMOS器件区和PMOS器件区上分别形成有NMOS栅极结构和PMOS栅极结构，所述NMOS栅极结构和PMOS栅极结构两侧形成有侧壁间隙壁；
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以PMOS栅极结构及其两侧的侧壁间隙壁为掩模，在PMOS器件区进行P型轻掺杂离子注入；湿法清洗所述NMOS栅极结构和PMOS栅极结构两侧的侧壁间隙壁；以NMOS栅极结构及其两侧的侧壁间隙壁为掩模，在NMOS器件区进行N型轻掺杂离子注入。其中，所述P型轻掺杂区离子注入之前还包括在半导体衬底上涂布光刻胶，图形化所述光刻胶使PMOS器件区暴露；所述P型轻掺杂区离子注入之后还包括去除半导体衬底上的光刻胶；所述N型轻掺杂离子注入之前还包括在半导体衬底上涂布光刻胶，图形化所述光刻胶使NMOS器件区暴；所述N型轻掺杂离子注入之后还包括去除半导体衬底上的光刻胶。可选地，所述NMOS栅极结构和PMOS栅极结构两侧的侧壁间隙壁为由氧化硅层和氮化硅层构成的叠加层，其中氮化硅层距栅极结构较远。可选地，所述氮化硅层通过炉管热沉积或电浆化学气相沉积方法形成，所述氮化硅层的厚度范围为200 500埃。可选地，所述湿法清洗采用的溶剂为氟化氢和乙二醇的混合溶液，所述氟化氢和乙二醇的混合溶液中氟化氢和乙二醇的体积比为4 10 90 96，湿法清洗的温度为 45 55摄氏度，清洗时间为20 40秒，所述湿法清洗中所述氮化硅层被减薄的厚度为 20 40埃。可选地，所述光刻胶的去除采用硫酸和双氧水的混合溶液，以及SCl溶液去除。可选地，所述硫酸和双氧水的混合溶液中硫酸和双氧水的体积比2 6 1，溶液的温度范围为120 140摄氏度，所需要的时间范围5 10分钟。可选地，所述SCl溶液中NH40H、H2O2和H2O的体积比为1 1 4 100 200， 溶液的温度小于30摄氏度，所需要的时间2 5分钟。与现有技术相比，本发明具有以下优点本发明利用湿法清洗使静态随机存储器内部NMOS栅极结构两侧的侧壁间隙壁变薄，进而减小NMOS器件源/漏轻掺杂区之间的距离，使得所制造的静态随机存储器中NMOS器件与PMOS器件电性相匹配，提高所制造静态随机存储器的良品率。
图1是本发明静态随机存储器制造方法流程示意图。图2至图9是本发明一个实施例的各阶段静态随机存储器的剖面结构示意图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式
做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。正如背景技术部分所述，现有制造静态随机存储器工艺主要通过改变栅极二次氧化的条件、氮化硅侧壁的厚度、离子注入的能量以及制造半导体器件过程中的刻蚀工艺等方法来改善所制造静态随机存储器内各器件之间的不兼容问题，但是这些方法的改善效果不明显，所制造的静态随机存储器的良品率低。针对上述问题，发明人提供了一种制造静态随机存储器的方法，利用湿法清洗的使静态随机存储器内部NMOS器件栅极结构两侧的侧壁间隙壁变薄，进而减小NMOS器件源/ 漏轻掺杂区之间的距离，使得所制造的静态随机存储器中NMOS器件与PMOS器件电性相匹配，提高所制造静态随机存储器的良品率。参考图1，示出了本发明静态随机存储器的制造方法，包括执行步骤Si，提供半导体衬底，所述半导体衬底包含NMOS器件区和PMOS器件区， 所述NMOS器件区和PMOS器件区上分别形成有NMOS栅极结构和PMOS栅极结构，所述NMOS 栅极结构和PMOS栅极结构两侧形成有侧壁间隙壁；执行步骤S2，在半导体衬底上涂布光刻胶，图形化所述光刻胶使PMOS器件区暴露；执行步骤S3，以PMOS栅极结构及其两侧的侧壁间隙壁为掩模，在PMOS器件区进行 P型轻掺杂离子注入；执行步骤S4,去除半导体衬底上的光刻胶；执行步骤S5，湿法清洗所述NMOS栅极结构和PMOS栅极结构两侧的侧壁间隙壁；执行步骤S6，在半导体衬底上涂布光刻胶，图形化所述光刻胶使NMOS器件区暴露；执行步骤S7，以NMOS栅极结构及其两侧的侧壁间隙壁为掩模，在NMOS器件区进行 N型轻掺杂离子注入；执行步骤S8,去除半导体衬底上的光刻胶。接下来，结合具体的实施例，以静态随机存储器内的一个CMOS器件对本发明静态随机存储器的制造方法进行说明。图2至图9是本发明一个实施例的各阶段静态随机存储器的剖面结构示意图。如图2所示，提供半导体衬底，所述半导体衬底包含通过隔离结构103隔离的NMOS 器件区和PMOS器件区，其中半导体衬底内的101和102分别为NMOS器件和PMOS器件的掺杂阱。所述隔离结构103为浅沟槽隔离结构(STI)或局部氧化结构，用于器件之间的相互隔离。所述NMOS器件的掺杂阱101中掺杂离子的导电类型为P型，PMOS器件的掺杂阱 102中掺杂离子的导电类型为N型。所述NMOS器件区和PMOS器件区上形成有NMOS器件和 PMOS器件的栅极结构，所述栅极结构包括位于半导体衬底上的栅介质层104和位于栅介质层104上方的多晶硅栅极105。所述栅介质层104的材质为氧化硅、氮氧化硅等。所述栅介质层104和多晶硅栅极105的制作方法与现有技术相同，作为本领域技术人员的公知技术， 在此不作赘述。其中，所述NMOS栅极结构和PMOS栅极结构分别位于半导体衬底内P型掺杂阱101 和N型掺杂阱102的上方。所述NMOS栅极结构和PMOS栅极结构两侧还覆盖有侧壁间隙壁 (offset spacer)，用以保护所述栅极结构，避免所述栅极结构受到刻蚀工艺的损伤。所述 NMOS栅极结构两侧的侧壁间隙壁包括氧化硅层106和氮化硅层107a，所述氧化硅层106可以通过对所述栅极结构进行氧化工艺制作，所述氮化硅层107a覆盖在氧化硅层106上。所述氮化硅层107a可以通过炉管热沉积或电浆化学气相沉积方法形成，其厚度范围为200 500埃。所述PMOS栅极结构两侧的侧壁间隙壁包括氧化硅层106和氮化硅层109a，其制造工艺和所制造侧壁间隙壁的结构和厚度范围与NMOS栅极结构两侧的侧壁间隙壁相同。如图3所示，在半导体衬底上涂布光刻胶，图形化所述光刻胶，使半导体衬底上的光刻胶120覆盖NMOS器件区，暴露出PMOS器件区。如图4所示，以PMOS栅极结构及其两侧的侧壁间隙壁为掩模，在PMOS器件区进行 P型轻掺杂离子注入，形成PMOS器件的轻掺杂区110。其中P型掺杂离子可以为硼离子、二氟化硼离子，其掺杂离子注入的能量范围和剂量范围由所要制造的静态随机存储器的性能决定。接着，如图5所示，去除半导体衬底上的光刻胶120。在具体的实施例中，先采用硫酸和过氧化氢的混合溶液去除NMOS栅极结构及其两侧半导体衬底上的光刻胶120，再采用SCl (standard clean 1，氨水和过氧化氢的混合溶液)溶液清洗最后残留的颗粒。所述硫酸和过氧化氢混合溶液中硫酸和过氧化氢的体积比2 6 1，溶液的温度范围为120 140摄氏度，所需要的时间范围5 10分钟。所述SCl溶液中NH40H、H2O2和H2O的体积比为1 1 4 100 200，溶液的温度小于30摄氏度，所需要的时间2 5分钟。 如图6所示，湿法清洗所述NMOS栅极结构和PMOS栅极结构两侧的侧壁间隙壁。在具体的实施例中，所述湿法清洗采用的溶液为氟化氢(HF)和乙二醇(ethyl glycol)的混合溶液，混合溶液中氟化氢和乙二醇的体积比为4 10 90 96，湿法清洗的范围为45 55摄氏度，所需要的湿法清洗时间范围为20 40秒。经过所述湿法清洗，图5中侧壁间隙壁叠加层中氮化硅层107a和109a被减薄的厚度为20 40埃，湿法清洗之后的NMOS器件和PMOS器件栅极结构侧壁间隙壁上的氮化硅层如图6中107b、109b。如图7所示，在半导体衬底上涂布光刻胶，图形化所述光刻胶，使半导体衬底上的光刻胶121覆盖PMOS器件区，暴露出NMOS器件区。如图8所示，以NMOS栅极结构及其两侧的侧壁间隙壁为掩模，在NMOS器件区进行 N型轻掺杂离子注入，形成NMOS器件的轻掺杂区111。所述N型掺杂离子可以为磷离子、砷离子或锑离子，其掺杂离子注入的能量范围和剂量范围由所要制造的静态随机存储器的性能决定。由于NMOS器件的源/漏轻掺杂区111在湿法清洗之后形成，减薄的匪OS器件侧壁间隙壁导致所形成的NMOS源/漏轻掺杂区111之间距离也变小，进而影响NMOS器件的电性。而PMOS器件的源/漏轻掺杂区110在湿法清洗之前已形成，故湿法清洗并不会影响 PMOS器件源/漏轻掺杂区110之间的距离以及PMOS器件的电性。经过以上步骤改善的NMOS器件能够与PMOS器件电性匹配，有效改善静态随机存储器中NMOS器件与PMOS器件的兼容性，提高所制造静态随机存储器的良品率。如图9所示，去除半导体衬底上的光刻胶121，其去除方法与光刻胶120的去除方法完全相同。形成NMOS器件和PMOS器件后续工艺的制作方法与现有技术相同，作为本领域技术人员的公知技术，在此不做详细的说明。综上，本发明在制造静态随机存储器过程中利用湿法清洗使NMOS器件的侧壁间隙壁减薄，进而减小NMOS器件源/漏轻掺杂区之间的距离，使得所制造的静态随机存储器中NMOS器件与PMOS器件电性相匹配，提高了所制造静态随机存储器的良品率。
本发明虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本发明技术方案的保护范围。
权利要求
1.一种静态随机存储器的制造方法，其特征在于，包括提供半导体衬底，所述半导体衬底包含NMOS器件区和PMOS器件区，所述NMOS器件区和PMOS器件区上分别形成有NMOS栅极结构和PMOS栅极结构，所述NMOS栅极结构和PMOS栅极结构两侧形成有侧壁间隙壁；以PMOS栅极结构及其两侧的侧壁间隙壁为掩模，在PMOS器件区进行P型轻掺杂离子注入；湿法清洗所述NMOS栅极结构和PMOS栅极结构两侧的侧壁间隙壁；以NMOS栅极结构及其两侧的侧壁间隙壁为掩模，在NMOS器件区进行N型轻掺杂离子注入。
2.如权利要求1所述静态随机存储器的制造方法，其特征在于，所述NMOS栅极结构和 PMOS栅极结构两侧的侧壁间隙壁包括由氧化硅层和氮化硅层构成的叠加层。
3.如权利要求2所述静态随机存储器的制造方法，其特征在于，所述氧化硅层和氮化硅层构成的叠加层中氮化硅层距栅极结构较远。
4.如权利要求3所述静态随机存储器的制造方法，其特征在于，所述氮化硅层通过炉管热沉积或电浆化学气相沉积方法形成，所述氮化硅层的厚度范围为200 500埃。
5.如权利要求2所述静态随机存储器的制造方法，其特征在于，所述湿法清洗采用的溶剂为氟化氢和乙二醇的混合溶液。
6.如权利要求5所述静态随机存储器的制造方法，其特征在于，所述氟化氢和乙二醇的混合溶液中氟化氢和乙二醇的体积比为4 10 90 96，湿法清洗的温度为45 55 摄氏度，清洗时间为20 40秒。
7.如权利要求6所述静态随机存储器的制造方法，其特征在于，所述湿法清洗中所述氮化硅层被减薄的厚度为20 40埃。
8.如权利要求1所述静态随机存储器的制造方法，其特征在于，所述P型轻掺杂区离子注入之前还包括在半导体衬底上涂布光刻胶，图形化所述光刻胶使PMOS器件区暴露；所述 P型轻掺杂区离子注入之后还包括去除半导体衬底上的光刻胶。
9.如权利要求1所述静态随机存储器的制造方法，其特征在于，所述N型轻掺杂离子注入之前还包括在半导体衬底上涂布光刻胶，图形化所述光刻胶使NMOS器件区暴露；所述 N型轻掺杂离子注入之后还包括去除半导体衬底上的光刻胶。
10.如权利要求8或9所述静态随机存储器的制造方法，其特征在于，所述光刻胶的去除采用硫酸和双氧水的混合溶液，以及SCl溶液去除。
11.如权利要求10所述静态随机存储器的制造方法，其特征在于，所述硫酸和双氧水的混合溶液中硫酸和双氧水的体积比2 6 1，溶液的温度范围为120 140摄氏度，所需要的时间范围5 10分钟。
12.如权利要求10所述静态随机存储器的制造方法，其特征在于，所述SCl溶液中 NH4OH^H2O2和H2O的体积比为1 1 4 100 200，溶液的温度小于30摄氏度，所需要的时间2 5分钟。
全文摘要
一种静态随机存储器的制造方法，所述静态随机存储器同时包含NMOS器件和PMOS器件，本发明通过在PMOS器件源/漏轻掺杂离子注入之后湿法清洗静态随机存储器中NMOS器件和PMOS器件的侧壁间隙壁，使得湿法清洗之后形成的NMOS器件源/漏轻掺杂区之间的距离减小，改善NMOS器件的电性，使之与静态随机存储器中PMOS器件电性相匹配，提高了所制造静态随机存储器的良品率。
文档编号H01L21/336GK102569202SQ20101059319
公开日2012年7月11日 申请日期2010年12月16日 优先权日2010年12月16日
发明者刘焕新, 宋伟基 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司