带扩张装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种带扩张装置，其用于扩张矩形的带，其具备：第1夹持构件，其夹持带的第1边；第2夹持构件，其夹持带的与第1边对置的第2边；第3夹持构件，其夹持带的与第1边及第2边垂直的第3边；第4夹持构件，其夹持带的与第3边对置的第4边；和扩张构件，其使第1～第4夹持构件分别在与夹持的各边垂直的方向移动，第1～第4夹持构件分别具有下侧夹持机构和上侧夹持机构，在下侧夹持机构的上部和上侧夹持机构的下部配设有在沿着夹持的边的方向旋转的多个辊子，下侧夹持机构和上侧夹持机构中的任一方具备：支承块，其将两个辊子以具有预定间隔的方式支承为能够旋转；以及按压构件，其用于按压支承块的将两个辊子的间隔二等分的作用位置。
【专利说明】带扩张装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及带扩张装置，其用于扩张粘贴有晶片的粘接带，来对晶片赋予外力。
【背景技术】
[0002]在半导体器件制造工序中，在为大致圆板形状的半导体晶片的表面由排列为格子状的称为间隔道的分割预定线划分出多个区域，在该划分出的区域中形成1C (集成电路)、LSI (大规模集成电路)等器件。然后，沿着间隔道来切断半导体晶片，由此对形成有器件的区域进行分割从而制造出一个个器件。另外，对于在蓝宝石基板的表面层叠有氮化镓类化合物半导体等的光器件晶片，也沿着预定的分割预定线来切断，由此分割出一个个发光二极管、激光二极管等光器件，并广泛利用到电气设备。
[0003]作为分割所述半导体晶片或光器件晶片等被加工物的方法，以下方法被实用化:使用相对于该被加工物具有透射性的波长的脉冲激光光线，将聚光点对准到需要分割的区域的内部来进行照射，在被加工物的内部沿着间隔道连续地形成改性层，沿着由于形成有该改性层而强度降低的间隔道施加外力，由此分割被加工物(例如，参照专利文献1)。
[0004]并且，作为沿着由于形成有改性层而强度降低的间隔道施加外力的技术，在下述专利文献2记载有以下技术:扩张粘贴有晶片的粘接带，然后，在扩张了粘接带的状态下将环状框架围绕被分割成一个个器件的晶片地粘贴到粘接带。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献1:日本特许第3408805号公报
[0007]专利文献2:日本特开2006-229021号公报
[0008]然而，记载于所述专利文献2的对粘贴有晶片的粘接带进行扩张的技术存在以下问题:由于是夹持粘接带的对置的两条边进行拉伸的方法，所以垂直的两条边缩小，从而使粘贴在粘接带且分割成一个个的器件受到损伤。并且还存在以下问题:在夹持了垂直的两条边的状态下拉伸对置的两条边时，粘接带没有充分扩张。
【发明内容】
[0009]本发明是鉴于所述事实而完成的，其主要技术课题在于提供带扩张装置，其即使夹持粘接带的对置的两条边进行拉伸而使粘接带扩张，垂直的两条边也不会缩小，并且即使在夹持了垂直的两条边的状态下也能够充分扩张粘接带。
[0010]为了解决上述主要技术课题，根据本发明，提供一种带扩张装置，其用于扩张矩形形状的带，所述带扩张装置的特征在于，其具备:第1夹持构件，其用于夹持带的第1边；第2夹持构件，其用于夹持带的与所述第1边对置的第2边；第3夹持构件，其用于夹持带的与所述第1边以及所述第2边垂直的第3边；第4夹持构件，其用于夹持带的与所述第3边对置的第4边；以及扩张构件，其用于使所述第1夹持构件、所述第2夹持构件、所述第3夹持构件以及所述第4夹持构件分别在相对于所夹持的各边垂直的方向移动，所述第1夹持构件、所述第2夹持构件、所述第3夹持构件以及所述第4夹持构件分别具有下侧夹持机构和上侧夹持机构，在所述下侧夹持机构的上部配设有在沿着所夹持的边的方向旋转的多个辊子，在所述上侧夹持机构的下部配设有在沿着所夹持的边的方向旋转的多个辊子，所述下侧夹持机构和上侧夹持机构中的任一方具备:支承块，其将两个辊子以具有预定间隔的方式支承为能够旋转；以及按压构件，其用于按压所述支承块的将两个辊子的间隔二等分的作用位置。
[0011]所述按压构件由以下部分构成:按压块，其将两个支承块支承成能够分别在所述作用位置旋转；以及促动器，其用于按压所述按压块的将两个支承块的所述作用位置二等分的按压位置。
[0012]在根据本发明构成的带扩张装置中，第1夹持构件、第2夹持构件、第3夹持构件以及第4夹持构件分别具有下侧夹持机构和上侧夹持机构，在下侧夹持机构的上部配设有在沿着夹持的边的方向旋转的多个辊子，在上侧夹持机构的下部配设有在沿着夹持的边的方向旋转的多个辊子，因此，在例如夹持粘接带的第3边以及第4边进行扩张时，即使利用夹持与第3边以及第4边垂直的第1边以及第2边的第1夹持构件以及第2夹持构件的下侧夹持机构以及上侧夹持机构来进行夹持，由于配设于下侧夹持机构和上侧夹持机构的多个辊子旋转，所以能够充分地扩张粘接带。此外，在夹持粘接带的第1边以及第2边进行扩张时，即使利用夹持与第1边以及第2边垂直的第3边以及第4边的第3夹持构件以及第4夹持构件的下侧夹持机构以及上侧夹持机构来进行夹持，由于配设于下侧夹持机构和上侧夹持机构的多个辊子旋转，所以能够充分地扩张粘接带。
[0013]此外，在基于本发明的带扩张装置中，由于下侧夹持机构和上侧夹持机构中的任一方具备:支承块，其将两个辊子以具有预定间隔的方式支承为能够旋转；以及按压构件，其用于按压支承块的将两个辊子的间隔二等分的作用位置，因此，由于对支承两个辊子的多个支承块分别在将两个辊子的间隔二等分的作用位置进行按压，所以能够借助成对的所有的两个辊子、和配设在上侧夹持机构或下侧夹持机构的下侧夹持部件的多个辊子，以均等的力来夹持粘接带的各边。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1是根据本发明而构成的带扩张装置的立体图。
[0015]图2是构成图1所示的带扩张装置的上侧夹持机构的主要部分立体图。
[0016]图3是将图2所示的上侧夹持机构的主要部分分解示出的立体图。
[0017]图4是放大表示构成图1所示的带扩张装置的夹持构件的下侧夹持机构以及上侧夹持机构的主要部分的主视图。
[0018]图5是使用图1所示的带扩张装置来实施的带夹持工序的说明图。
[0019]图6是使用图1所示的带扩张装置来实施的第1带扩张工序的说明图。
[0020]图7是使用图1所示的带扩张装置来实施的第2带扩张工序的说明图。
[0021]图8是表示粘贴在实施了第1带扩张工序以及第2带扩张工序的粘接带上的分割为一个一个的器件的状态的说明图。
[0022]图9是使用图1所示的带扩张装置来实施的框架安装工序的说明图。
[0023]图10是表示实施了图9所示的框架安装工序，并经粘接带将在分割为一个一个的器件之间形成有间隔(s)的晶片10支承在环状框架的状态的剖视图。[0024]图11是被带扩张装置扩张的粘接带的俯视图。
[0025]标号说明
[0026]1:粘接带；
[0027]2:带扩张装置；
[0028]20:固定基座；
[0029]3:圆形的保持工作台；
[0030]4a:第1夹持构件；
[0031]4b:第2夹持构件；[0032]4c:第3夹持构件；
[0033]4d:第4夹持构件；
[0034]41:可动基座；
[0035]42:下侧夹持机构；
[0036]422:下侧夹持部件；
[0037]423:棍子；
[0038]43:上侧夹持机构；
[0039]433:棍子；
[0040]434:支承块；
[0041]435:按压构件；
[0042]436:按压块；
[0043]437:促动器；
[0044]44:第1移动机构；
[0045]45:第2移动机构；
[0046]5a:第1带扩张构件；
[0047]5b:第2带扩张构件；
[0048]5c:第3带扩张构件；
[0049]5d:第4带扩张构件；
[0050]7:环状框架；
[0051]10:晶片。
【具体实施方式】
[0052]以下，参照附图对根据本发明构成的带扩张装置的优选实施方式进行详细说明。
[0053]图11表示被带扩张装置扩张的粘接带的俯视图。图示的粘接带1形成为正方形(矩形)，并具有--第1边la、与该第1边la对置的第2边lb、与该第1边la以及该第2边lb垂直的第3边lc、以及与该第3边lc对置的第4边Id。在像这样形成的粘接带1的表面涂布有粘接层，在该表面的中央部粘贴有晶片10。另外，在图不的实施方式中，晶片10由这样的半导体晶片构成:在表面10a呈格子状地形成有多个间隔道101，并且在通过该多个间隔道101划分出的多个区域中分别形成有器件102，晶片10沿着间隔道101被分割成一个个器件102。
[0054]接着，参照图1至图3对扩张粘接带1的带扩张装置进行说明，所述粘接带1上粘贴有所述的分割成一个个器件102的晶片10。
[0055]在图1示出了根据本发明而构成的带扩张装置的一个实施方式的立体图。
[0056]图1所示的实施方式中的带扩张装置2具有:固定基座20 ;圆形的保持工作台3，其配设于该固定基座20的中央部上表面，用于装载所述粘接带1 ;第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、第3夹持构件4c和第4夹持构件4d，它们用于夹持装载于该保持工作台3的所述粘接带1 ;以及第1带扩张构件5a、第2带扩张构件5b、第3带扩张构件5c和第4带扩张构件5d，它们用于使该第1夹持构件4a、该第2夹持构件4b、该第3夹持构件4c、该第4夹持构件4d分别在圆形的保持工作台3的径向移动。此外，在图示的实施方式中，第1夹持构件4a夹持所述粘接带1的第1边la，第2夹持构件4b夹持与第1边la对置的第2边lb，第3夹持构件4c夹持与第1边la和第2边lb垂直的第3边lc，第4夹持构件4d夹持与第3边lc对置的第4边Id。此外，第1带扩张构件5a、第2带扩张构件5b、第3带扩张构件5c和第4带扩张构件5d使第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、第3夹持构件4c和第4夹持构件4d分别沿着与所夹持的粘接带1的各边垂直的方向移动。
[0057]所述固定基座20形成为矩形形状，在其上表面形成有相互隔开90度的角度地朝向所述圆形的保持工作台3的中心形成的第1引导槽201a、第2引导槽201b、第3引导槽201c和第4引导槽201d。另外，固定基座20的形成有所述第1引导槽201a、第2引导槽201b、第3引导槽201c和第4引导槽201d的外周部形成为朝向外方突出。
[0058]借助支承构件30将所述圆形的保持工作台3支承在固定基座20的上表面。在图示的实施方式中，该支承构件30构成为，使保持工作台3能够在上下方向移动。
[0059]分别将所述第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、第3夹持构件4c和第4夹持构件4d配设于在所述固定基座20形成的第1引导槽201a、第2引导槽201b、第3引导槽201c和第4引导槽201d上。即，4个夹持构件4a、4b、4c、4d在周方向彼此隔开相等角度地进行配设。在图示的实施方式中，像这样配设于固定基座20上的第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、第3夹持构件4c和第4夹持构件4d为相同的结构，它们各自具有:可动基座41，其形成为L字状；下侧夹持机构42以及上侧夹持机构43，它们以能够在上下方向移动的方式安装在该可动基座41 ;和第1移动机构44以及第2移动机构45，它们分别使该下侧夹持机构42以及上侧夹持机构43在上下方向移动。可动基座41由移动部411、以及从该移动部411的上表面立起设置而形成的支承部412构成。在移动部411的下表面分别设置有与所述第1引导槽20la、第2引导槽20lb、第3引导槽201c和第4引导槽20Id嵌合的被引导轨道411a，该被引导轨道411a分别与所述第1引导槽201a、第2引导槽201b、第3引导槽201c和第4引导槽201d嵌合，由此可动基座41构成为能够分别沿着所述第1引导槽201a、第2引导槽201b、第3引导槽201c和第4引导槽201d在固定基座20移动。另外，在移动部411中贯穿地形成有内螺纹411b。在所述支承部412的内侧面(相互对置的一侧的面)设置有在上下方向延伸的导轨412a，在所述支承部412的外侧面形成有在上下方向延伸的长槽412b。另外，在导轨412a形成有从内侧面到达所述长槽412b且在上下方向延伸的长孔 412c。
[0060]所述下侧夹持机构42由以下部分构成:支承臂421，其配设成能够沿着设置于所述可动基座41的支承部412的导轨412a移动；以及下侧夹持部件422，其安装于该支承臂421。在支承臂421的基端设置有与所述导轨412a嵌合的被引导槽421a，通过使该被引导槽421a与导轨412a嵌合，支承臂421构成为能够沿着可动基座41的支承部412的导轨412a在上下方向移动。另外，在支承臂421的基部设置有具有内螺纹421b的内螺纹块421c，该内螺纹块421c以贯穿所述长孔412c的方式配设。在图示的实施方式中，所述下侧夹持部件422形成为长方体状，并且朝向与被引导轨道411a垂直的方向配设长边方向。在作为像这样构成的下侧夹持部件422的夹持面侧的上表面，配设有在下侧夹持部件422的长边方向旋转的多个辊子423。
[0061]所述上侧夹持机构43具备:支承臂431，其配设成能够沿着设置于所述可动基座41的支承部412的导轨412a移动；以及支承罩432，其安装于该支承臂431。在支承臂431的基端设置有与所述导轨412a嵌合的被引导槽431a，通过使该被引导槽431a与导轨412a嵌合，支承臂431构成为能够在可动基座41的支承部412沿着导轨412a在上下方向移动。另外，在支承臂431的基部设置有具有内螺纹431b的内螺纹块431c，该内螺纹块431c以贯穿所述长孔412c的方式配设。
[0062]参照图2和图3对上侧夹持机构43的配设在所述支承罩432内的构成部件进行说明。图2和图3所示的上侧夹持机构43具备:支承块434，其分别将两个辊子433以具有预定的间隔的方式支承为能够旋转；以及按压构件435，其用于按压该支承块的将两个辊子的间隔二等分的作用位置。支承块434具备辊子支承部434a和按压作用部434b，按压作用部434b在该辊子支承部434a从上端水平延伸。在辊子支承部434a隔开预定间隔地配设有两个支承轴433a，在这两个支承轴433a分别以能够旋转的方式支承有辊子433。此夕卜，在构成支承块434的按压作用部434b，在将两个支承轴433a (两个辊子433)的间隔二等分的作用位置设置有轴贯穿插入孔434c。这样构成的支承块434以两个为一对地被按压构件435按压。
[0063]按压构件435由以下部分构成:按压块436，其分别将两个支承块434以能够旋转的方式支承在作用位置；以及促动器437，其用于按压该按压块436的将两个支承块434的作用位置二等分的按压位置。按压块436由上壁436a、侧壁436b和436c、以及端壁436d和436e构成，形成为下侧开放的箱状。所述设置于构成支承块434的按压作用部434b的轴贯穿插入孔434c分别以能够旋转的方式与安装于这样形成的按压块436的侧壁436b的两根支承轴(未图示)嵌合。在这样构成的按压块436的上壁436a，安装有用于连结促动器437的一对连结部件438a、438b。在一个连结部件438a形成有贯穿插入孔438c，在另一个连结部件438b形成有螺纹孔438d。在图示的实施方式中，促动器437由气缸机构构成，在其活塞杆437a的末端部形成有连结孔437b。将这样构成的促动器437的活塞杆437a的末端部定位于一对连结部件438a、438b之间，将连结螺栓439贯穿插入到形成于一个连结部件438a的贯穿插入孔438c、和形成于活塞杆437a的末端部的连结孔437b，并与形成于另一个连结部件438b的螺纹孔438d螺合，由此，将构成促动器437的活塞杆437a与安装在按压块436的上壁436a的一对连结部件438a、438b连结。这样构成的促动器437安装于所述支承罩432的上壁。
[0064]以所述方式构成的上侧夹持机构43与所述下侧夹持机构42对置配设。并且，被多个支承块434分别两个两个地支承的多个辊子433配设为与配设于所述下侧夹持机构42的下侧夹持部件422的多个辊子423对置。
[0065]回到图1继续说明，使所述下侧夹持机构42在上下方向移动的第1移动机构44由以下部分构成:外螺纹杆441，其与导轨412a平行地配设于在所述可动基座41的支承部412形成的长槽412b内，并与设置于所述支承臂421的基部的内螺纹块421c的内螺纹421b螺合；轴支承件442，其配设于可动基座41的支承部412，且将外螺纹杆441的一端部支承为能够旋转；以及脉冲马达443，其与外螺纹杆441的另一端相连结，并用于驱动外螺纹杆441旋转。这样构成的第1移动机构44驱动脉冲马达443来使外螺纹杆441向一个方向或另一方向转动，由此使下侧夹持机构42沿着导轨412a在上下方向移动。
[0066]使所述上侧夹持机构43在上下方向移动的第2移动机构45是与所述第1移动机构44同样的结构，其配设于第1移动机构44的上侧。S卩，第2移动机构45由以下部分构成:外螺纹杆451，其与导轨412a平行地配设于在所述可动基座41的支承部412形成的长槽412b内，并与设置于所述支承臂431的基部的内螺纹块431c的内螺纹431b螺合；轴支承件452，其配设于可动基座41的支承部412，且将外螺纹杆451的一端部支承为能够旋转；以及脉冲马达453，其与外螺纹杆451的另一端相连结，并用于驱动外螺纹杆451旋转。这样构成的第2移动机构45驱动脉冲马达453来使外螺纹杆451向一个方向或另一方向转动，由此使上侧夹持机构43沿着导轨412a在上下方向移动。
[0067]用于使所述第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、第3夹持构件4c、第4夹持构件4d分别沿着圆形的保持工作台3的径向移动的第1带扩张构件5a、第2带扩张构件5b、第3带扩张构件5c、第4带扩张构件5d分别沿着形成于所述固定基座20的所述第1引导槽201a、第2引导槽201b、第3引导槽201c、第4引导槽201d配设。所述第1带扩张构件5a、第2带扩张构件5b、第3带扩张构件5c、第4带扩张构件5d由以下部分构成:外螺纹杆51，其分别配设为与第1引导槽201a、第2引导槽201b、第3引导槽201c、第4引导槽201d平行，并与形成于所述可动基座41的移动部411的内螺纹411b螺合；轴支承件52，其配设于所述固定基座20，并将外螺纹杆51的一端部支承为能够旋转；以及脉冲电动机53，其与外螺纹杆51的另一端连结，用于驱动外螺纹杆51旋转。通过分别驱动脉冲电动机53来使外螺纹杆51向一个方向或另一个方向转动，以上述方式构成的第1带扩张构件5a、第2带扩张构件5b、第3带扩张构件5c、第4带扩张构件5d使第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、第3夹持构件4c、第4夹持构件4d分别沿着圆形的保持工作台3的径向移动。
[0068]图1至图3所示的实施方式中的带扩张装置2如上所述地构成，以下对其作用进行说明。
[0069]通过未图示的搬送装置将所述图11所示的在表面中央部粘贴有晶片10 (分割成了一个个器件102)的粘接带1装载到保持工作台3上。这时粘接带1装载成第1边la朝向第1夹持构件4a，第2边lb朝向第2夹持构件4b，第3边lc朝向第3夹持构件4c，第4边Id朝向第4夹持构件4d。另外，这时保持工作台3的上表面定位于构成所述第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、第3夹持构件4c和第4夹持构件4d的下侧夹持机构42的下侧夹持部件422与上侧夹持机构43的多个支承块434的中间位置的高度。
[0070]接着，使第1带扩张构件5a、第2带扩张构件5b、第3带扩张构件5c和第4带扩张构件5d进行动作，来将第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、第3夹持构件4c和第4夹持构件4d的下侧夹持机构42以及上侧夹持机构43定位到能够夹持粘接带1的位置。然后，使构成第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、第3夹持构件4c和第4夹持构件4d的第1移动机构44以及第2移动机构45进行动作，并使构成上侧夹持机构43的促动器437进行动作来经由按压块436将支承块434向下方按压。其结果是，如图4以及图5所示，借助配设于下侧夹持机构42的下侧夹持部件422的多个辊子423、和分别被支承块434 (参照图3)支承的两个两个的辊子433，来夹持粘接带1的各边(带夹持工序)，所述支承块434被上侧夹持机构43的多个按压块436分别按压。此时，由于对支承两个两个的辊子433的多个支承块434分别在将两个辊子433的间隔二等分的作用位置进行按压，因此，能够借助成对的所有的两个辊子433、和配设在下侧夹持机构42的下侧夹持部件422的多个辊子423，以均等的力来夹持粘接带1的各边。
[0071]在如图4以及图5所示，借助配设于下侧夹持机构42的下侧夹持部件422的多个辊子423、和分别支承在被上侧夹持机构43的多个按压块436分别按压的支承块434的两个两个的辊子433来夹持了粘接带1的各边之后，例如使第3带扩张构件5c以及第4带扩张构件5d进行动作，如图6所示，使构成第3夹持构件4c以及第4夹持构件4d的下侧夹持机构42以及上侧夹持机构43沿在图6中以箭头A1以及A2所示的方向(图6中为左右方向)移动。其结果为，粘接带1在箭头A1以及A2所示的方向(图6中为左右方向)被拉伸而扩张(第1带扩张工序)。这时，第1夹持构件4a以及第2夹持构件4b的在构成下侧夹持机构42的下侧夹持部件422配设的多个辊子423、和在被构成上侧夹持机构43的多个按压块436分别按压的支承块434分别支承的2个辊子433配设为在长边方向(沿着第1边la以及第2边lb的方向)旋转，所述第1夹持构件4a以及第2夹持构件4b夹持粘接带1的与被构成第3夹持构件4c以及第4夹持构件4d的下侧夹持机构42以及上侧夹持机构43夹持的第3边lc和第4边Id垂直的第1边la以及第2边lb，因此当粘接带1在箭头A1以及A2所示的方向(图6中为左右方向)被拉伸而扩张时，在构成下侧夹持机构42的下侧夹持部件422配设的多个辊子423、以及在被构成上侧夹持机构43的多个按压块436分别按压的支承块434分别支承的2个辊子433旋转。因此，在夹持粘接带1的第3边lc以及第4边Id进行扩张时，即使利用夹持与第3边lc以及第4边Id垂直的第1边la以及第2边lb的第1夹持构件4a以及第2夹持构件4b的下侧夹持机构42以及上侧夹持机构43来进行夹持，由于在构成下侧夹持机构42的下侧夹持部件422配设的多个辊子423、以及在被构成上侧夹持机构43的多个按压块436分别按压的支承块434分别支承的2个辊子433旋转，所以能够充分地扩张粘接带1。
[0072]接着，在所述图6所示的夹持粘接带1的第3边lc以及第4边Id进行了扩张的状态下，如图7所示，使构成第1夹持构件4a以及第2夹持构件4b的下侧夹持机构42以及上侧夹持机构43在图7中箭头B1以及B2所示的方向(图7中为上下方向)移动。其结果为，粘接带1在箭头B1以及B2所示的方向(图7中为上下方向)被拉伸而扩张(第2带扩张工序)。这时，第3夹持构件4c以及第4夹持构件4d的在下侧夹持机构42的下侧夹持部件422配设的多个辊子423、和在被上侧夹持机构43的多个按压块436分别按压的支承块434分别支承的2个辊子433配设为在长边方向(沿着第3边lc以及第4边Id的方向)旋转，所述第3夹持构件4c以及第4夹持构件4d夹持粘接带1的与被构成第1夹持构件4a以及第2夹持构件4b的下侧夹持机构42以及上侧夹持机构43夹持的第1边la和第2边lb垂直的第3边lc以及第4边ld，因此当粘接带1在箭头B1以及B2所示的方向(图7中为上下方向)被拉伸而扩张时，在构成下侧夹持机构42的下侧夹持部件422配设的多个辊子423、以及在被构成上侧夹持机构43的多个按压块436分别按压的支承块434分别支承的2个辊子433旋转。因此，在夹持粘接带1的第1边la以及第2边lb进行扩张时，即使利用夹持与第1边la以及第2边lb垂直的第3边lc以及第4边Id的第3夹持构件4c以及第4夹持构件4d的下侧夹持机构42以及上侧夹持机构43来进行夹持，由于在构成下侧夹持机构42的下侧夹持部件422配设的多个辊子423、以及在被构成上侧夹持机构43的多个按压块436分别按压的支承块434分别支承的2个辊子433旋转，所以能够充分地扩张粘接带1。
[0073]另外，在所述的实施方式中，示出了这样的例子:在夹持了粘接带1的第1边la以及第2边lb与第3边lc以及第4边Id的状态下，分开实施扩张粘接带1的第3边lc以及第4边Id的第1带扩张工序、与扩张粘接带1的第1边la以及第2边lb的第2带扩张工序，但是也可以同时实施第1带扩张工序与第2带扩张工序。
[0074]通过如上所述扩张粘接带1的第3边lc以及第4边Id与第1边la以及第2边lb，如图8所示，在粘贴于粘接带1的晶片10被分割成一个一个而得到的器件102之间，形成有间隙S。
[0075]另外，即使在器件的纵向尺寸以及横向尺寸不同，配设于晶片的器件的纵列和横列的数量不同时，通过与配设的器件数量对应地调整粘接带1的第1边la和第2边lb的扩张量、以及第3边lc和第4边Id扩张量，能够使分割成一个一个的器件之间的间隙S恒定，并且能够使间隙形成在一条直线上。
[0076]接着，在所述粘贴于粘接带1的晶片10被分割成一个一个而形成的器件102之间形成有间隙s的状态下，如图9所示，将具有收纳晶片10的大小的开口部70的环状框架7安装到粘接带1的涂布有粘接层的表面(框架安装工序)。其结果为，如图10所示，在分割成一个一个的器件102之间形成有间隔(s)的晶片10被收纳到环状框架7的开口部70，并经粘接带1由环状框架7支承。像这样，在将环状框架7安装到粘接带1的表面后，沿着环状框架7的外周切断粘接带1。然后，将经粘接带1支承在环状框架7的晶片10 (在器件102之间形成有间隔(s))搬送至拾取器件的拾取工序。
[0077]以上，根据图示的实施方式对本发明进行了说明，但是本发明并不仅仅限定于实施方式，能够在本发明的主旨的范围内进行各种变形。在所述的实施方式中，示出了以下例子:将多个支承块434和多个按压构件435配设在上侧夹持机构43，多个支承块434将两个辊子433支承为能够旋转，多个按压构件435按压多个支承块434，但是也可以将多个支承块434和多个按压构件435配设在下侧夹持机构42。
[0078]此外，在所述实施方式中，示出了对粘贴有沿着间隔道101分割后的晶片10的粘接带1进行扩张的例子，但是，本发明的带扩张装置也可以应用于以下情况:对粘贴有沿着间隔道101在内部形成有改性层的晶片的粘接带进行扩张，从而沿着形成有改性层的间隔道分割晶片。
【权利要求】
1.一种带扩张装置，其用于扩张矩形形状的带，所述带扩张装置的特征在于，其具备:第1夹持构件，其用于夹持带的第1边；第2夹持构件，其用于夹持带的与所述第1边对置的第2边；第3夹持构件，其用于夹持带的与所述第1边以及所述第2边垂直的第3边；第4夹持构件，其用于夹持带的与所述第3边对置的第4边；以及扩张构件，其用于使所述第1夹持构件、所述第2夹持构件、所述第3夹持构件以及所述第4夹持构件分别在相对于所夹持的各边垂直的方向移动，所述第1夹持构件、所述第2夹持构件、所述第3夹持构件以及所述第4夹持构件分别具有下侧夹持机构和上侧夹持机构，在所述下侧夹持机构的上部配设有在沿着所夹持的边的方向旋转的多个辊子，在所述上侧夹持机构的下部配设有在沿着所夹持的边的方向旋转的多个辊子，所述下侧夹持机构和上侧夹持机构中的任一方具备:支承块，其将两个辊子以具有预定间隔的方式支承为能够旋转；以及按压构件，其用于按压所述支承块的将两个辊子的间隔二等分的作用位置。
2.根据权利要求1所述的带扩张装置，其中，所述按压构件由以下部分构成:按压块，其将两个支承块支承成能够分别在作用位置旋转；以及促动器，其用于按压所述按压块的将两个支承块的作用位置二等分的按压位置。
【文档编号】H01L21/301GK103681292SQ201310435231
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年9月23日 优先权日:2012年9月24日
【发明者】高泽徹 申请人:株式会社迪思科