一种半导体器件的封装结构及其制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体器件的封装制造技术，尤其涉及一种功率半导体器件的封装结构和封装方法。
【背景技术】
[0002]鉴于大功率半导体器件对散热性能的较高的需求，根据现有技术的大功率半导体器件的封装结构和封装方法，通常采用一面积较大的由导热金属构成的散热片来提供散热通道。
[0003]参考图1A和1B，所示为依据现有技术的一种大功率半导体器件的封装结构的原理图和相应的剖面图。图1A所示的大功率半导体器件的直插式封装结构包括由散热片1-1和管脚1-2组成的金属框架1，具有绝缘性能的粘接胶层2，芯片3，金属引线4和塑封体5。芯片3通过粘接胶层2安置在散热片1-1的上表面，同时，芯片3的电极通过金属引线4连接至相应的管脚1-2。管脚1-2的一部分，技术引线4，芯片3，粘接胶层2和散热片1-1的一部分通过塑封材料进行塑封形成塑封体5，使得管脚1-2和散热片1-1裸露于塑封体5外。裸露的管脚1-2用以实现芯片与外部电路的电连接，裸露的散热片1-1用以向外部环境散热。
[0004]由于散热片1-1和管脚1-2是一体的，并且，散热片的厚度比管脚的厚度要大的多，一方面提高了制造难度和制造成本，另一方面，金属和塑封料之间的热膨胀差异，导致大面积的金属框架I在封装结构容易产生分层甚至剥离等可靠性问题。同时，由于散热片1-1和管脚1-2是一体的，在大功率半导体器件的封装结构与外部散热装置进行连接时，需要在散热片1-1和散热装置之间增加一绝缘结构来将两者进行隔离，以保证大功率半导体器件的封装结构的电学性能，但是这样的方式增加了制造成本，同时也降低了散热效果。再者，这样的封装结构，也给芯片的安装方式，数目和灵活性带来了一定的限制和局限性。
【发明内容】
[0005]有鉴于此，本发明的目的在于提供一种新型的半导体器件的封装结构和方法，已解决现有技术中散热性能不佳，封装结构局限性大等技术问题。
[0006]依据本发明一实施例的半导体器件的封装结构，包括:散热片，组合结构和塑封体;其中，
[0007]所述散热片由具有散热性能的金属构成；
[0008]所述组合结构包括至少一个芯片，芯片载体和电连接结构；
[0009]所述芯片载体由具有导电性能的金属组成，以给所述芯片提供机械支撑；以及所述芯片的电极通过所述电连接结构连接至所述芯片载体，以通过所述芯片载体的至少一个外延管脚实现与外部电路的电性连接；
[0010]所述组合结构位于所述散热片的上方，并且两者之间的间距不小于0.2mm;
[0011]具有绝缘性能的塑封材料包覆所述散热片的第一部分，所述芯片，所述芯片载体的第一部分和所述电连接结构，并填充所述组合结构和所述散热片之间的间隔空隙，以形成所述塑封体；
[0012]所述散热片裸露于所述塑封体外，以提供散热通道；
[0013]所述外延管脚裸露于所述塑封体外，以提供外部电性连接。
[0014]优选地，所述电连接结构为金属引线，用以将所述芯片的电极引至对应所述外延管脚。
[0015]优选地，所述芯片载体还包括载片台，用以承载所述芯片;所述外延管脚与所述载片台相连接或者断开。
[0016]优选地，还包括一粘胶层;所述粘胶层的第一表面连接至所述芯片的下表面，相对的另一表面连接至所述载片台。
[0017]优选地，所述电连接结构为金属凸块，所述芯片通过所述金属凸块倒装连接至所述芯片载体。
[0018]优选地，所述芯片载体包括一组指状金属结构，所述芯片的电极通过所述金属凸块连接至对应的所述指状金属结构。
[0019]优选地，所述芯片位于所述指状金属结构的正面或者背面。
[0020]依据本发明的一种制造上述的半导体器件的封装结构的制造方法，包括以下步骤:
[0021]利用模具制造具有导电性能的金属组成的芯片载体，所述芯片载体用以给所述芯片提供机械支撑，以及通过所述芯片载体的至少一个外延管脚实现与外部电路的电性连接；
[0022]将至少一个芯片通过一组电连接结构连接至所述芯片载体，以形成一组合结构；
[0023]取包封模具的上模具和下模具，将散热片放置在所述下模具；
[0024]将所述组合结构放置于所述散热片上方，并且两者之间的间距不小于0.2mm;
[0025]将具有绝缘性能的塑封材料加热至熔融状态，并注入到所述包封模具内，所述上模具冲压所述下模具，使得所述塑封材料包覆所述散热片的第一部分，所述芯片，所述芯片载体的第一部分和所述电连接结构，并填充所述组合结构和所述散热片之间的间隔空隙，经冷却后形成所述塑封体；
[0026]所述散热片裸露于所述塑封体外，以提供散热通道；
[0027]所述外延管脚裸露于所述塑封体外，以提供外部电性连接。
[0028]优选地，其特征在于，所述电连接结构为金属引线，用以将所述芯片的电极引至对应所述外延管脚。
[0029]优选地，其特征在于，所述电连接结构为金属凸块，所述芯片通过所述金属凸块倒装连接至所述芯片载体。
[0030]优选地，其特征在于，所述芯片载体包括一组指状金属结构，所述芯片的电极通过所述金属凸块连接至对应的所述指状金属结构。
【附图说明】
[0031]图1A所示为依据现有技术的一种大功率半导体器件的封装结构的原理图；
[0032]图1B所示为图1A所示的大功率半导体器件的封装结构的剖面图；
[0033]图2A所示为依据本发明第一实施例的半导体器件封装结构的芯片载体的结构框图；
[0034]图2B所示为依据本发明第一实施例的半导体器件封装结构的组合结构的结构框图；
[0035]图2C所示为依据本发明第一实施例的半导体器件封装结构的剖面图；
[0036]图3所示为依据本发明第二实施例的半导体器件的封装结构的剖面图；
[0037]图4所示为依据本发明一实施例的半导体器件的封装结构的制造方法的流程图。
【具体实施方式】
[0038]以下结合附图对本发明的几个优选实施例进行详细描述，但本发明并不仅仅限于这些实施例。本发明涵盖任何在本发明的精髓和范围上做的替代、修改、等效方法以及方案。为了使公众对本发明有彻底的了解，在以下本发明优选实施例中详细说明了具体的细节，而对本领域技术人员来说没有这些细节的描述也可以完全理解本发明。
[0039]参考图2A，所示为依据本发明第一实施例的半导体器件封装结构的芯片载体的结构框图。在该实施例中，该芯片载体2由导电性能的金属组成，包括载片台2-1和至少一个外延管脚2-2;载片台2-1用以给芯片提供机械支撑;外延管脚2-2用以与芯片的电极连接，实现与外部电路的电性连接。外延管脚2-2可以与载片台2-1连接或者断开。外延管脚2-2可以高于或者低于载片台2-1的平面，也可以与载片台2-1共平面。
[0040]参考图2B，所示为依据本发明第一实施例的半导体器件封装结构的组合结构的结构框图。在该实施例中，该芯片4放置于图2A所示的芯片载体2上，以获得机械支撑和电性连接。一组金属引线5作为电连接结构，以将芯片4的电极引至对应的外延管脚2-2，使的外延管脚具有对应的电极性。该组合结构还可以包括粘胶层3;粘胶层3的第一表面连接至芯片4的下表面，相对的另一表面连接至载片台2-，1，以固定和机械支撑芯片4。
[0041]参考图2C，所示为依据本发明第一实施例的半导体器件的封装结构的剖面图。在该实施例中，该半导体器件的封装结构包括图2B所示的组合结构、散热片5和塑封体6。散热片I由具有散热性能的金属构成。该组合结构位于散热片5的上方，并且两者之间的间距D不小于0.2mm;具有绝缘性能的塑封材料部分包覆散热片I和外延管脚2-1，以及全部包覆芯片4，金属引线5，粘胶层3和载片台2-1，并填充该组合结构和散热片I之间的间隔空隙，以形成塑封体6，使得散热片I裸露于塑封体6外，以提供散热通道；同时，外延管脚2-2裸露于塑封体6外，以提供外部电性连接。外延管脚2-2可以沿着塑封体6的一侧边延伸或者沿着多个侧边延伸。散热片的底部和/或侧边可以裸露于塑封体6外，以向外部媒介或者环境散热。
[0042]通过上述依据本发明实施例的半导体器件的封装结构，由于散热片和组合结构之间是分离的，相对于现有技术中散热片和管脚的一体化的结构，避免了大面积的金属框架在封装结构容易产生分层甚至剥离等可靠性问题;并且，散热片可以选择散热性能更佳的金属，同时，同样的封装尺寸下，散热片的面积可以设置的更大，提高了封装结构的散热性能；另一方面，通过具有绝缘性能的塑封材料来填充散热片和组合结构之间的间隙，可以保证散热片和组合结构之间良好的绝缘性能。在与外部散热装置进行连接时，不再需要增加一绝缘结构来将两者进行隔离;再者，散热片和组合结构之间的绝缘隔离，芯片的安装方式和数目可以更加灵活。
[0043]参考图3，所示为依据本发明第二实施例的半导体器件的封装结构的剖面图。在该实施例中，芯片通过倒装方式连接至芯片载体，相比较使用键合引线的正装安装方式，组合结构的体积可以