技术特征：
技术总结
本发明提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用，镀膜装置包括传输单元、气体隔离单元、抽真空单元、冷却单元、至少3个隔离腔室、以及阴极靶材；其中3个所述隔离腔室分别为第一隔离腔室，第二隔离腔室、第三隔离腔室，3个所述隔离腔室依次连接，每个隔离腔室的顶部都设置可打开的盖板；每个隔离腔室内的下部都设置传输单元，所述传输单元贯通所有隔离腔室；第一隔离腔室以及第三隔离腔室内设置气体隔离单元；第一隔离腔室以及所述第三隔离腔室的盖板上都设置抽真空单元；所述第二隔离腔室中设置阴极靶材以及冷却单元。本发明使用更加便捷，气体隔离装置隔离性能好，隔离系数高，结构简单。
技术研发人员：井治;刘锐;葛治亮;张超群;王程;王贝;邓君
受保护的技术使用者：中国建材国际工程集团有限公司
技术研发日：2017.07.03
技术公布日：2017.10.03