基板检查方法及检查单元的制作方法
【专利说明】基板检查方法及检查单元
[0001]本申请是申请日为2012年01月13日，申请号为CN201210013362.5，发明名称为“基板成膜检查装置”的专利申请的分案申请。
技术领域
[0002]本发明涉及检查成膜(例如，聚酰亚胺)的不良与否的技术，该成膜涂布于用在有机发光二极管(Organic Light Emitting D1de，OLED)或液晶显示器的基板(以下称为“基板”)的表面上，尤其涉及能够通过测量涂布于基板表面的成膜与基板边缘部分之间的距离来检查涂布于基板表面的成膜的歪斜不良的基板检查方法及检查单元。
【背景技术】
[0003]薄膜晶体管液晶显示装置大体由用于形成薄膜晶体管的下部基板和用于形成滤色器的上部基板以及注入于下部基板与上部基板之间的液晶构成，制造所述液晶显示装置的工艺可分为薄膜晶体管(TFT)工序、单元(cell)工序、模块工序这三个部分。
[0004]所述TFT工序与半导体制造工序非常相似，是一种通过反复进行蒸镀工序(deposit1n)和光刻工序(photolithography)以及蚀刻工序而将薄膜晶体管排列到基板上进彳丁制造的工序。
[0005]所述单元工序中，在TFT下板和形成有滤色器(Color filter)的上板形成配向膜，并配向为使液晶在配向膜上较好地排列之后，散布间隔物(Spacer)，并通过密封(seal)印刷进行贴合。贴合之后利用毛细管现象将液晶注入到内部，然后封住注入口，由此完成针对液晶显不装置的制造工艺。
[0006]所述模块工艺为确定最终传递给用户的产品品质的步骤，在所完成的面板上粘贴偏光板并贴装驱动集成电路(Driver-1C)之后，装配印刷电路板(Printed CircuitBoard)，从而最终装配背光单元和结构件，由此完成液晶模块。
[0007]另外，0LED通过对上板和下板玻璃之间的各个单元蒸镀有机物质来制得，这种0LED具有能够在较低的电压下被驱动且能够制造成较薄的薄型的优点，而且具有较宽的视角和较快的响应速度，因此即使在一侧观看，画质也不会发生变化，且画面上也不会残留残像，这一点与一般的IXD不同。
[0008]并且，在小型画面方面，由于具有超出IXD的画质以及简单的制造工艺，因此具有有利的价格竞争力。
[0009]这种0LED对于彩色显示方式而言，具有三色(红、绿、蓝)独立像素方式、颜色转换方式(CCM)以及滤色方式，而根据用于显示器的发光材料分为低分子0LED和高分子0LED，根据驱动方式分为手动型驱动方式(passive matrix)和主动型驱动方式(activematrix)。
[0010]并且，0LED相比IXD、Η)Ρ，不仅在结构上更加简单，厚度更薄，而且还具有能够弯曲的特性，因此使得可挠式显示器的市场的前景更加光明。
[0011]此时，在制造所述IXD或0LED的基板的工艺中，对于涂布形成于所述基板表面的多个成膜而言，应当根据其涂布而整齐地排列，如果其排列发生不良，则存在基板的显示不良的问题。
[0012]S卩，在基板的表面上涂布成膜时，成膜与基板的边缘部分之间的水平以及垂直距离应当恒定，但是在基板的表面上涂布形成成膜时，经常会发生所涂布的所述成膜与基板边缘部分的水平及垂直距离歪斜而并不恒定的情况，而以往检查这种成膜的歪斜的装置并不存在。
【发明内容】
[0013]本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种通过制造出检查涂布于基板表面的成膜与基板边缘部分的水平以及垂直距离是否恒定的基板检查方法及检查单元，有效地检查涂布于基板表面的成膜的歪斜不良，且通过这种检查能够防止在经过处理室完成LCD或0LED产品的制造的状态下，因成膜位置不均而引起的显示不良的基板检查方法及检查单元。
[0014]为了实现上述目的，根据本发明一方面的检查单元包括:第一部件，其从形成有成膜的基板的图像信息检测所述基板的边缘与所述成膜之间的距离；第二部件，其通过比较检测到的所述距离与基准值判断检测到的所述距离是否为正常范围内的距离；以及，第三部件，其在所述判断的结果为不是所述正常范围内的距离时确定为所述基板发生异常。
[0015]并且，所述第一部件检测所述基板的横向部边缘与所述成膜之间的距离及所述基板的纵向部边缘与所述成膜之间的距离，所述第三部件在所述距离中至少一个距离不是对应的正常范围内的距离时确定为所述基板发生不良。
[0016]并且，所述基板的边缘与所述成膜之间的距离是通过对所述基板的边缘与所述成膜之间的像素数和每像素的基准长度进行计算得出的。
[0017]根据本发明另一方面的检查单元包括:根据形成有成膜的基板的图像信息，对所述基板的边缘与所述成膜之间的像素数和每像素的基准长度进行计算检测所述基板的边缘与所述成膜之间的距离的部件；以及，检测到的所述距离不是正常范围内的距离时确定为所述基板发生不良的部件。
[0018]根据本发明又一方面的检查单元包括:第一部件，其从形成有多层成膜的基板的图像信息检测所述多层成膜中第一成膜与所述基板的边缘之间的距离及所述多层成膜中第二成膜与所述基板的边缘之间的距离；以及，第二部件，其在检测到的所述距离中至少一个距离不是正常范围内的距离时确定为所述基板发生不良。
[0019]并且，所述第一部件在所述第一成膜的大小小于所述第二成膜的大小时，先检测所述第一成膜与所述边缘之间的距离后检测所述第二成膜与所述边缘之间的距离。
[0020]根据本发明又一方面的检查单元包括:第一部件，其从形成有成膜的基板的图像信息检测所述基板的边缘与所述成膜之间的距离；以及，第二部件，其通过比较检测到的所述距离与基准值判断所述基板上是否正常涂布所述成膜。
[0021]根据本发明又一方面的检查单元包括:第一部件，其从形成有成膜的对象物的图像信息检测所述基板的边缘与所述成膜之间的距离；以及，第二部件，其通过比较检测到的所述距离与基准值判断所述对象物上是否正常涂布所述成膜。
[0022]根据本发明一方面的基板检查方法包括:从形成有成膜的基板的图像信息检测所述基板的边缘与所述成膜之间的距离的步骤；通过比较检测到的所述距离与基准值判断检测到的所述距离是否为正常范围内的距离的步骤；以及，所述判断的结果为不是所述正常范围内的距离时确定为所述基板发生不良的步骤。
[0023]如上所述，本发明构成用于检查涂布于基板表面的成膜与基板边缘部分的水平及垂直距离是否恒定的基板检查方法及检查单元，通过这种基板检查方法及检查单元可以期待如下的效果，即有效地检查出难以用肉眼识别的涂布于基板表面的成膜的歪斜不良，同时防止在经过处理室完成IXD或0LED产品的制造的状态下，因成膜歪斜而引起的显示不良。
【附图说明】
[0024]图1为示出作为本发明的实施例的基板成膜检查装置的结构的侧视图；
[0025]图2为示出作为本发明的实施例的基板成膜检查装置的结构的俯视图；
[0026]图3为示出作为本发明的实施例的由相机模块产生的形成有成膜的基板的图像信息的概略图；
[0027]图4为作为本发明的实施例的图3的放大图，是涂布有单层成膜的基板的边缘部分的放大图；
[0028]图5为示出作为本发明的实施例的基板成膜检查装置的概略的方框图；
[0029]图6为作为本发明的另一实施例的涂布有多层成膜的基板的边缘部分的放大图。
[0030]符号说明:
[0031]10:检查台20:照明模块
[0032]30:相机模块 40:检查单元
[0033]100:基板101、101a、101b:成膜
【具体实施方式】
[0034]以下，参照【附图说明】本发明的实施例。
[0035]图1为示出作为本发明的实施例的基板成膜检查装置的结构的侧视图，图2为示出作为本发明的实施例的基板成膜检查装置的结构的俯视图，图3为示出作为本发明的实施例的由相机模块产生的形成有成膜的基板的图像信息的概略图，图4为作为本发明的实施例的图3的放大图，是涂布有单层成膜的基板的边缘部分的放大图，图5为示出作为本发明的实施例的基板成膜检查装置的概略的方框图。
[0036]参照图1至图5，本发明的实施例提供的基板成膜检查装置设置于用于投入所述基板100的检查台10，以在基板100的表面上将包含聚酰亚胺薄膜的多个成膜101涂布到所述基板100上而形成图案时，检查所述成膜101是否歪斜，这种本发明包括照明模块20、相机模块30以及检查单元40。
[0037]所述照明模块20为氙气灯、卤素灯、高频荧光灯、发光二极管照明器中的任意一个，其在所述检查台10的下端沿着与基板100的投入方向(长度方向)垂直相交的宽度方向布置，且构成为当涂布有成膜101的基板经过所述检查台10时，对所述基板100的表面照射光源自不必说，还对所述基板100的横向部边缘Η以及纵向部边缘V照射光源。
[0038]所述相机模块30布置在所述检查台10的上端，其构成为对经过所述检查台10的基板100的表面自不必说，对经过所述检查台10的基板100的横向部边缘Η以及纵向部边缘V以行扫描方式拍摄之后，将此提供给所述检查单元40。
[0039]即，所述相机模块30构成为根据从所述照明模块20照射至基板100的表面的光源自不必说，根据从所述照明模块20照射