感光性树脂组合物、显示板用隔离物和显示板的制作方法

专利名称：感光性树脂组合物、显示板用隔离物和显示板的制作方法
技术领域：
本发明涉及感光性树脂组合物、显示板用隔离物和显示板，更详细地，本发明涉及作为形成用于液晶显示板或触摸板等显示板的隔离物的材料适合的感光性树脂组合物、由该组合物形成的显示板用隔离物，以及具备该隔离物的显示板。
背景技术：
在液晶显示板中，过去，为了在2枚衬底间保持一定间隔(单元间隔)，使用具有规定粒径的玻璃珠、塑料珠等隔离物颗粒，但由于这些隔离物颗粒在玻璃衬底等透明衬底上自由散布，所以如果在图像形成区域存在隔离物颗粒，则会发生隔离物颗粒的印入现象，入射光受到散射，存在液晶显示板的对比度降低的问题。
因此，为了解决该问题，采用通过光刻术形成隔离物的方法。该方法，将感光性树脂组合物涂布在衬底上，通过规定的掩膜并在紫外线曝光后显影，形成点状或条纹状隔离物，由于可以仅在图像形成区域以外规定的地方形成隔离物，所以基本可以解决上述问题。
但是，实际的隔离物形成过程，例如通过光刻术在颜色滤光片等中使用的衬底上形成隔离物的情况下，多使用趋近曝光机。该趋近曝光的情况下，在掩膜与涂布了感光性树脂组合物的衬底间设置一定的缝隙并曝光，理想的是在掩膜本身的图案上曝光。但是，由于上述缝隙充满空气或者氮气，通过掩膜开口部分(透明部分)的光在该缝隙部分扩散并展开，所以存在比掩膜图案设计尺寸更宽地曝光的问题。
因此，为了解决该问题，本申请人已经在专利文件1中，通过使用1，2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰基肟)作为感光性组合物的光聚合引发剂，明确了即使通过趋近曝光也可以形成忠实再现掩膜图案设计尺寸，而且强度、耐热性等也优异的显示板用隔离物。
特开2001-261761号公报而且，伴随液晶显示板的大型化，必须要更正确地控制单元缝隙，如果由隔离物用感光性树脂组合物形成的保护膜与衬底的粘合性不充分，形成的隔离物会从衬底上滑下来，结果不可能正确地保持单元缝隙。在液晶显示板上，进行图像的高开口率化，结果可以配置隔离物的黑色背景区域的面积也逐渐减小。因此，为了使隔离物即使进入某种程度的图像区域也不损害图像的色调，要求隔离物具有更高的透明性。
但是，包括日本专利文件1记载的，隔离物形成中使用的现有感光性树脂组合物，与衬底的粘合性和透明性方面依然不够，强烈期望开发同时具备这些特性的感光性树脂组合物。
另外，近年来，从液晶显示装置的大面积化和生产率的提高等方面出发，发展了母玻璃衬底的大型化。现有的衬底尺寸(680×880mm左右)，由于衬底尺寸也比掩膜尺寸小，所以可以通过一次性曝光方式应对。
但是，大型衬底(例如1500×1800mm左右)，做成与该衬底尺寸相同的掩膜尺寸几乎不可能，难以通过一次性曝光方式应对。
因此作为大型衬底的对应曝光方式，提倡分步曝光方式。但是，按照分步曝光方式，在一片衬底上多次曝光，那时，情况产生位置合对、分步移动所需的时间。分步曝光方式，与一次性曝光方式相比，有通过量降低的危险。一次性曝光方式，允许在300mJ/cm2左右的曝光感光度，而分步曝光方式要求曝光感光度在150mJ/cm2或以下。但是，现有的材料中，在150mJ/cm2或以下的曝光量难以得到足够的隔离物形状和膜厚。
另外，关于隔离物的形状、膜厚的控制性的要求值近年来越来越严格，伴随由于形成隔离物时方法改变的形状、膜厚变化、组合物溶液的经时变化，涉及形状、膜厚的稳定性留下研究课题。

发明内容
本发明的课题，是提供为在高敏感度下形成可以忠实再现掩膜设计尺寸，而且与衬底的粘合性优异，在150mJ/cm2或以下的曝光量也可以得到足够的隔离物形状和膜厚，强度、耐热性等也优异，另外，隔离物的形状、膜厚的控制性过程的稳定性、经过时间稳定性优异的显示板用隔离物的感光性树脂组合物。
根据本发明，上述课题，第一是通过感光性树脂组合物(以下称为“感光性树脂组合物(1)”)而实现，其特征在于该组合物含有[A](a1)乙烯性不饱和羧酸和/或乙烯性不饱和羧酸酐和(a2)含有环氧基的乙烯性不饱和化合物和(a3)其它乙烯性不饱和化合物的共聚物，[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物，以及[C]由下述式(1)所表示的化合物构成的光聚合引发剂 根据本发明，上述课题，第二是通过由感光性树脂组合物(1)形成的显示板用隔离物而实现的。
根据本发明，上述课题，第三是通过具有上述显示板用隔离物的显示板而实现的。


图1是举例说明图案截面形状的图。
具体实施例方式
下面对本发明进行详细说明。
感光性树脂组合物(1)-共聚物[A]-感光性树脂组合物(1)中的[A]成分，是由(a1)乙烯性不饱和羧酸和/或乙烯性不饱和羧酸酐和(a2)含有环氧基的乙烯性不饱和化合物和(a3)其它乙烯性不饱和化合物的共聚物(以下称为“共聚物[A]”)构成的。
在构成共聚物[A]的各成分中，作为(a1)乙烯性不饱和羧酸和/或乙烯性不饱和羧酸酐(以下将其总称为“不饱和羧酸类单体(a1)”)，可以列举例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、2-甲基乙醇酰氧基乙基琥珀酸、2-甲基乙醇酰氧基乙基六氢邻苯二甲酸等单羧酸类；马来酸、富马酸、焦柠檬酸、中康酸、衣康酸等二羧酸类；上述二羧酸的酸酐类等。
在这些不饱和羧酸类单体(a1)中，从共聚反应性、所得共聚物对碱水溶液的溶解性和获得容易的观点出发，优选丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐等。
在感光性树脂组合物(1)中，不饱和羧酸类单体(a1)可以单独或混合两种或以上使用。
在共聚物[A]中，由不饱和羧酸类单体(a1)衍生的重复单元的含有率，优选为5～50重量％，进一步优选为10～40重量％，特别优选为15～30重量％。此时，如果不饱和羧酸类单体(a1)衍生的重复单元的含有率不足5重量％，则存在对碱水溶液的溶解性降低的倾向，另一方面，如果超过40重量％，则恐怕对碱水溶液的溶解性变得过大。
另外，作为(a2)含有环氧基的乙烯性不饱和化合物(以下称为“含有环氧基单体(a2)”)，可以列举例如丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸2-甲基缩水甘油酯、丙烯酸3，4-环氧丁酯、丙烯酸6，7-环氧庚酯、丙烯酸3，4-环氧环己酯等丙烯酸环氧烷基酯类；甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸2-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸3，4-环氧丁酯、甲基丙烯酸6，7-环氧庚酯、甲基丙烯酸3，4-环氧环己酯等甲基丙烯酸环氧烷基酯类；α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸6，7-环氧庚酯等α-烷基丙烯酸环氧烷基酯类；邻-乙烯基苄基缩水甘油醚，间-乙烯基苄基缩水甘油醚，对-乙烯基苄基缩水甘油醚等缩水甘油醚类。
这些含有环氧基的单体(a2)中，从共聚反应性和隔离物强度的观点出发，优选甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸2-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸6，7-环氧丁酯、邻-乙烯基苄基缩水甘油醚，间-乙烯基苄基缩水甘油醚，对-乙烯基苄基缩水甘油醚等。
在感光性树脂组合物(1)中，含有环氧基的单体(a2)可以单独或混合两种或以上使用。
在共聚物[A]中，由含有环氧基的单体(a2)衍生的重复单元的含有率，优选为10～70重量％，更优选为20～60重量％，特别优选为30～50重量％。此时，含有环氧基的单体(a2)衍生的重复单元的含有率如果不足10重量％，则所得隔离物的强度有降低的倾向，另一方面，如果超过70重量％，则所得共聚物的保存稳定性有降低的倾向。
而且，作为(a3)其它乙烯性不饱和化合物(下面，简称为“其它单体(a3)”)，可以列举例如丙烯酸甲酯、丙烯酸异丙酯等丙烯酸烷基酯类；甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯等甲基丙烯酸烷基酯类；丙烯酸环己酯、丙烯酸2-甲基环己酯、丙烯酸三环[5.2.1.02，6]癸烷-8-基、丙烯酸2-(三环[5.2.1.02，6]癸烷-8-基氧)乙酯、丙烯酸异冰片酯等丙烯酸脂环酯类；甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸2-甲基环己酯、甲基丙烯酸三环[5.2.1.02，6]癸烷-8-基、甲基丙烯酸2-(三环[5.2.1.02，6]癸烷-8-基氧)乙酯、甲基丙烯酸异冰片酯等甲基丙烯酸脂环酯类；丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯等丙烯酸芳基酯或芳烷基酯类；甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苄酯等甲基丙烯酸芳基酯或芳烷基酯类；马来酸二乙酯、富马酸二乙酯、衣康酸二乙酯等二羧酸二烷基酯类；甲基丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸2-羟基丙酯等甲基丙烯酸羟基烷基酯类；四氢糠基甲基丙烯酸酯、四氢呋喃基甲基丙烯酸酯、四氢吡喃基-2-甲基甲基丙烯酸酯等含一个氧原子的不饱和杂五或六员环甲基丙烯酸酯类；苯乙烯，α-甲基苯乙烯、间-甲基苯乙烯、对-甲基苯乙烯、对甲氧基苯乙烯等乙烯基芳香族化合物；除1，3-丁二烯、异戊二烯、2，3-二甲基-1，3-丁二烯等共轭二烯类化合物外，还有丙烯腈、甲基丙烯腈、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、氯乙烯、偏氯乙烯、乙酸乙烯酯等。
这些其它单体(a3)中，从共聚反应性和所得共聚物对碱水溶液的溶解性的观点出发，优选丙烯酸2-甲基环己酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸三环[5.2.1.02，6]癸烷-8-基、苯乙烯、对-甲氧基苯乙烯、四氢糠基甲基丙烯酸酯、1，3-丁二烯等。
在感光性树脂组合物(1)中，其它单体(a3)，可以单独或混合2种或以上使用。
在共聚物[A]中，其它单体(a3)衍生的重复单元的含有率，优选为10～70重量％，更优选20～50重量％，特别优选30～50重量％。此时，其它单体(a3)衍生的重复单元的含有率如果不足10重量％，所得共聚物的保存稳定性有降低的倾向，另一方面，如果超过70重量％，所得共聚物对碱水溶液的溶解性有降低的倾向。
共聚物[A]具有羧基和/或羧酸酐基和环氧基，对碱水溶液具有适度的溶解性，同时即使不联合使用特别的固化剂，通过加热也可以容易地固化，含有该共聚物的感光性树脂组合物(1)，在显影时不发生显影残留和脱膜，可以容易地形成规定图案的隔离物。
共聚物[A]，可以通过例如使不饱和羧酸类单体(a1)、含有环氧基的单体(a2)和其它单体(a3)在适当溶剂中，在自由基聚合引发剂存在下聚合而制造。
作为上述聚合中使用的溶剂，可以列举例如甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇等醇类；四氢呋喃、二噁烷等醚类；乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单正丙醚、乙二醇单正丁醚等乙二醇单烷基醚类；乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚、乙二醇单正丙醚乙酸酯、乙二醇单正丁醚乙酸酯等乙二醇单烷基醚乙酸酯类；乙二醇单甲醚丙酸酯、乙二醇单乙醚丙酸酯、乙二醇单正丙醚丙酸酯、乙二醇单正丁醚丙酸酯等乙二醇单烷基醚丙酸酯类；二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇甲基乙基醚等二乙二醇烷基醚类；丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单正丙基醚、丙二醇单正丁基醚等丙二醇单烷基醚类；丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单正丙基醚乙酸酯、丙二醇单正丁基醚乙酸酯等丙二醇单烷基醚乙酸酯类；丙二醇单甲基醚丙酸酯、丙二醇单乙基醚丙酸酯、丙二醇单正丙基醚丙酸酯、丙二醇单正丁基醚丙酸酯等丙二醇单烷基醚丙酸酯类；甲苯、二甲苯等芳香族烃类；甲乙酮、2-戊酮、3-戊酮、环己酮、4-羟基-4-甲基-2-戊酮等酮类；2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸正丙酯、2-甲氧基丙酸正丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸正丙酯、2-乙氧基丙酸正丁酯、2-正丙氧基丙酸甲酯、2-正丙氧基丙酸乙酯、2-正丙氧基丙酸正丙酯、2-正丙氧基丙酸正丁酯、2-正丁氧基丙酸甲酯、2-正丁氧基丙酸乙酯、2-正丁氧基丙酸正丙酯、2-正丁氧基丙酸正丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸正丙酯、3-甲氧基丙酸正丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸正丙酯、3-乙氧基丙酸正丁酯、3-正丙氧基丙酸甲酯、3-正丙氧基丙酸乙酯、3-正丙氧基丙酸正丙酯、3-正丙氧基丙酸正丁酯、3-正丁氧基丙酸甲酯、3-正丁氧基丙酸乙酯、3-正丁氧基丙酸正丙酯、3-正丁氧基丙酸正丁酯等烷氧基丙酸烷基酯类或乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸正丁酯、羟基乙酸甲酯、羟基乙酸乙酯、羟基乙酸正丙酯、羟基乙酸正丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸正丙酯、乳酸正丁酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、3-羟基丙酸正丙酯、3-羟基丙酸正丁酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸正丙酯、甲氧基乙酸正丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸正丙酯、乙氧基乙酸正丁酯、正丙氧基乙酸甲酯、正丙氧基乙酸乙酯、正丙氧基乙酸正丙酯、正丙氧基乙酸正丁酯、正丁氧基乙酸甲酯、正丁氧基乙酸乙酯、正丁氧基乙酸正丙酯、正丁氧基乙酸正丁酯等其它酯类等。
这些溶剂中，优选二乙二醇烷基醚类，丙二醇单烷基醚乙酸酯类，烷氧基丙酸烷基酯类等。
上述溶剂，可以单独或2种或以上混合使用。
另外，作为上述聚合中使用的自由基聚合引发剂，没有特别限制，可以列举例如2，2’-偶氮二异丁腈、2，2’-偶氮二-(2，4-二甲基戊腈)、2，2’-偶氮二-(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)、4，4’-偶氮二(4-氰基戊酸)、二甲基2，2’-偶氮二(2-甲基丙酸酯)、2，2’-偶氮二(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)等偶氮化合物；苯甲酰基过氧化物、月桂酰基过氧化物、叔丁基过氧化特戊酸酯、1，1-双(叔丁基过氧化)环己烷等有机过氧化物；过氧化氢等。另外，作为自由基聚合引发剂使用过氧化物的情况下，可以将它们与还原剂联合使用，作为氧化还原型引发剂。
这些自由基聚合引发剂，可以单独或混合2种或以上使用。
这样得到的共聚物[A]，可以将溶液直接供放射线敏感性树脂组合物的配制，或者从溶液中分离出来供放射线敏感性树脂组合物的配制。
共聚物[A]通过凝胶渗透色谱法(GPC)测定的换算成聚苯乙烯的重量平均分子量(下面称为“Mw”)，通常为2,000～100,000，优选为5,000～50,000。此时，Mw如果不足2,000，所得保护膜的显影性、残膜率等降低，或者图案形状、耐热性等会受损，另一方面，如果超过100,000，清晰度降低，图案形状可能会受损。
-聚合性化合物[B]-感光性树脂组合物(1)中的[B]成分，是具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物(下面称为“聚合性化合物[B]”)。
作为聚合性化合物[B]，没有特别限制，从聚合性良好，所得隔离物的强度提高的观点出发，优选为单官能、2官能或3官能或以上的(甲基)丙烯酸酯类。
作为上述单官能(甲基)丙烯酸酯类，可以列举例如2-羟基乙基丙烯酸酯、2-羟基乙基甲基丙烯酸酯、二乙二醇单乙醚丙烯酸酯、二乙二醇单乙醚甲基丙烯酸酯、异冰片基丙烯酸酯、异冰片基甲基丙烯酸酯、3-甲氧基丁基丙烯酸酯、3-甲氧基丁基甲基丙烯酸酯，2-丙烯酰氧基乙基-2-羟基丙基邻苯二甲酸酯、2-甲基丙烯酰氧基乙基-2-羟基丙基邻苯二甲酸酯等，或者作为市售品，可以列举例如アロニツクスM-101，同M-111，同M-114(东亚合成(株)制)；KAYARAD TC-110S，同TC-120S(日本化药(株))；ビスコ-ト158，同2311(大阪有机化学工业(株)制)等。
另外，作为上述2官能(甲基)丙烯酸酯类，可以列举例如乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、1，6-己二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二甲基丙烯酸酯、1，9-壬二醇二丙烯酸酯、1，9-壬二醇二甲基丙烯酸酯、二苯氧基乙醇芴二丙烯酸酯、二苯氧基乙醇芴二甲基丙烯酸酯等，另外作为市售品，可以列举例如アロニツクスM-210、同M-240、同M-6200(东亚合成(株)制)、KAYARAD HDDA、同HX-220、同R-604(日本化药(株)制)、ビスコ-ト260、同312、同335HP(大阪有机化学工业(株)制)等。
而且、作为上述3官能或以上的(甲基)丙烯酸酯类、可以列举例如三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、三(2-丙烯酰氧基乙基)磷酸酯、三(2-甲基丙烯酰氧基乙基)磷酸酯等。
特别，9官能或以上的(甲基)丙烯酸酯，可以列举使具有亚烷基直链和脂环结构，含有2个或以上异氰酸酯基的化合物与分子内含有1个或以上羟基的3官能，4官能和5官能的(甲基)丙烯酸酯化合物反应而得的尿烷丙烯酸酯化合物。
作为上述市售品，可以列举例如アロニツクスM-309、同M-400、同M-405、同M-450、同M-7100、同M-8030、同M-8060、同TO-1450(东亚合成(株)制)、KAYARAD TMPTA、同DPHA、同DPCA-20、同DPCA-30、同DPCA-60、同DPCA-120(日本化药(株)制)、ビスコ-ト295、同300、同360、同GPT、同3PA、同400(大阪有机化学工业(株)制)等。9官能或以上的多官能尿烷丙烯酸酯的市售品，作为实例，可以列举例如ニユフロンテイアR-1150(以上，第一工业制药(株)制)，KAYARAD DPHA-40H(以上，日本化药(株)制)等。
这些单官能，2官能或3官能或以上的(甲基)丙烯酸酯类中，更优选3官能或以上的(甲基)丙烯酸酯类，特别优选三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇五丙烯酸酯和季戊四醇六丙烯酸酯。
上述单官能、2官能或3官能或以上的(甲基)丙烯酸酯类，可以单独或组合2种或以上使用。
在感光性树脂组合物(1)中，聚合性化合物[B]的使用量，相对于100重量份共聚物[A]，优选为50～140重量份，更优选为60～120重量份。此时，如果聚合性化合物[B]的使用量不足50重量份，显影时恐怕会产生显影残缺，另一方面，如果超过140重量份，存在所得隔离物硬度降低的倾向。
-光聚合引发剂[C]-在感光性树脂组合物(1)中[C]成分，由O-酰基肟型光聚合引发剂构成，特别优选上述式(1)所示化合物(下面称为“光聚合引发剂[C]”)。
本发明所说的光聚合引发剂，是指通过可见光、紫外线、远紫外线、电子束、X射线等曝光、产生可以使聚合性化合物[B]开始聚合的活性种子的成分。
在上述式(1)所示的“光聚合引发剂[C]”中，R1，R2分别为选自氢原子、碳原子数1～20的烷基、碳原子数3～8的环烷基、苯基(但可以被碳原子数1～6的烷基、碳原子数1～6的烷氧基、苯基、以及卤素原子的至少一个或以上取代)、碳原子数7～20的脂环基(アリサイクリツク)(上述环烷基除外)、碳原子数4～20的含氧杂环基、碳原子数4～20的含氮杂环基、碳原子数4～20的含氧杂环基、碳原子数4～20的含硫杂环基的官能基。但R1，R2中的任何一个，是碳原子数13～20的烷基、碳原子数7～20的脂环基(上述环烷基除外)、碳原子数4～20的含氧杂环基、碳原子数4～20的含氮杂环基、碳原子数4～20的含氧杂环基、碳原子数4～20的含硫杂环基。R3表示氢原子或碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基，R4，R5和R6表示氢原子或碳原子数1～6的直链状、支链状或环状的烷基。
作为上述碳原子数7～20的脂环基(上述环烷基除外)，可以列举例如二环烷基、三环烷基、螺环烷基、四环烷基、含有萜烯骨架的基团、含有金刚烷基骨架的基团等。
作为碳原子数4～20的含氮杂环基、碳原子数4～20的含氧杂环基、碳原子数4～20的含硫杂环基，可以列举例如硫杂戊环基(チオラニル)、氮杂吖庚因(アゼピニル)、二氢氮杂吖庚因、二氧杂戊环基、三嗪基、噁噻唑基(オキサチアニル)、噻唑基、噁二唑基、二氧茚满基、ジヒアナフタレニル、呋喃基、噻吩基、吡咯基、噁唑基、异噁唑基、噻唑基、异噻唑基、吡唑基、呋咱基、吡喃基、哒嗪基、嘧啶基、吡嗪基、吡咯啉基、吗啉基、哌嗪基、奎宁基、吲哚基、异吲哚基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、吲哚满基(インドリジニル)、色满基、喹啉基、异喹啉基、プリニル、喹唑啉基、噌啉基、酞嗪基、喋啶基、咔唑基、吖啶基、菲啶基、噻吨基、吩嗪基、吩噻基、吩噻噁基、吩噁基、噻蒽基等。
作为式(1)中R3的碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基，可以列举例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基、环戊基、环己基等。
另外，作为R4，R5和R6的碳原子数1～6的直链状、支链状或环状烷基，可以列举例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、环戊基、环己基等。
作为化合物[C]的具体实例，可以列举1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-二环庚基甲烷-1-酮肟-O-乙酸酯，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-二环庚基-1-酮肟-O-乙酸酯，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-金刚烷基甲烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-金刚烷基甲烷-1-酮肟-O-乙酸酯，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-四氢呋喃基甲烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-四氢呋喃基甲烷-1-酮肟-O-乙酸酯，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-噻吩基甲烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-噻吩基甲烷-1-酮肟-O-乙酸酯，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-吗吩烷基(モロフオニル)甲烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-吗吩烷基甲烷-1-同肟-O-乙酸酯，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-二环丁烷羧酸酯，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-三环癸烷羧酸酯，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-金刚烷羧酸酯等，可以同时使用2种或以上这些光聚合引发剂[C]。
也可以联合使用除上述式(1)以外的O-酰基肟型光聚合引发剂(以下称为“光聚合引发剂[C-2]”)作为光聚合引发剂[C]。
作为这些光聚合引发剂[C-2]的具体实例，可以列举例如1，2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰基肟)、1，2-丁二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰基肟)、1，2-丁二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-乙酰基肟)、1，2-辛二酮-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰基肟)、1，2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-(4-甲基苯甲酰基肟))等。其中，特别优选1，2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰基肟)。
通过使用这些光聚合引发剂[C]，即使在150mJ/cm2或以下的曝光量下也可以得到具有感光度、粘合性的隔离物。
感光性树脂组合物(1)中的光聚合引发剂[C]的使用量，相对于100重量份聚合性化合物[B]，优选为5～30重量份，更优选为5～20重量份。此时，光聚合引发剂[C]的使用量不足5重量份，显影时残膜率有降低的倾向，另一方面，如果超过30重量份，显影时未曝光部分对碱性显影液的溶解性有降低的倾向。
另外，感光性树脂组合物(1)中，可以与光聚合引发剂[C]一起联合使用至少一种其它光聚合引发剂。
作为上述其它光聚合引发剂，可以列举例如联咪唑类化合物、苯偶姻类化合物、苯乙酮类化合物、二苯甲酮类化合物、α-二酮类化合物、多核苯醌类化合物、占吨酮、膦类化合物、三嗪类化合物等。其中，优选苯乙酮类化合物(以下称为“(D)成分”)，联咪唑类化合物(以下称为“(E)成分”)。
(D)成分苯乙酮类化合物另外，作为上述苯乙酮类化合物，可以列举例如α-羟基酮类化合物、α-氨基酮类化合物、它们以外的化合物。
作为上述α-羟基酮类化合物的具体实例，可以列举1-苯基-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、4-(2-羟基乙氧基)苯基-(2-羟基-2-丙基)酮、1-羟基环己基苯基酮等，作为上述α-氨基酮类化合物的具体实例，可以列举2-甲基-1-[-4-(甲硫基)苯基]-2-单吗啉基丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-单吗啉基苯基)-丁酮-1等，作为它们以外的化合物的具体实例，可以列举例如2，2-二甲氧基苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、2，2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮等。
这些苯乙酮类化合物，可以单独或组合2种或以上使用。
通过使用这些苯乙酮类化合物，可以使感光度、隔离物形状和压缩强度更好。
(E)成分联咪唑类化合物作为上述联咪唑类化合物的具体实例，可以列举2，2’-双(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1，2’-联咪唑，2，2’-双(2-溴苯基)-4，4’，5，5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1，2’-联咪唑，2，2’-双(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑，2，2’-双(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑，
2，2’-双(2，4，6-三氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑，2，2’-双(2-溴苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑，2，2’-双(2，4-二溴苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑，2，2’-双(2，4，6-三溴苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑等。
上述联咪唑类化合物中，优选2，2’-双(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑，2，2’-双(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑，2，2’-双(2，4，6-三氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑等，特别优选2，2’-双(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑。
上述联咪唑类化合物，可以单独或组合2种或以上使用。
通过使用这些联咪唑类化合物，可以使感光度、清晰度和粘合性更好。
另外，为了使联咪唑化合物增敏，可以使用具有二烷基氨基的脂肪族或芳香族类化合物(下面称为“增敏剂[E-2]”)。
作为上述增敏剂[E-2]的具体实例，可以列举例如N-甲基二乙醇胺，4，4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮，4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮，对-二甲基氨基苯甲酸乙酯，对-二甲基氨基苯甲酸异戊酯等。这些增敏剂中，优选4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。
这些增敏剂[E-2]，可以同时使用2种或以上。
增敏剂[E-2]的使用量，相对于100重量份[A]，优选以0.1～50重量份，更优选1～20重量份的比例含有。
化合物[E-2]的量，不足0.1重量份的情况下，存在发生所得隔离物膜腹部和图案形状不良的倾向，另外，如果超过50重量份，则同样会存在图案形状不良的倾向。
使用联咪唑化合物的情况下，而且，可以使用硫醇类化合物(下面称为“硫醇类化合物[E-3]”)作为氢供给化合物。联咪唑化合物可以通过具有二烷基氨基的二苯甲酮类化合物增敏，联咪唑化合物断裂，产生咪唑自由基。此时，不发现高的自由基聚合引发能，成为倒锥形那样不适合形状的情况居多。该问题，可以通过在联咪唑化合物与具有二烷基氨基的二苯甲酮类化合物共存的体系中添加硫醇类化合物[E-3]而缓和。由于在咪唑自由基中供给从硫醇化合物到氢自由基，产生中性的咪唑和具有聚合引发能高的硫自由基化合物。因此从倒锥形变成更适合的正锥形的形状。
上述硫醇类化合物[E-3]的使用比例，相对于100重量份化合物[C]，优选以0.1～50重量份，更优选以1～20重量份的比例含有。硫醇类化合物[E-3]的量，不足0.1重量份的情况下存在发生所得隔离物的膜腹部或图案形状不好的倾向，另外，如果超过50重量份，同样地存在发生图案形状不好的倾向。
作为其具体实例，可以列举2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并咪唑、2-巯基-5-甲氧基苯并噻唑、2-巯基-5-甲氧基苯并咪唑等芳香族硫醇、3-巯基丙酸、3-巯基丙酸甲酯、3-巯基丙酸乙酯、3-巯基丙酸辛酯等脂肪族单硫醇。作为2官能或以上的脂肪族硫醇，可以列举3，6-二氧-1，8-辛二硫醇、季戊四醇四(巯基乙酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)等。
其它光聚合引发剂的使用比例，相对于100重量份全光聚合引发剂，优选100重量份或以下，更优选80重量份或以下，特别优选60重量份或以下。此时，其它光聚合引发剂的使用比例如果超过100重量份，恐怕会损害本发明所期望的效果。
-添加剂-感光性树脂组合物(1)中，在无损本发明所期望效果的范围内，根据需要，可以混合上述成分以外的添加剂。
例如，为了提高涂布性，可以混合表面活性剂。该表面活性剂，可以适宜使用氟表面活性剂和硅酮类表面活性剂。
作为氟表面活性剂，可以适宜使用末端、主链和侧链中至少一个部位上具有氟代烷基或氟代亚烷基的化合物，作为其具体实例，可以列举1，1，2，2-四氟辛基(1，1，2，2-四氯丙基)醚、1，1，2，2-四氯辛基己醚、八亚甲基甘二醇二(1，1，2，2-四氯丁基)醚、六亚乙基甘二醇(1，1，2，2，3，3-六氯戊基)醚、八亚丙基甘二醇二(1，1，2，2-四氯丁基)醚、六亚丙基甘二醇二(1，1，2，2，3，3-六氟戊基)醚、全氟十二烷基磺酸钠、1，1，2，2，8，8，9，9，10，10-十氟十二烷、1，1，2，2，3，3-六氟癸烷、氟代烷基苯磺酸钠、氟代烷基磺酸钠、氟代烷基羧酸钠、氟代烷基聚氧乙烯醚、二甘油四(氟代烷基聚氧乙烯醚)、碘化氟代烷基铵、氟代烷基甜菜碱、氟代烷基聚氧乙烯醚、全氟烷基聚氧乙醇、全氟烷基醇盐、氟烷基酯等。
另外，作为这些市售品，可以列举例如BM-1000、BM-1100(以上，BM CHEMIE社制)、メガフアツクF 142D、同F172、同173、同F183、同F178、同F191、同F471、同F476(以上大日本油墨化学工业(株)制)、フロラ-ドFC、170C、FC-171、FC-430、FC-431(以上住友スリ-エム(株)制)、サ-フロンS-112、同S-113、同S-131、同S-141、同S-145、同S-382、同SC-101、同SC-102、同SC-103、同SC-104、同SC-105、同SC-106(以上，旭硝子(株)制)、エフトツプEF301、同303、同352(以上，新秋田化成(株)制)、フタ-ジエントFT-100、同FT-110、同FT-140A、同FT-150、同FT-250、同FT-251、同FTX-251、同FTX-218、同FT-300、同FT-310、同FT-400S(以上，(株)ネオス制)等。
另外，作为硅酮类表面活性剂，可以列举例如以ト-レシリコ-ンDC3PA、同DC7PA、同SH11PA、同SH21PA、同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、同SH-190、同SH-193、同SZ-6032、同SF-8428、同DC-57、同DC-190(以上，东レ·ダウコ-ニング·シリコ-ン(株)制)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460，TSF-4452(以上，GE东芝シリコ-ン(株)制)等商品名销售的产品。
另外，作为上述以外的表面活性剂，可以列举例如聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油醚等聚氧乙烯烷基醚类；聚氧乙烯正辛基苯基醚、聚氧乙烯正壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚类；聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等聚氧乙烯二烷基酯类等非离子类表面活性剂，或作为市售品，可以列举KP341(信越化学工业(株)制)、ポリフロ-No.57、95(共荣社油脂化学工业(株)制)等。
这些表面活性剂，可以单独或混合2种或以上使用。
表面活性剂的混合量，相对于100重量份共聚物[A]，优选为5重量份或以下，进一步优选为2重量份或以下。此时，表面活性剂的混合量如果超过5重量份，涂布时存在容易发生膜粗糙的倾向。
另外，为了进一步提高与基体的粘合性，可以混合粘合助剂。
作为上述粘合助剂，优选为官能性硅烷偶合剂，作为其实例，可以列举具有羧基、甲基丙烯酰基、异氰酸酯基、环氧基等反应性官能基的硅烷偶合剂，更具体地，可以列举三甲氧基甲硅烷基苯甲酸、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基甲硅烷、乙烯基三乙酰氧基甲硅烷、乙烯基三甲氧基甲硅烷、γ-异氰酸酯基丙基三乙氧基甲硅烷、γ-缩水甘油氧基丙基三甲氧基甲硅烷、2-(3，4-环氧基环己基)乙基三甲氧基甲硅烷等。
这些粘合助剂，可以单独或混合2种或以上使用。
粘合助剂的混合量，相对于100重量份共聚物[A]，优选为20重量份或以下，更优选10重量份或以下。此时，粘合助剂的混合量如果超过20重量份，存在容易发生显影残像的倾向。
可以加入其它添加剂。作为保存稳定性的提高等目的而添加。具体地，可以列举硫、醌类、氢醌类、聚氧化合物、胺、亚硝基化合物。作为其实例，可以列举4-甲氧基苯酚、N-亚硝基-N-苯基羟基胺铝等。它们相对于100重量份共聚物[A]优选以3.0重量份或以下，更优选0.001～0.5重量份使用。如果超过3.0重量份的情况下，不能得到足够的敏感度，图案形状也变差。
另外，为了提高耐热性，可以添加N-(烷氧基甲基)乙二醇基脲化合物，N-(烷氧基甲基)三聚氰胺化合物和1个分子中具有2官能和以上环氧基的化合物。作为上述N-(烷氧基甲基)乙二醇脲化合物的具体实例，可以列举N，N，N，N-四(甲氧基甲基)乙二醇脲、N，N，N，N-四(乙氧基甲基)乙二醇脲、N，N，N，N-四(正-丙氧基甲基)乙二醇脲、N，N，N，N-四(异-丙氧基甲基)乙二醇脲、N，N，N，N-四(正-丁氧基甲基)乙二醇脲、N，N，N，N-四(叔-丁氧基甲基)乙二醇脲等。其中，特别地，优选N，N，N，N-四(甲氧基甲基)乙二醇脲。作为上述N-(烷氧基甲基)三聚氰胺化合物的具体实例，可以列举N，N，N，N，N，N-六(甲氧基甲基)三聚氰胺、N，N，N，N，N，N-六(乙氧基甲基)三聚氰胺、N，N，N，N，N，N-六(正丙氧基甲基)三聚氰胺、N，N，N，N，N，N-六(异丙氧基甲基)三聚氰胺、N，N，N，N，N，N-六(正丁氧基甲基)三聚氰胺、N，N，N，N，N，N-六(叔丁氧基甲基)三聚氰胺等。其中特别地，优选N，N，N，N，N，N-六(甲氧基甲基)三聚氰胺。作为这类市售品，可以列举ニカラツクN-2702，MW-30M(以上，为三和ケミカル(株)制)等。
作为1个分子中具有2官能或以上环氧基的化合物，可以列举乙二醇二缩水甘油醚、二乙二醇二缩水甘油醚、聚乙二醇二缩水甘油醚、丙二醇二缩水甘油醚、三丙二醇二缩水甘油醚、聚丙二醇缩水甘油醚、聚丙二醇缩水甘油醚、新戊二醇缩水甘油醚、1，6-己二醇二缩水甘油醚、甘油二缩水甘油醚、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚、加氢双酚A二缩水甘油醚、双酚A二缩水甘油醚等。作为这些市售品的具体实例，可以列举エポライト40E、エポライト100E、エポライト200E、エポライト70P、エポライト200P、エポライト400P、エポライト40E、エポライト1500NP、エポライト1600、エポライト80MF、エポライト100MF、エポライト4000、エポライト3,002(以上，共荣社化学(株)制)等。它们可以单独或2种或以上组合使用。
组合物溶液感光性树脂组合物(1)，在使用时，通常可以将共聚物[A]，聚合性化合物[B]、光聚合引发剂[C]等构成成分溶解在适当溶剂中，配制成组合物溶液。
作为上述组合物溶液配制中使用的溶剂，可以使用可以均匀地溶解构成感光性树脂组合物(1)的各成分，且不与各成分反应的溶剂，作为其具体实例，可以列举与对于制造共聚物[A]的聚合所例示的溶剂相同的溶剂。
这些溶剂中，从各成分的溶解能，与各成分的反应性和涂膜形成的容易性的观点出发，优选使用乙二醇氮烷基醚类、乙二醇氮烷基醚乙酸酯类、二乙二醇烷基醚类和丙二醇单烷基醚乙酸酯类、烷氧基丙酸烷基酯类等。
上述溶剂，可以单独或混合2种或以上使用。
另外，在配制组合物溶液时，可以与上述溶剂一起联合使用高沸点溶剂。
作为上述高沸点溶剂，可以列举例如N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰苯胺、N-甲基乙酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲亚砜、苄基乙基醚、二己基醚、乙炔基丙酮、异佛尔酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苄基醇、乙酸苄酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯、乙二醇单苯基醚乙酸酯等。
这些高沸点溶剂，可以单独或混合2种或以上使用。
这样配制的组合物溶液，根据需要，可以用0.2～0.5μm左右的微孔过滤器等过滤后供使用。
感光性树脂组合物(1)，特别地，适宜作为要形成液晶板或触摸板等像是板使用的隔离物的材料。
显示板用隔离物使用感光性树脂组合物(1)形成显示板用隔离物时，在将组合物溶液涂布到衬底表面后，通过预烘烤除去溶剂，形成涂膜。
作为组合物溶液的涂布方法，可以采用例如喷雾法、滚筒涂布法、旋转涂布法等适宜的方法。
另外，预烘烤的条件，根据各成分的种类、混合比例等而不同，通常，在70～90℃、1～15分钟左右。
然后，在预烘烤的涂膜上，插入规定图案的掩膜并曝光聚合后，通过显影液显影，除去不要的部分形成图案。
作为曝光使用的放射线，适宜选择可见光、紫外线、远紫外线、电子束、X射线等，优选波长在190～450nm范围内的放射线。
作为显影方法，可以列举例如液盛法、浸渍法、中淋法等任何一种，显影时间通常为30～180秒。
作为上述显影液，可以使用例如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅酸钠、甲基硅酸钠、铵等无机碱类；乙胺、正丙胺等脂肪族伯胺类；二乙胺、二正丙胺等脂肪族仲胺；三甲胺、甲基二乙基胺、乙基二甲基胺、三乙胺等叔胺类；二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺等叔烷醇胺类；吡咯、哌啶、N-甲基哌啶、N-甲基吡咯烷、1，8-二氮杂双环[5.4.0]-7-十一碳烯、1，5-二氮杂双环[4.3.0]-5-壬烯等脂环族叔胺类；吡啶、三甲基吡啶、二甲基吡啶、喹啉等芳香族叔胺类；氢氧化四甲基铵、氢氧化四乙基铵等季铵盐等碱性化合物的水溶液。
另外，上述碱性化合物的水溶液中，可以适量添加甲醇、乙醇等水溶性有机溶剂和/或表面活性剂。
显影后，通过例如水洗等，例如洗涤30～90秒，除去不要的部分后，通过吹压缩空气或压缩氮气形成规定的图案。
然后，将该图案通过电热板、电炉等加热装置，在规定温度，例如150～250℃加热规定时间，例如在电热板上5～30分钟，在电炉中例如30～90分钟，通过加热处理，得到目的隔离物。
这里，如果具体例示优选的感光性树脂组合物(1)的组成，则为如下(i)～(vii)所述。
(i)构成共聚物[A]的成分是不饱和羧酸类单体(a1)由选自丙烯酸、甲基丙烯酸和马来酸酐单独或2种或以上的混合物构成，含有环氧基的单体(a2)由选自甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸6，7-环氧庚酯、邻-乙烯基苄基缩水甘油醚、间-乙烯基苄基缩水甘油醚和对-乙烯基苄基缩水甘油醚的单独或2种或以上的混合物构成、其它单体(a3)由丙烯酸2-甲基环己酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸三环[5.2.1.02，6]癸烷-8-基、苯乙烯、对-甲氧基苯乙烯、四氢糠基甲基丙烯酸酯、和1，3-丁二烯的单独或2种或以上的混合物构成的组合物。
(ii)在共聚物[A]中，不饱和羧酸类单体(a1)衍生的重复单元的含有率为5～40重量％，更优选为10～30重量％，由含有环氧基的单体(a2)衍生的重复单元的含有率为10～70重量％，更优选为20～60重量％，其它单体(a3)衍生的重复单元的含有率为10～70重量％，更优选为20～50重量％的上述(i)的组合物。
(iii)聚合性化合物[B]是单官能、2官能或3官能或以上的(甲基)丙烯酸酯类，特别优选3官能或以上的(甲基)丙烯酸酯类的上述(i)或(ii)的组合物。
(iv)光聚合引发剂[C]为O-酰基肟型光聚合引发剂的上述(i)～(iii)中任何一个组合物。
(vii)聚合性化合物[B]的使用量，相对于100重量份共聚物[A]，为50～140重量份，更优选为60～120重量份，光聚合引发剂[C]的使用量，相对于100重量份聚合性化合物[B]，为5～30重量份，更优选为5～20重量份的上述(i)～(vi)中任何一种组合物。
用本发明的感光性树脂组合物(1)是可以提供能够形成在高感光度下忠实再现掩膜图案的设计尺寸，且与衬底的粘合性优异，在150mJ/cm2或以下的曝光量下也可以得到充分的隔离物形状和膜厚，另外强度、耐热性等也优异的显示板用隔离物的感光性树脂组合物。
下面，显示实施例和比较例，更具体地说明本发明，但本发明并不限于这些实施例。
合成例1在具备冷却管、搅拌器的烧瓶中，加入5重量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、200重量份二乙二醇甲基乙基醚，再连续装入18重量份甲基丙烯酸、40重量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、5重量份苯乙烯、32重量份甲基丙烯酸三环[5.2.1.02，6]癸烷-8-基、氮置换后，边缓缓搅拌边加入5重量份1，3-丁二烯，使溶液温度上升至70℃，保持在该温度5小时使其聚合，得到共聚物[A-1]的溶液。
该溶液的固体成分浓度为33.0重量％，共聚物[A-1]的Mw为11,000。
合成例2在具备冷却管、搅拌器的烧瓶中，加入7重量份2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、200重量份二乙二醇甲基乙基醚，再连续装入18重量份甲基丙烯酸、20重量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、5重量份苯乙烯、32重量份甲基丙烯酸三环[5.2.1.02，6]癸烷-8-基、25重量份四氢糠基甲基丙烯酸酯，氮置换后，边缓慢搅拌，边使溶液温度上升至70℃，保持在该温度5小时并使其聚合，得到共聚物[A-2]的溶液。
该溶液的固体成分浓度为33.4重量％，共聚物[A-2]的Mw为9,000。
实施例1组合物溶液的配制将100重量份(固体成分)作为共聚物[A]的合成例1所得共聚物[A-1]溶液、80重量份作为聚合性化合物[B]的KAYARADDPHA(日本化药(株)制)、8重量份作为光聚合引发剂[C]的1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-二环庚基-1-酮肟-O-乙酸酯溶解在丙二醇单甲基醚乙酸酯中使固体成分浓度为35重量％后，用孔径0.2μm的微孔过滤器过滤，配制组合物溶液(S-1)。
(I)隔离物的形成用旋转器将上述组合物涂布在无碱玻璃衬底上后，在90℃电热板上烘烤3分钟形成膜厚6.0μm的涂膜。
在如上所得涂膜上插入10μm角残余图案的掩膜，曝光狭缝为150μm，在波长365nm通过曝光强度300W/m2的紫外线进行曝光。然后，用0.05重量％的氢氧化钠水溶液在25℃，显影60秒后，用纯净水冲洗1分钟。而且，在电炉中，在150℃加热120分钟形成隔离物。
(II)清晰度的评价在上述(I)所得图案中，显影后的残膜率(显影后的膜厚/初期膜厚×100)用在90％或以上感光度下最小图案尺寸进行评价。图案尺寸小即是清晰度良好。
(III)感光度评价上述(I)所得图案中，如果显影后残膜率在90％或以上的感光度为150mJ/cm2或以下，说明感光度良好。
(IV)图案截面形状的评价将上述(I)所得图案的截面形状用扫描型电子显微镜观察的结果，其形状相当于如图1所示的A～C中的一种形状。象A那样图案边缘为顺锥形的情况，说明图案形状良好。象B那样图案边缘是垂直形成的情况，说明图案形状基本良好。
另外，如图1中C所示，为倒锥形(截面形状中膜表面附近比衬底一侧附近长的，倒三角形状)的形状，由于在后面的摩擦工序时图案剥离的可能性非常高，因此这样的形状不好。
(V)压缩强度的评价上述(I)所得的隔离物压缩强度用微型压缩试验机(MCTM-200，(株)岛津制作所制)评价。通过直径50μm的平面压锤，测定施加10mN的荷重时的变形量(测定温度23℃)。该值在0.5或以下时，压缩强度为良好。结果示于表2。
(VI)耐磨性评价用液晶取向膜涂布用印刷机将作为液晶取向剂的AL3046(ジエイ·エス·ア-ル(株)制)涂布在上述(I)所得衬底上，在180℃干燥1小时，形成干燥膜厚为0.05μm的取向剂涂膜。
在该涂膜上，通过具有卷有尼龙布的滚筒的摩擦机，以滚筒旋转数500rpm、阶梯移动速度1cm/秒进行摩擦处理。此时隔离物图案的切削或剥离的有无示于表2。
(VII)粘合性的评价除不使用图案掩膜外，与上述(I)同样地实施，形成粘合性评价用固化膜，进行粘合性试验。试验法根据JIS K-5400(1900)8.5的粘合性试验中，8.5·2的网纹带法。此时，残余的网纹数示于表2。
(VIII)保存稳定性的评价配制组合物后在-15℃保存，与上述(III)感光度评价相同地追踪显影后的残膜率在90％或以上所必须的曝光量的经时变化，测定保存后3个月后的感光度与刚配制后的感光度相比的相对值。
实施例2～18，比较例1～10在实施例1中，除作为[A]成分～[E]成分，以表1所记载的种类、量使用外，与实施例1同样地，配制组合物溶液，形成隔离物，评价。[B]～[E]的添加量是相对于100重量份聚合性化合物[A]的重量比。
表1中，成分的简称表示下列化合物。
(B-1)KAYARAD DPHA(日本化药(株)制)(B-2)KAYARAD DPHA-40H(日本化药(株)制)(C-1)1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-二环庚基-1-酮肟-O-乙酸酯(C-2)1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-四氢呋喃基甲烷-1-酮肟-O-乙酸酯(C-3)1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-二环庚烷羧酸酯(C-4)1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-三环癸烷羧酸酯(C-5)1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-金刚烷基羧酸酯(C-6)1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-四氢呋喃基甲烷-1-酮肟-O-二环庚烷羧酸酯(C-R)1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-乙酸酯(チバ·スペシヤルテイ-·ケミカルズ社制CGI-242)(D-1)2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮(チバ·スペシヤルテイ-·ケミカルズ社制イルガキユア907)(D-2)2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮-1(チバ·スペシヤルテイ-·ケミカルズ社制イルガキユア369)(E-1)2，2’-双(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑(E-2)4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮(E-3)2-巯基苯并噻唑表1中，记号“-”表示未添加该成分。
评价结果如表2所示。
表1

表2

权利要求
1.感光性树脂组合物，其特征在于该组合物含有[A](a1)乙烯性不饱和羧酸和/或乙烯性不饱和羧酸酐和(a2)含有环氧基的乙烯性不饱和化合物和(a3)其它乙烯性不饱和化合物的共聚物，[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物，以及[C]由下述式(1)所表示的化合物构成的光聚合引发剂 式(1)中，R1，R2分别为选自氢原子、碳原子1数1～20的烷基、碳原子数3～8的环烷基、苯基(但可以被碳原子数1～6的烷基、碳原子数1～6的烷氧基、苯基和卤素原子的至少一个或以上取代)、碳原子数7～20的脂环基(アリサイクリツク)(上述环烷基除外)、碳原子数4～20的含氧杂环基、碳原子数4～20的含氮杂环基、碳原子数4～20的含氧杂环基、碳原子数4～20的含硫杂环基的官能基；但R1，R2中的任何一个是碳原子数13～20的烷基、碳原子数7～20的脂环基(上述环烷基除外)、碳原子数4～20的含氧杂环基、碳原子数4～20的含氮杂环基、碳原子数4～20的含氧杂环基、碳原子数4～20的含硫杂环基；R3表示氢原子或碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基，R4，R5和R6表示氢原子或碳原子数1～6的直链状、支链状或环状的烷基。
2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物形成的显示板用隔离物。
3.具备如权利要求2所述的显示板用隔离物的显示板。
全文摘要
本发明提供显示板用隔离物的感光性树脂组合物。感光性树脂组合物含有[A](a1)乙烯性不饱和羧酸和/或乙烯性不饱和羧酸酐，(a2)含有环氧基的乙烯性不饱和化合物和(a3)其它乙烯性不饱和化合物的共聚物；[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物；[C]由下述式(1)所表示的化合物构成的光聚合引发剂式中，R
文档编号G03F7/027GK1725086SQ20051007761
公开日2006年1月25日 申请日期2005年6月17日 优先权日2004年7月20日
发明者一户五吾, 梶田彻 申请人:Jsr株式会社