1.一种低介电常数微波介质陶瓷材料,其特征在于,包括以质量计的以下组分:
主料,所述主料含量为75-85wt%,所述主料为r掺杂的zn2sio4,其中,r包括nb、sm、la、nd中的一种或多种,r的含量为si的摩尔含量的0.01-0.1倍;
辅料,所述辅料为tio2,所述辅料含量为10-17wt%;
烧结助剂,所述烧结助剂包括sio2、na2o和b2o3中的一种或多种,所述烧结助剂含量为1-10wt%。
2.如权利要求1所述的低介电常数微波介质陶瓷材料,其中,以sio2、na2co3、h3bo3为相应原料引入所述烧结助剂。
3.如权利要求1或2所述的低介电常数微波介质陶瓷材料,其中,所述低介电常数微波介质陶瓷材料介电常数为8-11、品质因数大于40000、谐振频率温度系数τf为-35~0ppm/℃。
4.如权利要求1-3所述的低介电常数微波介质陶瓷材料的制备方法,包括:
(1)按所需化学组成,称取相应的zn源、si源和r源,混合、球磨、研磨分散、干燥、过筛后煅烧,煅烧温度为1040-1060℃,煅烧时间为3-5h,合成所述主料;
(2)将主料、辅料和烧结助剂按照配方配料,混合、球磨、研磨分散,向研磨分散后的浆料中加入粘结剂、脱模剂和消泡剂,充分混合后进行喷雾造粒;
(3)对造粒后的物料进行成型、排胶和烧结,烧结温度为1000-1100℃,得到所述低介电常数微波介质陶瓷材料。
5.如权利要求4所述的低介电常数微波介质陶瓷材料的制备方法,其中,所述步骤(1)中,所述zn源为zno,所述si源为sio2,所述r源为nb2o5、sm2o3、la2o3、nd2o3中的一种或多种。
6.如权利要求4所述的低介电常数微波介质陶瓷材料的制备方法,其中,所述步骤(2)中,以sio2、na2co3、h3bo3为原料引入所述烧结助剂。
7.如权利要求4所述的低介电常数微波介质陶瓷材料的制备方法,其中,所述步骤(2)中,所述粘结剂为聚乙烯醇、聚乙二醇、丙烯酸类粘结剂中的两种或者三种。
8.如权利要求4所述的低介电常数微波介质陶瓷材料的制备方法,其中,所述步骤(2)中,粘结剂含量为3-9wt%。
9.一种陶瓷元器件,其包括如权利要求1-3任一所述的低介电常数微波介质陶瓷材料。
10.如权利要求9所述的陶瓷元器件,其中,所述陶瓷元器件包括介质谐振天线、滤波器、双工器。