专利名称：超声波矽晶镀膜设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种矽晶镀膜设备，特别是一种超声波矽晶镀膜设备。
背景技术：
矽晶镀膜技术是利用物理、化学手段将矽晶的表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使得该矽晶表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、绝缘等作用。公知的矽晶镀膜技术，是将镀膜液放在矽晶上，再利用转盘旋转的离心力在矽晶片上镀膜，如果镀膜液中有气泡产生，则会使得该镀膜完成的产品产生瑕疵，但又无法预防其镀膜液不会产生气泡，所以公知的镀膜技术，其良率一直无法提升。
发明内容为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型提供了一种超声波矽晶镀膜设备，尤指一种消除气泡的超声波镀膜设备。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:本实用新型提供了一种超声波矽晶镀膜设备，尤指一种消除气泡的超声波镀膜设备。本实用新型包含有:一个转盘、一个超声波震荡器。其中转盘设有一个真空吸附盘面，该超声波震荡器设置在转盘的底部，借此，欲进行镀膜的矽晶片得以放在转盘的真空吸附盘面上，再启动真空吸附盘面真空吸附矽晶片，其后在矽晶片上放上镀膜液，在转盘离心旋转的镀膜过程前，该超声波震荡器先以超声波震荡矽晶片，使得气泡被震离镀膜液，达到可消除气泡的功效。当转盘旋转时，得以带动砂晶片一起旋转，旋转的过程中会产生离心力，此时如果矽晶片的顶面有镀膜液时，该镀膜液会往离心力方向运动，而达到镀膜的目的，但是会有气泡产生，所以超声波震 荡器以超声波震荡该矽晶片，使气泡被震离镀膜液，最后被消除，达到提升良率的目的。本实用新型的有益效果是:消除气泡，提高镀膜产品的良率。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的超声波 夕晶锻I吴设备俯视不意图。图2是本实用新型的超声波矽晶镀膜设备镀膜前示意图。图3是本实用新型的超声波矽晶镀膜设备镀膜后示意图。图中1.转盘，2.超声波震荡器，3.矽晶片，4.真空吸附盘面，5.镀膜液，
6.气泡。
具体实施方式
如
图1所示，本实用新型提供了一种超声波矽晶镀膜设备，包含有:一个转盘1，该转盘I设有一个真空吸附盘面4 ; 一个超声波震荡器2，该超声波震荡器2设置在转盘I的底部。如图2和图3所示，借此，欲进行镀膜的矽晶片3得以放在转盘I的真空吸附盘面4上，再启动真空吸附盘面4真空吸附矽晶片3，其后在矽晶片3上放上镀膜液5，在转盘I离心旋转的镀膜过程前，该超声波震荡器2先以超声波震荡矽晶片3，使得气泡被震离镀膜液，达到可消除气泡6 的功效。
权利要求1.一种超声波矽晶镀膜设备，包括一个转盘及一个超声波震荡器，其特征是:所述转盘设有一个真空吸 附盘面；所述超声波震荡器设置在转盘的底部。
专利摘要本实用新型提供了一种超声波矽晶镀膜设备，尤指一种消除气泡的超声波镀膜结构。本实用新型包含有一个转盘、一个超声波震荡器。其中转盘设有一个真空吸附盘面，该超声波震荡器设置在转盘的底部，借此，欲进行镀膜的矽晶片得以放在转盘的真空吸附盘面上，再启动真空吸附盘面真空吸附矽晶片，其后在矽晶片上放上镀膜液，在转盘离心旋转的镀膜过程前，该超声波震荡器先以超声波震荡矽晶片，使得气泡被震离镀膜液，达到可消除气泡的功效。
文档编号B05C11/00GK203140255SQ20132015832
公开日2013年8月21日 申请日期2013年4月2日 优先权日2013年4月2日
发明者薛振峰 申请人:薛振峰