盘110的各半导体元件而设有测试室140。
[0035]作为将位于测试室140内的、装载于测试托盘110的各半导体元件推向与测试室140侧结合的测试器(TESTER)侧使得各半导体元件与测试器电连接的连接装置而设有推进装置150。
[0036]为了将从测试室140输送而来的、装载于测试托盘110的、经加热或冷却的各半导体元件回归到常温而设有退均热室160。
[0037]卸载器170是将从退均热室160输送至卸载位置UP (UNL0ADINGP0SIT10N)的、装载于测试托盘I1的各半导体元件按照测试等级进行分类，并卸载(UNLOADING)到卸载板up上的空着的用户托盘CT的拾放装置。
[0038]作为参考，装载板Ip上的用户托盘CT与卸载板up上的用户托盘CT其构造或形态均相同，之所以使符号相异，仅仅是为了明确装载位置与卸载位置而已。
[0039]清洁器180在半导体元件由卸载器170而装填至用户托盘CT之前，从用户托盘CT真空吸入异物而去除用户托盘CT的异物。就这种清洁器180而言，由于升降器210介入卸载器170侧而结合，因而能够随卸载器170的移动而一起移动。因此，由于清洁器180能够向作为清扫对象的用户托盘CT移动，因而能够进行处于停止状态的用户托盘CT的清扫。图2是对于图1中包括卸载器170和清洁器180的主要部位的概略剖视图。参照图2，与卸载器170结合的清洁器180包括真空吸入部分181和集尘部分182。当然，还可以是清洁器直接与卸载器结合的方式的例。
[0040]如图3所示，由于在真空吸入部分181的底面形成有多个吸入孔h，因而由真空吸入部分181内部的真空压力而吸入位于下侧的用户托盘CT上的异物。
[0041]集尘部分182设置于真空吸入部分181的一侧，上侧部位提供通过吸入孔h所吸入的空气的移动通道W，下侧部位提供腔室，自从吸入孔h侧向弯曲之后上升的空气的移动通道W因自重而自由下落的异物汇集于所述腔室。这里，空气的移动通道最终能够与工厂(TEST HOUSE)的真空管线连接或与另行设置的真空泵连接。
[0042]元件确认器190确认在停止于卸载板up上的用户托盘CT是否残存半导体元件。这种元件确认器190能够以摄像机构成。由此，清洁器180的工作是在通过元件确认器190来确认出用户托盘CT处于被空出的状态的情况下进行。
[0043]为了使清洁器180相对于卸载器170进行升降而设有升降器210。因此，在须卸载器170工作的情况下清洁器180上升而不妨碍卸载作业，在须清洁器180工作的情况下清洁器180下降从而其清扫作业不会由卸载器170所影响。能够以上下方向为长度方向的直线滑动导轨和气缸来具备这种升降器210，或者适用马达而具备这种升降器210，这种升降器210能够大体上位于卸载器170与清洁器180之间。
[0044]另一方面，可以理解成图2是对于在作为拾放装置的卸载器170结合有清洁器180和元件确认器190的新的半导体元件移动装置的构造。即、根据本发明，由于不仅具备拾放装置还具备清洁器和元件确认器，因此，提示一种能够将用户托盘的清扫和半导体元件移动作业一并进行的新方式的半导体元件移动装置。
[0045]因此，如图4所示，还能够以在装载器120 '结合有清洁器180'、元件确认器190 ,、以及升降器210 '的方式的半导体元件移动装置来具体实现本发明。在该情况下，在停止于装载板上的用户托盘CT由装载器120 '的作业所腾出之后，通过清洁器180 '能够进行异物去除作业。
[0046]进而根据本发明，由于清洁器180、180 '能够向多种载置要素的上侧位置移动，因而只要是拾放装置所能够移动的位置，则不仅对于用户托盘CT能够进行清扫，而且对于如测试托盘、对准器、缓冲器、以及分拣台等那样的多种载置要素也能够进行清扫。
[0047]如上所述，根据本发明，对于清洁器180、180 '赋予移动性并与拾放装置的移动性结合，从而不仅能够具体实现清扫功能并最大限度地简化设计，而且能够对于所有载置要素进行清扫。
[0048]如上所述，虽然通过参照了附图的实施例进行了对于本发明的具体说明，但上述的实施例只是举出优选例子来说明了本发明而已，因此，不应当理解为本发明局限于上述的实施例，而应当理解为本发明的权利范围由所附的权利要求书及其等价概念所决定。
【主权项】
1.一种半导体元件测试用分选机，其特征在于，包括: 装载器，其将半导体元件从用户托盘装载至测试托盘； 连接装置，其使由上述装载器而结束了装载的测试托盘的各半导体元件与测试器电连接; 卸载器，其若由上述连接装置而与测试器电连接的各半导体元件的测试结束，则将半导体元件从测试托盘卸载至用户托盘；以及， 清洁器，其对于在各半导体元件由上述装载器所腾出之后处于停止状态的用户托盘进行异物去除，或对于在半导体元件由上述卸载器所装填之前处于停止状态的用户托盘进行异物去除。
2.根据权利要求1所述的半导体元件测试用分选机，其特征在于， 上述清洁器与上述装载器或上述卸载器结合而与上述装载器或上述卸载器一起移动。
3.根据权利要求2所述的半导体元件测试用分选机，其特征在于， 进一步包括用于使上述清洁器相对于上述装载器或上述卸载器进行升降的升降器。
4.根据权利要求1所述的半导体元件测试用分选机，其特征在于， 上述清洁器包括: 从用户托盘真空吸入异物的真空吸入部分；以及， 由上述真空吸入部分所吸入的异物自由下落而汇集的集尘部分。
5.根据权利要求1所述的半导体元件测试用分选机，其特征在于， 进一步包括确认在处于停止状态的用户托盘上是否残存半导体元件的元件确认器， 上述清洁器在通过上述元件确认器而确认出用户托盘已空出的情况下工作。
【专利摘要】本发明涉及半导体元件测试用分选机。根据本发明，在分选机的拾放装置结合用于从用户托盘等的载置要素去除异物的清洁器。通过如上所述的构成，本发明不仅能够清扫处于停止状态的空着的载置要素，而且其设置简单，且具有能够使清洁器设置空间最小化的优点。
【IPC分类】B07C5-00
【公开号】CN104785450
【申请号】CN201410691161
【发明人】权宁镐, 李孝玟
【申请人】泰克元有限公司
【公开日】2015年7月22日
【申请日】2014年11月26日