专利名称：一种制备浮栅的方法
技术领域：
本发明涉及半导体集成电路及其制造领域，尤其涉及一种制备浮栅的方法。
背景技术：
随着闪存器件尺寸的减少，浮栅(Floating Gate,简称FG)的长度也越来越小,如
0.12um闪存的浮栅长度只有0. 12um，而到了 65nm及其以下时，浮栅的长度也会缩小到70nm以下。在制备工艺中，形成浅沟道隔离层图案和浮栅的制备是同时进行，后续工艺是隔离层高温氧化和退火(STI linear oxide and anneal)工艺，通常环境温度会在1000°C以上，由于此时浮栅的侧壁是露在外面的，且浮栅为重掺杂，所以在高温氧化和退火条件下，氧原子会横向扩散，这样就会导致浮栅下面氧化层出现类似于LOCOS工艺中的鸟嘴效应(bird’ s beak or smiling effect),从而造成栅氧化层厚度不均勻，以致影响到最终器件的编程能力。图I是本发明背景技术中标准叠栅存储器的横截面结构示意图，图2是本发明背景技术中标准叠栅存储器的俯视结构示意图；如图1-2所示，标准叠栅存储器的结构为衬底11，衬底11上嵌入设置有STI，栅氧化层(Gate Oxide,简称GO) 12覆盖衬底11的上表面，浮栅(Floating Gate,简称FG)13覆盖栅氧化层12的上表面，多晶娃间氧化层(InterpolyOxide，简称IP0) 14覆盖浮栅13和STI的上表面，控制栅(Control Gate，简称CG) 15覆盖多晶硅间氧化层14的上表面。图3是本发明背景技术中L0C0S工艺中常遇到的鸟嘴效应的结构示意图；如图3所示，覆盖在硅衬底21上表面的垫氧化层由于被氮氧化硅层25和氮化硅层24部分覆盖，未被氮化硅层24掩蔽氧化的垫氧化层被选择性氧化形成较厚二氧化硅层22，这样在二氧化硅层22和未被氧化的的垫氧化层23之间就形成鸟嘴区26。图4-8是本发明背景技术中传统的浮栅制备工艺流程结构示意图；如图4-8所示，在硅衬底31上依次淀积栅氧化物层32、浮栅33和氮化硅层34，旋涂光刻胶曝光显影后去除剩余光刻胶形成光阻35，以光阻35为掩膜依次刻蚀氮化硅层34、浮栅33、栅氧化物层32及部分硅衬底31，去除光阻35形成浅沟槽隔离层(STI )，继续高温氧化退火工艺，以修复衬底刻蚀中的损伤(damage)，形成于STI的底部及其侧壁上形成氧化层36，同时在STI侧壁附近的剩余浮栅331被氧化形成氧化物层，从而形成鸟嘴区35，继续HDP或HARP填充工艺。由于在高温氧化退火工艺步骤中，刻蚀剩余浮栅331的侧壁是露在外面的，所以出现鸟嘴效应，导致浮栅下面的厚度出现不均匀，造成器件的编程能力受到影响。
发明内容
本发明公开了一种制备浮栅的方法，其中，包括以下步骤
步骤SI :在一衬底上依次沉积栅氧化物层、浮栅和氮化硅层，所述栅氧化物层覆盖衬底的上表面，所述浮栅覆盖所述栅氧化物层的上表面，所述氮化硅层覆盖所述浮栅的上表面；
步骤S2 :采用光刻エ艺，在所述氮化硅层的上表面形成光阻，并以该光阻为掩膜依次刻蚀所述氮化硅层、浮栅和栅氧化物层至硅衬底；
步骤S3 :去除所述光阻后，形成凹槽，并沉积氧化硅层覆盖剩余氮化硅层上表面和所述凹槽的底部及其侧壁；
步骤S4 :继续刻蚀エ艺刻蚀所述硅衬底，形成STI后，并依次进行高温氧化热退火エ艺和填充エ艺。上述的制备浮栅的方法，其中，所述步骤S3中采用低温原子沉积エ艺沉积所述氧
化娃层。上述的制备浮栅的方法，其中，所述低温原子沉积エ艺的温度为30(T50(TC，所述氧化硅层的厚度为10(Γ500Α。上述的制备浮栅的方法，其中，所述步骤S4中刻蚀所述硅衬底的刻蚀选择比大于50:1。上述的制备浮栅的方法，其中，所述填充エ艺为高密度等离子体填充エ艺或高深宽比填充エ艺。上述的制备浮栅的方法，其中，所述高密度等离子体填充エ艺的填充物为氧化硅。上述的制备浮栅的方法，其中，所述栅氧化物层的厚度为9(Γ110Α。上述的制备浮栅的方法，其中，所述浮栅的高度为20(Γ600Α。上述的制备浮栅的方法，其中，所述浮栅的掺杂度为5E19 5E20/cm2。上述的制备浮栅的方法，其中，所述高温氧化热退火エ艺的温度为950 1200で。综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明提出一种制备浮栅的方法，通过采用在硅衬底上依次沉积栅氧化层、浮栅、氮化硅以后，蚀刻氮化硅、浮栅层、氧化层，并停在硅衬底上，去除光阻后，采用低温原子层沉积(ALD)法沉积ー层氧化层，然后以前面エ艺形成的图案作为阻挡层继续蚀刻硅衬底，由于采用大于50 1的刻蚀选择比使得所用的蚀刻エ艺具有各向异性，在浮栅的侧壁形成氧化硅保护膜，使得在后续的高温エ艺之后浮栅下面的氧化层厚度是均匀的，从而有效地保证了器件编程(program)的性能。
图I是本发明背景技术中标准叠栅存储器的横截面结构示意 图2是本发明背景技术中标准叠栅存储器的俯视结构示意 图3是本发明背景技术中LOCOSエ艺中常遇到的鸟嘴效应的结构示意 图4-8是本发明背景技术中传统的浮栅制备エ艺流程结构示意 图9-15是本发明一种制备浮栅的方法的エ艺流程结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式
作进ー步的说明
图9-15是本发明一种制备浮栅的方法的エ艺流程结构示意图。如图9-15所示，首先，在硅衬底41上依次沉积厚度为9(TllOA的栅氧化物层42覆盖衬底41的上表面，沉积高度为20(Γ600Α的浮栅43覆盖栅氧化物层42的上表面，沉积氮化硅层44覆盖浮栅43的上表面；其中，浮栅43的掺杂度为5E19飞E20/cm2。其次，旋涂光刻胶覆盖氮化硅层44的上表面，曝光显影后，去除剩余光刻胶形成部分覆盖氮化硅层44的上表面的光阻45，并以该光阻45为掩膜，依次刻蚀氮化硅层44、浮栅43和栅氧化物层42至硅衬底41。然后，去除光阻45后，形成凹槽46，并采用温度为30(T500°C的低温原子层沉积工艺(Atomic Layer Deposition,简称ALD)沉积厚度为100 500A的氧化娃层47,该氧化娃 层47覆盖覆盖刻蚀剩余的氮化硅层441的上表面和凹槽46的底部及其侧壁。最后，以上述工艺形成图案为掩膜，采用刻蚀选择比大于50:1的刻蚀工艺部分刻蚀硅衬底41，于凹槽46下方形成浅沟槽48后，进行温度为95(T120(TC的高温氧化热退火工艺，形成覆盖在浅沟槽底部及其侧壁上的氧化层49，以修复刻蚀后剩余衬底411的损伤(damage)，并采用高密度等离子体填充工艺(High Density Plasma，简称HDP)或高深宽比填充工艺(high aspect ratio process,简称HARP)对浅沟槽进行填充,形成充满浅沟槽48并覆盖剩余的氮化硅层441和氧化硅侧壁保护膜471上表面的氧化物层50。其中，采用高密度等离子体填充工艺时的填充物为氧化硅。由于，采用大于50 1的刻蚀选择比使得刻蚀硅衬底41的蚀刻工艺具有各向异性，以在剩余浮栅431的侧壁上形成氧化硅侧壁保护膜471，使得在后续的高温工艺时剩余浮栅431得到保护不被氧化，即在后续工艺之后，剩余浮栅431下面的刻蚀剩余的氧化层421的厚度是均匀的，从而有效地避免了鸟嘴效应的产生，进而保证了器件编程(program)的性能。综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明提出一种制备浮栅的方法，通过采用在硅衬底上依次沉积栅氧化层、浮栅、氮化硅以后，蚀刻氮化硅、浮栅层、氧化层，并停在硅衬底上，去除光阻后，采用低温原子层沉积(ALD)法沉积一层氧化层，然后以前面工艺形成的图案作为阻挡层继续蚀刻硅衬底，由于采用大于50 1的刻蚀选择比使得所用的蚀刻工艺具有各向异性，在浮栅的侧壁形成氧化硅保护膜，使得在后续的高温工艺之后浮栅下面的氧化层厚度是均匀的，从而有效地保证了器件编程的性能。通过说明和附图，给出了具体实施方式
的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。
权利要求
1.一种制备浮栅的方法，其特征在于，包括以下步骤 步骤SI :在一衬底上依次沉积栅氧化物层、浮栅和氮化硅层，所述栅氧化物层覆盖衬底的上表面，所述浮栅覆盖所述栅氧化物层的上表面，所述氮化硅层覆盖所述浮栅的上表面； 步骤S2:采用光刻工艺，在所述氮化硅层的上表面形成光阻，并以该光阻为掩膜依次刻蚀所述氮化硅层、浮栅和栅氧化物层至硅衬底； 步骤S3 :去除所述光阻后，形成凹槽，并沉积氧化硅层覆盖剩余氮化硅层上表面和所述凹槽的底部及其侧壁； 步骤S4 :继续刻蚀工艺刻蚀所述硅衬底，形成STI后，并依次进行高温氧化热退火工艺和填充工艺。
2.根据权利要求I所述的制备浮栅的方法，其特征在于，所述步骤S3中采用低温原子沉积工艺沉积所述氧化硅层。
3.根据权利要求2所述的制备浮栅的方法，其特征在于，所述低温原子沉积工艺的温度为30(T500°C，所述氧化硅层的厚度为10(Γ500Α。
4.根据权利要求3所述的制备浮栅的方法，其特征在于，所述步骤S4中刻蚀所述硅衬底的刻蚀选择比大于50: I。
5.根据权利要求4所述的制备浮栅的方法，其特征在于，所述填充工艺为高密度等离子体填充工艺或高深宽比填充工艺。
6.根据权利要求5所述的制备浮栅的方法，其特征在于，所述高密度等离子体填充工艺的填充物为氧化硅。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的制备浮栅的方法，其特征在于，所述栅氧化物层的厚度为9(Γ110Α。
8.根据权利要求7所述的制备浮栅的方法，其特征在于，所述浮栅的高度为20(Γ600Α。
9.根据权利要求8所述的制备浮栅的方法，其特征在于，所述浮栅的掺杂度为5Ε19 5E20/cm2。
10.根据权利要求9所述的制备浮栅的方法，其特征在于，所述高温氧化热退火工艺的温度为 95(Tl200°C。
全文摘要
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种制备浮栅的方法。本发明提出一种制备浮栅的方法，通过采用在硅衬底上依次沉积栅氧化层、浮栅、氮化硅以后，蚀刻氮化硅、浮栅层、氧化层，并停在硅衬底上，去除光阻后，采用低温原子层沉积(ALD)法沉积一层氧化层，然后以前面工艺形成的图案作为阻挡层继续蚀刻硅衬底，由于采用大于501的刻蚀选择比使得所用的蚀刻工艺具有各向异性，在浮栅的侧壁形成氧化硅保护膜，使得在后续的高温工艺之后浮栅下面的氧化层厚度是均匀的，从而有效地保证了器件编程的性能。
文档编号H01L21/28GK102623319SQ20121007772
公开日2012年8月1日 申请日期2012年3月22日 优先权日2012年3月22日
发明者肖海波 申请人:上海华力微电子有限公司