一种氧化物半导体薄膜晶体管及其制作方法与流程

本发明涉及一种半导体技术，特别是一种氧化物半导体薄膜晶体管及其制作方法。

背景技术：

氧化物半导体具有比非晶硅更高的迁移率，比LTPS更好的均一性，可用于大尺寸显示器，顶栅结构比底栅具有更小的寄生电容。

顶栅结构源极和漏极与氧化物半导体有较大的电阻，目前一般的做法有使用等离子体处理(plasma treatment)或使氧化物半导体层直接接触含氢量高的材料而产生氢扩散，以使部分预计与源极/漏极接触的氧化物半导体层的区域的电阻率降低。然而，上述的等离子体处理方式容易造成被处理后的氧化物半导体层的阻值状况不稳定，而直接接触含氢量高的材料以产生氢扩散的方式则不易控制其扩散范围，容易造成原本要当作传导区的氧化物半导体层易受到扩散影响而严重地影响到薄膜晶体管的元件特性。

技术实现要素：

为克服现有技术的不足，本发明提供一种氧化物半导体薄膜晶体管及其制作方法，不仅提高了产品的稳定性而且减小了源极和漏极的寄生电容，提高了开口度。

本发明一方面提供了一种氧化物半导体薄膜晶体管，包括基板，所述基板上设有图形化的氧化物半导体层，在氧化物半导体层上沉积栅极绝缘层，栅极绝缘层上形成有图案化的栅极层，在氧化物半导体层的一侧上设有覆盖在氧化物半导体层上的第一道氧化铟锡层，氧化物半导体层的另一侧设置有像素电极，在氧化铟锡层、栅极层以及像素电极上沉积有层间绝缘层，在层间绝缘层上刻蚀有过孔，并在层间绝缘层的一侧沉积出图形化的第二道金属层，在第二道金属层上沉积有钝化层并刻蚀有过孔，所述钝化层上沉积共同电电极层。

进一步地，所述栅极层为氮化硅、氧化硅或铝的氧化物的一种或两种的组合。

进一步地，所述栅极绝缘层的厚度为50nm-400nm。

进一步地，所述基板为玻璃材料。

本发明另一方面提供了一种氧化物半导体薄膜晶体管的制作方法，包括如下步骤：

步骤一、在基板上采用物理气相沉积方式沉积氧化物半导体层，并进行图形化；

步骤二、采用等离子体增强型化学气相沉积方式在氧化物半导体层和基板上形成栅极绝缘层；

步骤三、在栅极绝缘层上通过物理气相沉积方式形成覆盖整个栅极绝缘层的栅极层；

步骤四、采用光刻工艺在栅极层上做出图形，使栅极层上形成光阻；

步骤五、通过刻蚀工艺刻蚀掉未被光阻保护的栅极层和栅极绝缘层；

步骤六、采用物理气相沉积方式，沉积出第一道的氧化铟锡层；

步骤七、通过光阻剥离机剥离栅极层上的光阻以及氧化铟锡层后，形成像素电极；

步骤八、通过光刻工艺和湿法刻蚀工艺，去除多余的氧化铟锡层；

步骤九、采用等离子体增强型化学气相沉积方式沉积层间绝缘层，沉积过后采用物理气相沉积方式沉积第二道金属层并采用刻蚀工艺对第二道金属层进行图形化处理，采用等离子体增强型化学气相沉积方式沉积钝化层并刻蚀过孔，最后通过物理气相沉积方式沉积共同电极层并依次通过光刻工艺、湿法刻蚀工艺、光阻剥离工艺对共同电极层进行图形化处理，得到氧化物半导体薄膜晶体管。

进一步地，步骤二中栅极绝缘层的厚度为50nm-400nm。

进一步地，步骤五中刻蚀工艺采用湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺，或者采用干法刻蚀工艺。

进一步地，步骤九中刻蚀工艺采用湿法刻蚀工艺或者干法刻蚀工艺。

进一步地，步骤五中栅极层刻蚀完成后，保留上面的光阻进行氧化铟锡成膜，所述氧化铟锡的厚度在10nm-200nm。

进一步地，步骤三中栅极层为氮化硅、氧化硅或铝的氧化物的一种或两种的组合。

本发明与现有技术相比，在半导体源极和漏极两端不做等离子体处理和直接接触含氢量高的材料的情况下，减少了半导体源极和漏极两端的电阻率，既保障了电阻率小的需求，而且不会对沟道半导体层产生影响，从而提高了产品的稳定性；再者本方法中第一道氧化铟锡与栅极具有自对准结构，从而减小了两者的寄生电容，提高了开口度。

附图说明

图1是本发明步骤一基板上形成氧化物半导体层的示意图。

图2是本发明步骤二沉积栅极绝缘层的示意图。

图3是本发明步骤三沉积栅极层的示意图。

图4是本发明步骤四光刻做出图形的示意图。

图5是本发明步骤五刻蚀未被光阻保护的栅极和栅极绝缘层后的示意图。

图6是本发明步骤六沉积第一道氧化铟锡的示意图。

图7是本发明步骤七剥离栅极上的光阻和氧化铟锡的示意图。

图8是本发明步骤八去掉多余氧化铟锡的示意图。

图9是本发明步骤九沉积层间绝缘层、第二道金属层以及共同电极层的示意图。

图10是本发明做完第二道金属层后的氧化物半导体薄膜晶体管的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

如图9和图10所示，本发明的氧化物半导体薄膜晶体管，包括基板1，所述基板1上设有图形化的氧化物半导体层2，在氧化物半导体层2上沉积有栅极绝缘层9，栅极绝缘层9上形成有图案化的栅极层5，在氧化物半导体层2的一侧上设有覆盖在氧化物半导体层2上的第一道的氧化铟锡层4，氧化物半导体层2的另一侧设置有像素电极3，像素电极3上集成有漏极，在氧化铟锡层4、栅极层5以及像素电极3上沉积有层间绝缘层10，在层间绝缘层10上刻蚀有过孔，并在层间绝缘层10的一侧沉积出图形化的第二道金属层6(源极)，在金属层6上沉积有钝化层7并刻蚀有过孔，所述钝化层7上沉积有共同电电极层8。

所述栅极层5为氮化硅、氧化硅、铝的氧化物的一种或两种的组合。

所述栅极绝缘层9的厚度为50nm-400nm。

所述基板为玻璃材料。

一种氧化物半导体薄膜晶体管的制作方法，包括如下步骤：

步骤一、在基板上采用现有技术的物理气相沉积方式沉积氧化物半导体层2，并进行图形化(图1所示)；

步骤二、采用现有技术的等离子体增强型化学气相沉积方式在氧化物半导体层2和基板上形成栅极绝缘层9(图2所示)，栅极绝缘层9的厚度为50nm-400nm；

步骤三、在栅极绝缘层9上通过现有技术的物理气相沉积方式形成覆盖整个栅极绝缘层9的栅极层5(图3所示)；

步骤四、采用光刻工艺在栅极层5上做出图形，使栅极层5上形成光阻11(图4所示)；

步骤五、通过现有技术的湿法刻蚀工艺和现有技术的干法刻蚀工艺，或者直接通过现有技术的干法刻蚀工艺刻蚀掉未被光阻保护的栅极层5和栅极绝缘层9(图5所示)；

步骤六、采用现有技术的物理气相沉积方式，沉积出第一道的氧化铟锡层4(图6所示)；

步骤七、通过光阻剥离机剥离栅极层5上的光阻以及氧化铟锡4，从而使氧化铟锡4与栅极层5自对准，寄生电容很小，能增加开口率，在剥离光阻已经氧化铟锡侯，形成像素电极3，像素电极3上集成有漏极(图7所示)；

步骤八、通过光刻工艺和湿法刻蚀工艺，去除多余的氧化铟锡层4(图8所示)；

步骤九、采用现有技术的等离子体增强型化学气相沉积方式沉积层间绝缘层10，刻蚀过后采用现有技术的物理气相沉积方式沉积第二道金属层(源极)6并采用现有技术的湿法刻蚀工艺或者现有技术的干法刻蚀工艺对第二道金属层6图形化处理，采用现有技术的等离子体增强型化学气相沉积方式沉积钝化层7并刻蚀过孔，最后通过现有技术的物理气相沉积方式沉积共同电极层8并通过依次通过现有技术的光刻工艺、现有技术的湿法刻蚀工艺、现有技术的光阻剥离工艺对共同电极层8进行图形化处理，得到氧化物半导体薄膜晶体管(图9所示)。

本发明的基板为玻璃材料，为保证第一道氧化铟锡的剥离效果，不会与栅极短路，可以适当加大栅极绝缘层的厚度，可调节的厚度在50nm-400nm；所述栅极层5为氮化硅、氧化硅、铝的氧化物的一种或两种的组合。

步骤五中栅极层刻蚀完成后，保留上面的光阻进行氧化铟锡成膜，所述氧化铟锡的厚度在10nm-200nm；

本发明在栅极和栅极绝缘层刻蚀完成后，不去掉上面光阻的情况下进行氧化铟锡成膜，然后在光阻剥离机剥离栅极上面的光阻和氧化铟锡，之后做光刻和刻蚀，去掉氧化铟锡多余的部分。

本发明的制作方法在半导体源极和漏极两端不做等离子体处理和直接接触含氢量高的材料的情况下，减少了半导体源极和漏极两端的电阻率，既保障了电阻率小的需求，而且不会对沟道半导体层产生影响，从而提高了产品的稳定性；再者本方法中第一道氧化铟锡与栅极具有自对准结构，从而减小了两者的寄生电容，提高了开口度。

虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。