专利名称：方便维护的镀膜设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种镀膜设备，特别是涉及一种利用游离的气体沉积出薄膜的镀 膜设备。
背景技术：
进行镀膜一般是利用液体或气体为媒介，利用气体为媒介时，可将气体在游离产 生电浆后，进一步地沉积在一个待镀物上，而用来镀膜的镀膜装置通常包含一个电性接地 的腔体、一个安装在该腔体内的电极板，及一个电连接该电极板的电源。在进行镀膜时，是 在该腔体内置放该待镀物，并填充气体，并利用该电源在该电极板与待镀物间产生电位差， 使腔体内的气体游离，进而在该电极板与待镀物间产生电浆。该镀膜离子受到电场的引导 会沉积在该待镀物的表面上，以产生薄膜，达到在该待镀物上镀上一预定材料层的目的。因为包含镀膜离子的电浆会在该腔体内彼此碰撞，因此不可避免地会有部份的镀 膜离子朝该电极板移动，并附着在该电极板上。镀膜材料持续地累积在该电极板上，因此在 该镀膜装置使用一段时间后，为了清除累积的镀膜材料，必须更换新的电极板，或利用酸洗 的方式移除累积在该电极板上的镀膜材料。然而，在酸洗时必须先拆下电极板，此时该镀膜 装置必须停止运作，而且酸洗过程需花费一段时间，因此一般的镀膜装置维护时，不仅便利 性不足，还造成生产线停止运作，而降低生产效率。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种方便维护而可提高效率的镀膜设备。本实用新型的方便维护的镀膜设备，可在一个待镀物上沉积一层薄膜，包含一个 中空的腔体、一个安装在该腔体内的电极，该电极包括一个朝向该待镀物的电极表面；该镀 膜设备还包含一个可拆离地盖设在该电极表面上且可导电的筛隔件，该筛隔件包括数个贯 穿的筛隔穿孔。本实用新型方便维护的镀膜设备还包含一个将该筛隔件可拆离地安装在该电极 上的安装单元。本实用新型方便维护的镀膜设备的电极还包括数个横向地贯穿的散热孔。本实用新型的有益效果在于因为该筛隔件罩住该电极，因此镀膜离子可附着在 该筛隔件上，而不会直接累积在该电极上。此外，该筛隔件可被拆离，因此维护时无须拆下 电极而可直接汰换该筛隔件，以达到方便维护且提高效率的目的。
图1是一个侧视示意图，显示本实用新型方便维护的镀膜设备的一个较佳实施 例；图2是一个侧视示意图，主要显示该较佳实施例的一个筛隔件安装在一个电极上 的情形；[0011]图3是一个剖视示意图，放大显示该筛隔件与该电极。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。参阅图1、2、3，本实用新型方便维护的镀膜设备，可在一个待镀物9上沉积一层薄 膜状的镀膜材料(图未示)，并包含一个中空且电性接地的腔体2、一个位于该腔体2内且 邻近下方的电极3、两个相间隔且夹设在该电极3与腔体2间的绝缘件4、一个与该电极3 电连接的电源7、一个盖设在该电极3外且可导电的筛隔件5，及一个将该筛隔件5安装在 该电极3上的安装单元6。该腔体2包括两个分别位于两相反侧并可供气体进出的进气口 21。该电极3包括 一个朝向该待镀物9的电极表面31，及数个横向延伸并贯穿的散热孔32。所述绝缘件4由 电性绝缘材质制成，用来隔绝该电极3与该腔体2。本实施例的筛隔件5呈可弯曲的片状， 且由可导电的材质制成。该筛隔件5设有数个贯穿的筛隔穿孔51。该筛隔件5利用该安装 单元6可拆离地安装在该电极3上，并覆盖在该电极3的电极表面31。在本较佳实施例中，该筛隔件5是一片碳纤维布，但并不以此为限，该筛隔件5也 可以是可导电的金属网。而本实施例的安装单元6具有数个压设在该筛隔件5边缘的金属 块61，及数个螺丝62，利用所述螺丝62分别将所述金属块61安装在该电极表面31上。然 而，该安装单元6不以本实施例的金属块61及螺丝62为限，也可以是黏着件等，也都能够 达到将该筛隔件5可拆离地安装的目的。在对该待镀物9进行镀膜时，因为该筛隔件5可导电并且贴覆在该电极表面31 上，因此在该电极3与该待镀物9间可产生电位差，进而将该腔体2中的气体游离而产生镀 膜离子(图未示)，使该电极3与待镀物9间产生电浆。部份镀膜离子会受到电场的引导， 而向该待镀物9移动，并沉积在该待镀物9表面，以产生一层薄膜(图未示)。此外，还有部 份镀膜离子因为彼此碰撞而朝该电极3的电极表面31移动，并在与该筛隔件5接触后，附 着在该筛隔件5上，而达到避免该镀膜离子直接沉积在该电极3的电极表面31的目的，并 延长该电极3的使用寿命。在该镀膜设备运作一段时间后，该筛隔件5上会持续地累积镀膜材料，因为该安 装单元6与该筛隔件5是可拆离的，因此在累积过多的镀膜材料后，可直接将该安装单元6 拆下，并移除该筛隔件5，再换装上另外一个新的筛隔件，使本实用新型在维护时无须将该 电极3拆下，而达到方便维护，及提高生产效率的优点。
权利要求1.一种方便维护的镀膜设备，可在一个待镀物上沉积一层薄膜，包含一个中空的腔 体、一个安装在该腔体内的电极，该电极包括一个朝向该待镀物的电极表面；其特征在于 该镀膜设备还包含一个可拆离地盖设在该电极表面上且可导电的筛隔件，该筛隔件设有数 个贯穿的筛隔穿孔。
2.根据权利要求1所述的方便维护的镀膜设备，其特征在于该镀膜设备还包含一个 将该筛隔件可拆离地安装在该电极上的安装单元。
3.根据权利要求2所述的方便维护的镀膜设备，其特征在于该电极还包括数个横向 地贯穿的散热孔。
专利摘要一种方便维护的镀膜设备，可在一待镀物上沉积薄膜，包含一个中空的腔体、一个安装在该腔体内的电极，及一个可导电的筛隔件。该电极包括一个朝向该待镀物的电极表面。该筛隔件可拆离地盖设在该电极表面上，并包括数个贯穿的筛隔穿孔。因为该筛隔件罩住该电极，因此镀膜离子可附着在该筛隔件上，而不会直接累积在该电极上，此外，该筛隔件可被拆离，使维护时无须拆下电极而可直接汰换该筛隔件，以达到方便维护且提高效率的目的。
文档编号C23C14/32GK201883144SQ20102063824
公开日2011年6月29日 申请日期2010年12月2日 优先权日2010年12月2日
发明者唐世杰, 唐以邻 申请人:八阳光电股份有限公司