空度抽至3.0X 13Pa,把管内加热到700°C,向里面通入||气,流速为120cm3/min。金源蒸发时间25min, SrO源蒸发时间1min,得到样品Au — SrO纳米线透明导电薄膜。方块电阻为15 Ω / □，可见光透过率达90%，表面功函数3.2eV。
[0031]实施例5:先用HF酸处理玻璃表面，浸泡大概三分钟，然后先后用丙酮和酒精超声清洗，最后烘干，放入管式炉中的石英管中，将金属金粉末和SrO粉末分别放置在两个瓷舟中，再将瓷舟放入管式炉内石英管中的恒温中心位置，两个瓷舟放入石英管的恒温中心位置并分别位于玻璃衬底两侧，且盛放金源粉末的瓷舟位于石英管气流入口方向的第一热源位置，盛放SrO粉末的瓷舟位于石英管气流出口方向的第二热源位置，把管内真空度抽至1.0 X 13Pa,把管内加热到500°C，向里面通入氩气，流速为180cm3/min。金源蒸发时间40min, CaO源蒸发时间20min,得到样品Au — SrO纳米线透明导电薄膜。方块电阻为85 Ω / □，可见光透过率达88%，表面功函数2.8eV。
[0032]实施例6:先用HF酸处理玻璃表面,浸泡大概三分钟,然后先后用丙酮和酒精超声清洗，最后烘干，放入管式炉中的石英管中，将金属金粉末和SrO粉末分别放置在两个瓷舟中，再将瓷舟放入管式炉内石英管中的恒温中心位置，两个瓷舟放入石英管的恒温中心位置并分别位于玻璃衬底两侧，且盛放金源粉末的瓷舟位于石英管气流入口方向的第一热源位置，盛放SrO粉末的瓷舟位于石英管气流出口方向的第二热源位置，把管内真空度抽至12Pa,把管内加热到1100°C，向里面通入氩气，流速为50cm3/min。金源蒸发时间lOmin，SrO源蒸发时间3min，得到样品Au — SrO纳米线透明导电薄膜。方块电阻为37 Ω/ □，可见光透过率达90%，表面功函数2.7eV。
[0033]实施例7:先用HF酸处理玻璃表面，浸泡大概三分钟，然后先后用丙酮和酒精超声清洗，最后烘干，放入管式炉中的石英管中，将金属金粉末和BaO粉末分别放置在两个瓷舟中，再将瓷舟放入管式炉内石英管中的恒温中心位置，两个瓷舟放入石英管的恒温中心位置并分别位于玻璃衬底两侧，且盛放金源粉末的瓷舟位于石英管气流入口方向的第一热源位置，盛放BaO粉末的瓷舟位于石英管气流出口方向的第二热源位置，把管内真空度抽至3.0X 13Pa,把管内加热到700°C,向里面通入||气,流速为120cm3/min。金源蒸发时间25min, BaO源蒸发时间1min,得到样品Au — BaO纳米线透明导电薄膜。方块电阻为19 Ω / □，可见光透过率达90%，表面功函数3.0eV0
[0034]实施例8:先用HF酸处理玻璃表面，浸泡大概三分钟，然后先后用丙酮和酒精超声清洗，最后烘干，放入管式炉中的石英管中，将金属金粉末和BaO粉末分别放置在两个瓷舟中，再将瓷舟放入管式炉内石英管中的恒温中心位置，两个瓷舟放入石英管的恒温中心位置并分别位于玻璃衬底两侧，且盛放金源粉末的瓷舟位于石英管气流入口方向的第一热源位置，盛放BaO粉末的瓷舟位于石英管气流出口方向的第二热源位置，把管内真空度抽至1.0 X 13Pa,把管内加热到500°C，向里面通入氩气，流速为180cm3/min。金源蒸发时间40min, BaO源蒸发时间20min,得到样品Au — BaO纳米线透明导电薄膜。方块电阻为15 Ω / □，可见光透过率达89%，表面功函数3.0eV0
[0035]实施例9:先用HF酸处理玻璃表面,浸泡大概三分钟,然后先后用丙酮和酒精超声清洗，最后烘干，放入管式炉中的石英管中，将金属金粉末和BaO粉末分别放置在两个瓷舟中，再将瓷舟放入管式炉内石英管中的恒温中心位置，两个瓷舟放入石英管的恒温中心位置并分别位于玻璃衬底两侧，且盛放金源粉末的瓷舟位于石英管气流入口方向的第一热源位置，盛放BaO粉末的瓷舟位于石英管气流出口方向的第二热源位置，把管内真空度抽至12Pa,把管内加热到1100°C，向里面通入氩气，流速为50cm3/min。金源蒸发时间10min，Ba0源蒸发时间3min，得到样品Au — BaO纳米线透明导电薄膜。方块电阻为37 Ω/ □，可见光透过率达91%，表面功函数2.8eV。
[0036]应当理解的是，上述针对本发明较佳实施例的表述较为详细，并不能因此而认为是对本发明专利保护范围的限制，本发明的专利保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种Au —碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤: (I )、将清洗干净的玻璃衬底放入制膜设备的反应室中； (2)、将金属金粉末和碱土金属氧化物粉末分别放置在两个瓷舟中，再将两个瓷舟放入制膜设备反应室的恒温中心位置并分别位于玻璃衬底两侧，且盛放金源粉末的瓷舟位于反应室气流入口方向的第一热源位置，盛放碱土金属氧化物粉末的瓷舟位于反应室气流出口方向的第二热源位置； (3)、对反应室抽真空处理，使反应室内的真空度保持在12Pa?13Pa； (4)、启动第一热源和第二热源，对反应室加热到500?1100°C后，向反应室通入载气IS气，且IS气流速为50?180cm3/min,然后在第一热源作用下对金源蒸发时间10?40min,在第二热源作用下对碱土金属氧化物源蒸发时间3?20min ； 待上述步骤完成后，制得所述Au -碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜。
2.根据权利要求1所述的Au—碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(I)中，对玻璃衬底的清洗，其处理步骤如下: 先将玻璃衬底置于HF酸浸泡三分钟，取出后先后用丙酮和酒精超声清洗，烘干，备用。
3.根据权利要求1所述的Au—碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(3 )中，反应室内的真空度保持在3.0 X 103Pa。
4.根据权利要求1所述的Au—碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(4)中，所述IS气流速为120cm3/min,金源蒸发时间25min,碱土金属氧化物源蒸发时间lOmin。
5.根据权利要求1所述的Au—碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤(4)中，反应室加热温度控制在700°C。
6.根据权利要求5所述的Au—碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，制膜设备的反应室为一水平横放的石英管，该石英管两端开口贯通。
7.根据权利要求1至6任一所述的Au—碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述碱土金属氧化物中碱土金属为Ca, Sr或Ba。
【专利摘要】本发明公开了一种Au－碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法，包括步骤：将清洗干净的玻璃衬底放入制膜设备反应室中；将金属金粉末和碱土金属氧化物粉末分别放置在两个瓷舟中，再将两个瓷舟放入制膜设备反应室的恒温中心位置，玻璃衬底置于两个瓷舟上方并与两个瓷舟紧贴；对反应室抽真空处理；对反应室加热到500～1100℃后，向反应室通入氩气，并对金源和碱土金属氧化物源蒸发处理；待上述步骤完成后，制得所述Au－碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜。本发明采用热蒸发设备，制备Au－碱土金属氧化物纳米线透明导电薄膜，得到薄膜的方块电阻低至18Ω/□，可见光透过率达91%，表面功函数达2.8eV。
【IPC分类】C23C14-06, C23C14-24
【公开号】CN104746012
【申请号】CN201310731734
【发明人】周明杰, 王平, 陈吉星, 张振华
【申请人】海洋王照明科技股份有限公司, 深圳市海洋王照明技术有限公司, 深圳市海洋王照明工程有限公司
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2013年12月26日