专利名称：具有线性电流电压特性的半导体元件的制作方法
技术领域：
本发明涉及SOI(绝缘体基外延硅)晶片上的横向绝缘栅双极晶体管(LIGBT)的改进，得到穿过坐标原点的线性电流电压特性。
SOI(绝缘体基外延硅)晶片上的横向绝缘栅双极晶体管(LIGBT)的剖面显示在
图1中。图2示出了所述复杂器件的简单等效电路图，由两个等效场效应晶体管和两个结型晶体管T1和T2画出，其中p阱还作为T2的源极电阻。LIGBT器件看起来类似于横向双扩散金属氧化物半导体(LDMOS)晶体管。除了漏接触由已知为漂移区的几微米轻掺杂材料与沟道区分离之外，LDMOS晶体管与熟悉的NMOS晶体管很类似。示意性的LDMOS器件显示在图3中，除了称做阳极的p-区由之后称做漏区的n+扩散代替之外，图3的器件类似于图1的器件。在关断状态中，LDMOS可以使用所述漂移区支持由p阱和p型衬底形成的两个反向偏置的pn结处的高漏极电压。就电流电压特性而论，所述简单的修改对该器件的操作特性产生深远的影响。
在导通状态中，图1中LIGBT的导通电阻比图3中等效LDMOS的导通电阻小5-10倍，对于电阻很重要的应用是个比较好的选择。然而，LIGBT的一个缺点是由于pn结二极管在阳极侧，因此低电流时有很高的电阻，如果晶体管工作在低电流，将产生失真，这是由于将在该区域出现非线性函数。
可以设计n+和p+扩散位于阳极接触区的混合IGBT和DMOS器件，如图4所示。这种结构通常表示为短阳极LIGBT(SA-LIGBT)。和LDMOS器件一样，由于施加到栅极的大于阈值电压的正电压，和加到阳极上的低电压，该器件导通电流。在某个电流级别，沿p+区的压降足以正偏置阳极/漂移结，阳极开始将少数载流子(空穴)注入到漂移区内。这些少数载流子调制漂移区的电导率，器件的操作类似于通常的LIGBT。由此，这种器件在低电流时有DMOS的线性特性，直到在较高电流时n漂移区内的串联电阻正偏置阳极的p和n结，器件表现为IGBT的电流电压特性。因此，整个电流电压特性曲线呈现两个完全线性的部分，但具有完全不同的导数(斜率)。因此在两个斜率的曲线之间存在特性过渡，这将呈现非线性且仍然产生失真。(详细内容例如可以参见Technical Report No.ICL93-020,Donald R.Disney的文章，题目为“绝缘体基外延硅中横向功率器件的物理与技术”，斯坦福大学电子工程系，美国加州，1993。(“Physisc and Techology of Lateral Power Devices in Silicon-On-Insulator Substrates”,Department of Electrical Engineering,Stanford University,California,USA,1993。))此外，如果SOI材料中绝缘体下的衬底偏置变化，那么由于在绝缘体和硅衬底界面处的电荷载流子的堆积或耗尽，n漂移区内的串联电阻显著改变，因此器件的电流电压特性改变。此外由于最高电压假设在p+阳极，晶体管不支持AC条件下的操作。
在例如电话系统中的中继功能等的某些应用中，要求存在穿过坐标原点的线性和支持双向电压。
例如在1995年的美国专利No.5,382,535中，Satwinder和Wai公开了一种“特性横向双扩散MOS晶体管的制造方法”，显示出一种对称性，并利用了一种通常称做RESURF的技术，RESURF代表减小表面电场。然而这种解决方法在两个源接触之间存在一个向中心延伸的漏，即一侧的源没有用做漏，反之亦然。这意味着它不能作为双向的解决方法，但这种元件必须与对应的LDMOS串联连接，以得到双向的作用。
本发明的确改善了以上提到的LIGBT的不足，由此穿过坐标原点的电流电压特性为线性，而且表现出的双向结构也允许AC操作。
本发明提供了一种DMOS晶体管结构代替SOI晶片上的IGBT的阳极。在它的最基本的形式中，阳极与阴极对称。
在导通状态中，栅极以DMOS晶体管处于导通状态的方式偏置。在阳极侧，电流首先流过第二晶体管，直到晶体管中的压降正向偏置p阱二极管，开始调制漂移区的电导率，得到LIGBT的电流电压(I-V)特性。固有的晶体管的对称性使器件可以在AC条件下工作。
改善的设计包括包含在晶体管的横向设计内的p+电极，改善了漂移区的电导率调制。此外，可以设计不均匀的漂移区掺杂以优化击穿电压与导通电阻的关系。
通过下面参考结合附图的介绍，可以更好地理解本发明及其本发明的目的和优点，其中图1示出了LIGBT器件的剖面图；图2示出了LIGBT器件的等效电路图3示出了LDMOS晶体管的剖面图；图4示出了短阳极LIGBT器件的剖面图；图5示出了根据本发明的双向IGBT器件的剖面图；以及图6示出了根据本发明分段的双向IGBT器件的剖面图。
在图5和6中示出了根据本发明的结构，提供了DMOS晶体管代替SOI晶片上IGBT的阳极。在它的最基本的实施例中，阳极与阴极完全对称，从图5中显示的可以清楚地看出。
为了得到穿过坐标原点的线性电流电压特性同时得到双向结构的图5的半导体器件包含在示例性实施例中，p-掺杂的衬底的顶部上为氧化层。在所述氧化层的顶部产生n型漂移区形成纵向的n漂移区。n漂移区包括在每个端部的p+掺杂半导体材料的p型阱，每个p型阱附加地含有构成源或漏电极的n+区。在p型阱的顶部附加地形成栅电极得到场效应结构，用于控制沟道区内的电流。由此形成具有共用漂移区的双向双DMOS结构。
对于起始材料，可以利用由衬底10、绝缘层20和半导体顶层30组成的SOI材料。衬底10可以为轻或重掺杂的硅衬底，厚度为10到1000μm。衬底同样可以为由二氧化硅、蓝宝石、金刚石等组成的绝缘体。在示例性实施例中的绝缘体20可以是厚度为0.1到10μm的二氧化硅。此外，绝缘体可以为衬底10自身相同类型的材料，即二氧化硅、蓝宝石、金刚石等。顶层30优选为轻掺杂的硅层，厚度为0.1-30μm。
可以首先通过在顶层30上生长或淀积薄保护性的氧化物制备示例性的元件。随后进行n-掺杂物质的注入，使顶层内获得正确的基本掺杂级别。注入的剂量可以为1011到1013cm-2的数量级。随后退火，之后，进行注入穿过光刻限定的图形产生p+区31。合适的剂量级别为1014到1016cm-2。除此之外，为了得到与p阱区32的良好接触，需要p+区，在本例中将在后面的步骤中限定。除去限定光刻图形的材料之后，随后的退火将p+区31向下扩散到掩埋的绝缘体，如图5所示。然而这不是完全地必要，当顶层30很厚时，很难实现。
限定顶层的基本掺杂级别和p+区31之后，可以除去保护性的氧化物。然后分别在顶层30上生长或淀积栅氧化物和栅材料。在示例性实施例中栅氧化物的厚度可以为50-1000的数量级。栅材料可以由重掺杂厚度为0.1-1μm的多晶硅组成。借助随后的光刻图形，通过腐蚀可以限定出漏和源侧的栅结构。合适的栅长度可以为0.2-5μm。
借助附加的光刻图形，通过1011到1014cm-2剂量的注入可以添加p阱32。以p阱32用栅结构的一个边36为界线的方式限定图形。(该边由图6中的虚线36表示)。在随后的退火中，通过横向扩散可以确定沟道的长度(p阱到达栅结构下多远)。以相同的方式，分别限定并热处理漏和源侧的n+区33。注意由虚线限定的p阱32含有重掺杂的p+区31和至少一个n+区，如图5和6所示。
由元件可接收和承受的电压级别确定漂移区的长度(源和漏之间的距离)。为了进一步提高给定漂移区长度的电压接受能力，可以利用横向变化的掺杂分布得到从源到漏尽可能均匀的电场分布。对于所有其它的掺杂区域，可以相同的方式限定横向变化的掺杂分布。
在另一实施例中，漂移区不均匀地掺杂，但浓度从源朝器件的中心方向增加，然后再朝漏的方向降低。对于更简单的制造，这种不均匀的漂移区将分段掺杂，当从源或漏分别横向地看时，都朝中心逐步地增加。
随后的步骤为形成接触孔、金属化和钝化的标准步骤以完全地限定元件。
本发明元件的附加优点除了呈现穿过坐标原点的线性电流电压特性之外，由于双向结构，通过利用控制漂移区的第一栅和第二栅借助偏置电压限定操作模式，同样可以控制器件象具有源和漏的DMOS器件或带阴极和阳极的IGBT器件一样工作。
本领域的技术人员应该理解可以根据本发明的概念对器件作出不同的修改和变化，但不脱离由附带的权利要求书限定的本发明的精神和范围。
权利要求
1．一种半导体器件，得到穿过坐标原点的线性电流电压特性及双向结构，包括衬底顶上的绝缘层和所述绝缘层顶上的n型漂移区；所述n型漂移区，在每端形成构成p阱的低掺杂的p型区域，p阱又具有形成源或漏区的重掺杂的n+区；所述p阱还包括至少部分p+掺杂的半导体材料，在所述p型阱上还有栅电极，所述n+掺杂半导体材料的一个部分或多个部分被分别放置在栅和漏电极之间或栅和源电极之间的p阱内；由此形成具有共用漂移区的双向双DMOS结构。
2．根据权利要求1的半导体，其中所述衬底为n掺杂或p掺杂的硅衬底。
3．根据权利要求1的半导体，其中所述衬底为绝缘体。
4．根据权利要求1的半导体，其中所述衬底为氧化物绝缘体。
5．根据权利要求1的半导体，其中分别在源和漏侧p阱内的所述p+型掺杂的半导体材料在某些区域一直达到所述漂移区，以提高少数载流子的注入。
6．根据权利要求1的半导体，其中所述漂移区没有均匀地掺杂，但分别从源或漏看，掺杂浓度朝器件的中心增加，当从所述漂移区的中心看时，分别朝漏或源降低。
7．根据权利要求6的半导体，其中分别从源或漏看，所述漂移区掺杂以分段的方式朝中心增加。
全文摘要
公开了一种半导体器件,得到穿过坐标原点的线性电流电压特性及双向结构。通常器件含有P
文档编号H01L29/739GK1231066SQ97198000
公开日1999年10月6日 申请日期1997年7月4日 优先权日1996年7月26日
发明者A·瑟德贝尔格, A·里特温 申请人:艾利森电话股份有限公司