带树脂层的支撑基板及其制造方法、玻璃层叠体、以及电子设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及带树脂层的支撑基板、玻璃层叠体及电子设备的制造方法。
【背景技术】
[0002]近年来，太阳能电池(PV)、液晶面板(LCD)、有机EL面板(OLED)等电子设备(电子装置)正逐渐薄型化、轻量化，这些设备中使用的玻璃基板也在进行薄板化。若由于薄板化而玻璃基板的强度不足，则在设备的制造工序中玻璃基板的处理性降低。
[0003]最近，为了应对上述问题，提出了如下方法:准备将玻璃基板和增强板层叠而成的玻璃层叠体，在玻璃层叠体的玻璃基板上形成显示装置等电子设备用构件，之后自玻璃基板将增强板分离(例如参照专利文献I)。增强板具有支撑基板和固定在该支撑基板上的有机硅树脂层，有机硅树脂层和玻璃基板以可剥离的方式密合。在玻璃层叠体中，在有机硅树脂层与玻璃基板的界面剥离、自玻璃基板分离的增强板可以与新的玻璃基板层叠，作为玻璃层叠体进行再利用。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:国际公开第2007/018028号
【发明内容】
_7]发明要解决的问题
[0008]另一方面，目前已知有将其表面配置有涂布膜的支撑基板载置于多个支撑销的顶部，进行加热干燥的方法。此外，作为加热干燥的方法，已知使用设置有加热板的加热处理装置的方法。
[0009]本发明人等按照专利文献I记载的方法来制作增强板时，将表面配置有通过加热而成为有机硅树脂层的涂膜的支撑基板载置于设置在加热处理装置内的多个支撑销的顶部，在涂膜上配置加热板而进行预烘处理，之后，实施后烘处理而形成有机硅树脂层。其结果，存在在有机硅树脂层的层叠玻璃基板的一侧的表面(以下也简称为“表面”)出现凸部的情况。
[0010]这种情况下，使玻璃基板的第I主面朝向有机硅树脂层的表面，在有机硅树脂层上层叠玻璃基板而制造玻璃层叠体时，玻璃基板以追随有机硅树脂层的表面上存在的凸部的形态发生变形，从而在玻璃基板的第2主面(有机硅树脂层侧的相反侧的面)也同样出现凸部。
[0011]已知使用这样的玻璃层叠体制作例如液晶面板等电子设备时，有时会在凸部的位置确认到显示不均。
[0012]本发明是鉴于以上问题而成的，其目的在于提供一种带树脂层的支撑基板，其为具有支撑基板及有机硅树脂层的带树脂层的支撑基板，其能够抑制使用在有机硅树脂层上层叠玻璃基板而得到的玻璃层叠体制得的电子设备中产生显示不均。
[0013]此外，本发明的目的还在于提供一种具备上述带树脂层的支撑基板的玻璃层叠体。
[0014]进而，本发明的目的还在于提供一种使用上述玻璃层叠体的电子设备的制造方法。
_5] 用于解决问题的方案
[0016]本发明人等为了达成上述目的进行了潜心研究，结果发现，即使有机硅树脂层的表面存在凸部，在凸部的高度及宽度满足特定关系的情况下，也能抑制显示不均的发生，从而完成了本发明。
[0017]S卩，本发明提供以下的⑴?(7)。
[0018](I) 一种带树脂层的支撑基板，其具有支撑基板和设置于支撑基板的一面的有机硅树脂层，该带树脂层的支撑基板被用于在所述有机硅树脂层上层叠玻璃基板而制造玻璃层叠体，其中，在所述有机硅树脂层的层叠所述玻璃基板的一侧的表面形成有凸部，所述凸部的高度H和宽度W之比H/W小于3 X 10 5O
[0019](2)根据上述⑴所述的带树脂层的支撑基板，其中，所述凸部的高度H为0.10 μm 以下。
[0020](3) 一种玻璃层叠体，其具备:上述⑴或(2)所述的带树脂层的支撑基板、和层叠于所述有机硅树脂层上的玻璃基板。
[0021](4)根据上述(3)所述的玻璃层叠体，其中，所述有机硅树脂为有机烯基聚硅氧烷和有机氢聚硅氧烷的反应固化物。
[0022](5)根据上述(3)或(4)所述的玻璃层叠体，其中，所述玻璃基板由以氧化物基准的质量百分率表示含有下述成分的无碱玻璃形成。
[0023]Si02:50 ?66%
[0024]Al2O3:10.5 ?24%
[0025]B203:0 ?12%
[0026]MgO-O ?8%
[0027]CaO:0 ?14.5%
[0028]SrO:0 ?24%
[0029]BaO:0 ?13.5%
[0030]MgO+CaO+SrO+BaO:9 ?29.5%
[0031]Zr02:0 ?5%
[0032](6)根据上述(3)或(4)所述的玻璃层叠体，其中，所述玻璃基板由以氧化物基准的质量百分率表示含有下述成分的无碱玻璃形成。
[0033]Si02:58 ?66%
[0034]Al2O3:15 ?22%
[0035]B2O3:5 ?12%
[0036]Mg0:0 ?8%
[0037]Ca0:0 ?9%
[0038]SrO:3 ?12.5%
[0039]BaO:0 ?2%
[0040]MgO+CaO+SrO+BaO:9 ?18%
[0041](7) 一种电子设备的制造方法，其具备:
[0042]构件形成工序，在上述(3)?￠)中任一项所述的玻璃层叠体的表面形成电子设备用构件，得到带电子设备用构件的层叠体；和
[0043]分离工序，自所述带电子设备用构件的层叠体将所述带树脂层的支撑基板剥离，得到具有所述玻璃基板和所述电子设备用构件的电子设备。
[0044](8) 一种带树脂层的支撑基板的制造方法，所述带树脂层的支撑基板具有支撑基板和设置于支撑基板的一面的有机硅树脂层，其被用于在所述有机硅树脂层上层叠玻璃基板而制造玻璃层叠体，该制造方法具备如下工序:
[0045]将固化性有机硅组合物涂布在所述支撑基板上的工序，
[0046]在规定的腔室内，对涂布有所述固化性有机硅组合物的所述支撑基板进行预烘处理和后烘处理，从而得到有机硅树脂层的工序；
[0047]所述预烘处理具有如下工序:对所述固化性有机硅组合物进行加热的工序，以及进行向所述腔室内供给气体和自所述腔室内排气的工序，
[0048]通过调节所述气体的供给量和排气量，抑制溶剂的液滴对所述有机硅树脂层的附着，使下述H和W的比H/W小于3X10 5，
[0049]H:在所述有机硅树脂层的层叠所述玻璃基板的一侧的表面形成的凸部的高度，
[0050]W:在所述有机硅树脂层的层叠所述玻璃基板的一侧的表面形成的凸部的宽度。
[0051]发明的效果
[0052]根据本发明，能够提供具有支撑基板及有机硅树脂层的带树脂层的支撑基板，其能够抑制使用在有机硅树脂层上层叠玻璃基板而得到的玻璃层叠体制作的电子设备发生显示不均。
[0053]此外，本发明还能够提供具备上述带树脂层的支撑基板的玻璃层叠体。
[0054]进而，本发明还能够提供使用上述玻璃层叠体的电子设备的制造方法。
【附图说明】
[0055]图1是表示带树脂层的支撑基板的制造方法的制造工序的流程图。
[0056]图2的(A)及(B)是按工序顺序表示带树脂层的支撑基板的制造方法的一个实施方式的示意性剖面图。
[0057]图3是表示加热处理装置的构成的示意性剖面图。
[0058]图4是玻璃层叠体的示意性剖面图。
[0059]图5的(A)及(B)是按工序顺序表示电子设备的制造方法的一个实施方式的示意性剖面图。
[0060]图6是表示液滴附着于固化性有机硅组合物层的状态的带固化性层的支撑基板的示意性剖面图。
[0061]图7是表示在有机硅树脂层的表面形成有凸部的带树脂层的支撑基板的示意性剖面图。
[0062]图8是表示使用具有凸部的带树脂层的支撑基板形成的玻璃层叠体的示意性剖面图。
[0063]图9是表示凸部的高度H与宽度W的关系的图表。
[0064]附图标iP,说曰月
[0065]10支撑基板
[0066]12固化性有机硅组合物层
[0067]14带固化性层的支撑基板
[0068]16有机硅树脂层
[0069]16a有机娃树脂层的表面
[0070]18带树脂层的支撑基板
[0071]20玻璃基板
[0072]20a玻璃基板的第I主面
[0073]20b玻璃基板的第2主面
[0074]22电子设备用构件
[0075]24带电子设备用构件的层叠体
[0076]26电子设备
[0077]30加热处理装置
[0078]32加热腔室
[0079]34支撑销
[0080]36支撑台
[0081]38加热板
[0082]40排气管
[0083]42搬入搬出口
[0084]51液滴
[0085]61有机硅树脂层的凸部
[0086]100玻璃层叠体
[0087]H凸部的高度
[0088]W凸部的宽度
【具体实施方式】
[0089]以下参照附图对本发明的优选实施方式进行说明，但本发明并不限定于以下的实施方式，可以在不脱离本发明的范围的前提下对以下的实施方式加以各种变形和替换。
[0090][本发明的概要]
[0091]首先，基于图6?图8对本发明的概要进行说明。需要说明的是，这里涉及的各部及各处理的详细内容将在后面叙述。
[0092]在将具有固化性有机硅组合物层12的带固化性层的支撑基板14搬入加热处理装置30内时，首先，先将在同一加热处理装置30内结束了加热(预烘处理)的其它带固化性层的支撑基板14经由搬入搬出口 42搬出。
[0093]此时，若因加热而蒸发了的溶剂以蒸气的形式充满加热处理装置30内，则该溶剂蒸气有时也会从搬入搬出口 42泄漏到外部。泄漏到外部的溶剂蒸气有时冷却而以液滴51的形式滴落，附着在将要搬入加热处理装置30内的带固化性层的支撑基板14的固化性有机硅组合物层12的表面12a上。
[0094]图6是表示液滴附着于固化性有机硅组合物层的状态的带固化性层的支撑基板的示意性剖面图。
[0095]将图6所示的、液滴51附着于固化性有机硅组合物层12的表面12a的状态的带固化性层的支撑基板14搬入加热处理装置30内进行加热(预烘处理)，其后，将其从加热处理装置30内搬出并进一步进行加热(后烘处理)，由此形成有机硅树脂层16，但在形成有机硅树脂层16的过程中，使浓度梯度变均匀的作用产生效果，固化性有机硅组合物层12的固体成分向不存在固体成分的液滴51中扩散。因此，在有机硅树脂层16的液滴51附着的部位形成自表面16a突出的凸部61 (参照图7)。凸部61是有机硅树脂层16的一部分。