一种自动除尘装置及镀膜设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及显示【技术领域】，具体涉及了自动除尘装置及镀膜设备。该自动除尘装置包括腔体、电极板、放电装置和电源，腔体用于对玻璃基板进行真空与大气的转化；腔体上设有使气体排出的输出端；电极板密封安装于腔体上，电极板上设有用于使气体进入的输入端；放电装置与输入端对应设置，用于使腔体内的尘埃颗粒带电；电源的两极分别连接于电极板和腔体，用于在腔体内形成电场，电场驱动尘埃颗粒移动至输出端。该自动除尘装置利用静电除尘法实现对腔体内尘埃颗粒的清洁，避免了尘埃颗粒漂浮在腔体内而造成对玻璃基板的污染，实现了自动清洁的目的。这一系统结构简单，清洁程度比较彻底，实用性强，而且还不会对设备本身及玻璃基板造成损伤。
【专利说明】一种自动除尘装置及镀膜设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及显示【技术领域】，尤其涉及一种自动除尘装置及镀膜设备。
【背景技术】
[0002]在TFT-LCD (英文名称为 Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,中文名称为薄膜晶体管液晶显示器)制造过程中，玻璃基板需要多次往返于各相对独立的生产设备之间以形成薄膜晶体阵列，如真空大气转换单元、冷却加热单元和传送单元等等。在这一过程中由于环境因素及反应腔体自身的尘埃颗粒都会不同程度地污染玻璃基板，使薄膜晶体管形成多种工艺类型如:DGS (英文名称为Data Gate Short,中文名称为栅极线与数据线缩短)、DCS (英文名称为Data Common short,中文名称为数据线与共用电极线缩短)、SDRemain (英文名称为Standard Deviation Remain,中文名称为标准偏差)等工艺不良，对产品的良率造成很大程度上的影响。
[0003]薄膜晶体管制造过程中，尘埃颗粒管控一直是我们普遍强调的一项工艺标准，其中主要包括环境中的尘埃颗粒和设备中的尘埃颗粒。对于薄膜晶体管镀膜设备而言，由于反应过程需要在真空环境下进行，因此在玻璃基板进入反应腔体前需要经过真空与大气转换单元。这个单元目前对尘埃颗粒处理方面还处于缺失状态。由于该转换单元需要间断进行真空与大气的切换而且该转化单元还具有冷却玻璃基板的作用，因此玻璃基板反应后表面残留气体反应物会在该转化单元冷却时形成尘埃颗粒而污染该转化单元。
[0004]目前，现有采取的除尘措施是定期对该真空与大气转换单元进行手动清理。由于该真空与大气转换单元涉及电路及气体还有维持真空的干泵等装置，因此无法利用液体清洁剂对其进行直接清理，只能对该转化单元内的局部表面进行擦拭清理，清除不彻底；而且在清除时还需要进行停机处理，影响了设备的稼动率。
[0005]针对以上不足，需要一种结构简单，能够自动清除真空腔体内的尘埃颗粒，清洁程度彻底且不会对设备本身及玻璃基板造成伤害的自动除尘装置。
实用新型内容
[0006](一 )要解决的技术问题
[0007]本实用新型要解决的技术问题是提供了一种自动除尘装置，使得能够自动清除腔体内的尘埃颗粒，清洁程度彻底且不会对设备本身及玻璃基板造成伤害。
[0008]( 二 )技术方案
[0009]为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种自动除尘装置，包括:
[0010]腔体，所述腔体上设有使气体排出的输出端；
[0011]电极板，所述电极板密封安装于所述腔体上，电极板上设有用于使气体进入的输入端;
[0012]放电装置，所述放电装置与所述输入端对应设置，用于使所述腔体内的尘埃颗粒带电；[0013]电源，所述电源的两极分别连接于电极板和腔体，用于在所述腔体内形成能够驱动尘埃颗粒移动至所述输出端的电场。
[0014]其中，所述电极板位于所述腔体的顶部，所述电源的正、负极分别与所述电极板、腔体的底板连接，用于在所述电极板、腔体的底板之间形成能够驱动尘埃颗粒移动至所述输出端的电场。
[0015]其中，所述腔体的底板上设有使气体排出的输出端。
[0016]其中，所述电极板通过绝缘隔垫片和橡胶密封圈密封安装于所述腔体的顶部，在所述电极板上设有防护罩装置。
[0017]其中，所述输入端与输出端之间设有用于防止尘埃颗粒回流的孔板。
[0018]其中，所述孔板上设有多个锥形孔和用于支撑玻璃基板的支撑柱，所述锥形孔的形状为一端孔径大，其另一端孔径小。
[0019]其中，所述放电装置包括放电针和与所述放电针相连的直流脉冲电源，所述放电针位于输入端处，用于将输入端处的气体电离产生正电荷，所述尘埃颗粒与正电荷结合，并在所述电场的驱动下穿过锥形孔移动至输出端。
[0020]其中，所述输出端通过管道连接有用于对腔体抽真空的真空泵。
[0021 ] 其中，所述管道上设有真空阀。
[0022]本实用新型还提供了一种镀膜设备，包括所述的自动除尘装置。
[0023](三)有益效果
[0024]本实用新型的上述技术方案具有以下有益效果:本实用新型自动除尘装置的腔体用于玻璃基板进行真空与大气转化；腔体上设有使气体排出的输出端；电极板密封安装于腔体上，电极板上设有用于使气体进入的输入端；放电装置与输入端对应设置，用于使腔体内的尘埃颗粒带电；电源的两极分别连接于电极板和腔体，用于在腔体内形成电场，电场驱动尘埃颗粒移动至输出端。该自动除尘装置利用静电除尘法实现对腔体内尘埃颗粒的清洁，通过一个简单的直流电场，将腔体内的尘埃颗粒进行带电处理，使其能够在电场作用下移动到指定位置，避免了尘埃颗粒漂浮在腔体内部而造成对玻璃基板的污染，实现了自动清洁的目的。这一系统结构简单，清洁程度比较彻底，实用性强，而且还不会对设备本身及玻璃基板造成伤害，能够使腔体内部清洁工作更加智能化。
【专利附图】
【附图说明】
[0025]图1为本实用新型实施例自动除尘装置的结构示意图；
[0026]图2为本实用新型实施例自动除尘装置的立体图；
[0027]图3为本实用新型实施例孔板的结构示意图；
[0028]图4为本实用新型实施例电场的工作原理示意图；
[0029]图5为本实用新型实施例自动除尘装置的平衡状态示意图。
[0030]其中，1:腔体；2:电极板；3:放电装直；4:电源；5:输入端；6:输出端；7:尘埃颗粒；8:接地线；9:孔板；10:玻璃基板；21:绝缘隔垫片；22:橡胶密封圈；31:放电针；32:直流脉冲电源；91:锥形孔；92:支撑柱。
【具体实施方式】[0031]下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。
[0032]在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0033]在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0034]如图1所示，本实施例所述的自动除尘装置，包括腔体1、电极板2、放电装置3和电源4，腔体I用于玻璃基板10进行真空与大气转化；腔体I上设有使气体排出的输出端6 ;电极板2密封安装于腔体I上，电极板2上设有用于使气体进入的输入端5 ;放电装置3与输入端5对应设置，用于使腔体I内的尘埃颗粒7带电；电源4的两极分别连接于电极板2和腔体1，用于在腔体I内形成电场，电场驱动尘埃颗粒7移动至输出端6。
[0035]该自动除尘装置利用静电除尘法实现对腔体I内尘埃颗粒7的清洁。如图4所示，通过在腔体I内加设一个简单的直流电场，使腔体I内的尘埃颗粒7带电，并在电场作用下移动到指定位置而排出。使尘埃颗粒7不会漂浮在腔体I内部而造成对玻璃基板10的污染，实现了自动清洁目的。
[0036]如图2所示，电极板2位于腔体I的顶部，电源4的正、负极分别与电极板2、腔体I的底板连接，用于在电极板2、腔体I的底板之间形成电场。其中输入端5位于腔体I的顶部，主要通入氮气，氮气通过输入端5进入至真空状态下的腔体I内，同时也掺入少量氦气，用于加速冷却玻璃基板10用。通入氮气只是其中的一种实施方式，并非限制作用。可根据实际情况使用相应气体，且在气体流速相对真空泵抽速允许范围内，气体流量越大，效果越明显。
[0037]其中，电源4可为直流电源，用于形成直流电场；电极板2上带有正电，用于加速正电荷移动。腔体I的底板为接地极板，在腔体I的底板上连接有接地线8，从而使电极板2、腔体I的底板之间形成恒定的电场。该直流电场强度可根据实际需要进行调节，不受具体限制。在通入高压直流电时，其大小为千伏单位值，因此需要在电极板2上方增设防护罩装置。
[0038]而且，电极板2可通过绝缘隔垫片21和橡胶密封圈22密封安装于腔体I的顶部。绝缘隔垫片21和橡胶密封圈22能够起到对上下极板的绝缘与密封的作用。
[0039]放电装置3包括放电针31和与放电针31相连的直流脉冲电源32，放电针31位于输入端5处,用于将输入端5处的气体电离产生正电荷,尘埃颗粒7与正电荷结合,并在电场的驱动下穿过锥形孔91移动至输出端6。放电针31通过尖端放电原理使输入端5进入的气体形成带电离子风，从而使腔体I内的尘埃颗粒7带电。
[0040]如图3所示，为了能使加速的带电尘埃颗粒7顺利流入至输出端6，且防止尘埃颗粒I附着在电极表面，同时也为了防止气体回流时使尘埃颗粒7进入腔体I内。在输入端5与输出端6之间设有用于防止尘埃颗粒7回流的孔板9。优选地，孔板9上设有多个锥形孔91和用于支撑玻璃基板10的支撑柱92，锥形孔91的形状为类圆锥形状，其孔径从一端至另一端逐渐增大。锥形孔91的小孔径的一端靠近输出端6，锥形孔91的大孔径的一端靠近输入端5，有效防止尘埃颗粒7的回流。
[0041]输出端6可设在腔体I的底板上，用于将通过锥形孔91的尘埃颗粒7排出。具体为，将输出端6通过管道连接有用于对腔体I进行抽真空的真空泵，并在管道上设有真空阀，通过真空阀控制管道的接通与关闭。
[0042]本实用新型还提供了一种镀膜设备，包括该自动除尘装置，在镀膜设备内还设有用于TFT-1XD生产过程中需要的传送单元、加热与冷却单元及用于取放玻璃基板的真空机械手臂。
[0043]该镀膜设备在正常生产中的工作过程为:第一步，外部真空机械手臂将未执行工序的玻璃基板放入大气状态下的腔体内，腔体开始执行抽真空，期间夹持工具会对玻璃基板进行位置校正；第二步，达到真空要求后，真空机械手臂取走未执行工序的玻璃基板，同时将执行过工序的玻璃基板放入在腔体内；第三步,传送单元真空阀门关闭,停止抽真空，同时通入氮气并掺入少量氦气，该气体在进入腔体的同时也能起到对玻璃基板的冷却作用，其中氦气可加速玻璃基板的冷却。第四步，传送单元达到大气压标准后，机械手臂将执行过工序的玻璃基板取走，同时放入未执行过工序的玻璃基板,如此往复动作。在上述过程中腔体的上下极板不加电，直流脉冲也关闭，防止对玻璃基板造成静电干扰产生静电不良现象，同时也为了防止尘埃颗粒飘落到玻璃基板之上，即该清理功能处于屏蔽状态。
[0044]该自动除尘装置的除尘工作过程为:第一步，腔体内处于无玻璃基板的条件下，开启直流电源使腔体内形成直流电场；第二步，向腔体内通入氮气，开启真空阀，通过调节氮气的流量来控制使腔体内保持某一稳定气压，如图5所示；第三步，待上述气流气压稳定后，对腔体内的放电针通入直流脉冲，放电针通过尖端放电使通入输入端的氮气带正电荷；第四步，此时环境中的尘埃颗粒在氮气的作用下也带上正电，带电后的尘埃颗粒在直流电场驱动下，沿电场线的方向向下运动；第五步，带电的尘埃颗粒通过锥形孔，并沿输出端排走，至此除尘过程结束。
[0045]综上所述，本实用新型自动除尘装置的腔体用于玻璃基板进行真空与大气转化；腔体上设有使气体排出的输出端；电极板密封安装于腔体上，电极板上设有用于使气体进入的输入端；放电装置与输入端对应设置，用于使腔体内的尘埃颗粒带电；电源的两极分别连接于电极板和腔体，用于在腔体内形成电场，电场驱动尘埃颗粒移动至输出端。该自动除尘装置利用静电除尘法实现对腔体内尘埃颗粒的清洁，通过一个简单的直流电场，将腔体内的尘埃颗粒进行带电处理，使其能够在电场作用下移动到指定位置，避免了尘埃颗粒漂浮在腔体内部而造成对玻璃基板的污染，实现了自动清洁的目的。这一系统结构简单，清洁程度比较彻底，实用性强，而且还不会对设备本身及玻璃基板造成伤害，能够使腔体内部清洁工作更加智能化。
[0046]本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
【权利要求】
1.一种自动除尘装置，其特征在于，包括: 腔体(1)，所述腔体(1)上设有使气体排出的输出端(6)； 电极板(2)，所述电极板(2)密封安装于所述腔体(1)上，电极板(2)上设有用于使气体进入的输入端(5)； 放电装置(3)，所述放电装置(3)与所述输入端(5)对应设置，用于使所述腔体(1)内的尘埃颗粒(7)带电； 电源(4)，所述电源⑷的两极分别连接于电极板⑵和腔体(1)，用于在所述腔体(1)内形成能够驱动尘埃颗粒(7)移动至所述输出端(6)的电场。
2.根据权利要求1所述的自动除尘装置，其特征在于，所述电极板(2)位于所述腔体(I)的顶部，所述电源⑷的正、负极分别与所述电极板(2)、腔体⑴的底板连接，用于在所述电极板(2)、腔体(1)的底板之间形成能够驱动尘埃颗粒(7)移动至所述输出端(6)的电场。
3.根据权利要求2所述的自动除尘装置，其特征在于，所述腔体(1)的底板上设有使气体排出的输出端(6)。
4.根据权利要求2所述的自动除尘装置，其特征在于，所述电极板(2)通过绝缘隔垫片(21)和橡胶密封圈(2 2)密封安装于所述腔体⑴的顶部，在所述电极板(2)上设有防护罩装置。
5.根据权利要求4所述的自动除尘装置，其特征在于，所述输入端(5)与输出端(6)之间设有用于防止尘埃颗粒(7)回流的孔板(9)。
6.根据权利要求5所述的自动除尘装置，其特征在于，所述孔板(9)上设有多个锥形孔(91)和用于支撑玻璃基板(10)的支撑柱(92)，所述锥形孔(91)的形状为一端孔径大，其另一端孔径小。
7.根据权利要求6所述的自动除尘装置，其特征在于，所述放电装置(3)包括放电针(31)和与所述放电针(31)相连的直流脉冲电源(32)，所述放电针(31)位于输入端(5)处，用于将输入端(5)处的气体电离产生正电荷，所述尘埃颗粒(7)与正电荷结合，并在所述电场的驱动下穿过锥形孔(91)移动至输出端(6)。
8.根据权利要求7所述的自动除尘装置，其特征在于，所述输出端(6)通过管道连接有用于对腔体(1)抽真空的真空泵。
9.根据权利要求8所述的自动除尘装置，其特征在于，所述管道上设有真空阀。
10.一种镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的自动除尘装置。
【文档编号】B08B6/00GK203803861SQ201420245819
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2014年5月14日 优先权日:2014年5月14日
【发明者】艾青南, 周贺, 张贺攀 申请人:北京京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司