6底面平行的吹气平台水平方向直线运动轴8、吹气平台垂直方向直线运动轴9，吹气平台水平方向直线运动轴8、吹气平台垂直方向直线运动轴9的外侧与吹气平台二维直线驱动机组7的齿轮连接，吹气平台水平方向直线运动轴8的内侧端头设有压缩空气喷嘴12，压缩空气喷嘴12的上方与偏转电机13固定连接，下方设置有减压阀11。所述的吹气平台水平方向直线运动轴8与滴胶平台水平方向直线运动轴2对应设置，端头相对。所述的空压机组14设置在底座16内，空压机组14通过气管10与压缩空气喷嘴12连接。在底座16的凹处设置有容胶池15，容胶池15为“W”型结构，容胶池15中心设置有用于安装工件18的凸起部分，容胶池15内四周设置有用于收集散落光刻胶的凹陷处。
[0015]所述的滴胶平台水平方向直线运动轴2、吹气平台水平方向直线运动轴8、拉杆5为同轴心设置。滴胶器6向工件表面滴涂光刻胶，压缩空气喷嘴12向光刻胶表面吹送压缩空气，控制胶层厚度。滴胶平台二维直线驱动机组1驱动其带动滴胶器6运动至目标位置。旋转电机4驱动拉杆5沿水平方向运动，带动拉杆5末端挤压滴胶器6外部，挤出储存在滴胶器6内部的光刻胶，滴落在工件表面。吹气平台二维直线驱动机组7驱动其带动压缩空气喷嘴12运动至目标位置。偏转电机13驱动压缩空气喷嘴12转动，调节出风口的方向。气管10连接空压机组14和压缩空气喷嘴12，设置在压缩空气喷嘴12上的减压阀11调节出风口的空气压力。
[0016]本实用新型的工作流程如下:
[0017]本实用新型中的滴胶平台水平方向直线运动轴2、滴胶平台垂直方向直线运动轴3设置在底座16上，滴胶平台二维直线驱动机组1驱动滴胶平台水平方向直线运动轴2、滴胶平台垂直方向直线运动轴3带动滴胶器6运动，旋转电机4、拉杆5和滴胶器6设置在滴胶平台水平方向直线运动轴2上，旋转电机4驱动拉杆5沿水平方向运动，带动拉杆5末端挤压滴胶器6外部，挤出储存在滴胶器6内部的光刻胶，滴落在工件表面，完成滴胶后，滴胶平台二维直线驱动机组1驱动水平和垂直方向的运动轴，带动滴胶器6移出工件18正上方。吹气平台二维直线驱动机组7驱动设置在底座16上的水平方向直线运动轴8、吹气平台垂直方向直线运动轴9，带动设置在吹气平台水平方向直线运动轴8上的压缩空气喷嘴12、偏转电机13运动至工件正上方，偏转电机13驱动压缩空气喷嘴12转动，调节出风口的方向，气管10连接空压机组14和压缩空气喷嘴12向工件18表面吹送压缩空气，并通过设置在压缩空气喷嘴12上的减压阀11调节出风口的空气压力。容胶池15设置在底座16上，具有“W”型结构，容胶池15中心凸起部分用于安装工件，容胶池15四周凹陷部分用于收集多余的光刻胶。
【主权项】
1.一种光刻胶吹涂装置，其特征在于，所述的装置含有滴胶平台二维直线驱动机组(1)、滴胶平台水平方向直线运动轴(2)、滴胶平台垂直方向直线运动轴(3)、旋转电机(4)、挤胶机构、滴胶器(6)、吹气平台二维直线驱动机组(7)、吹气平台水平方向直线运动轴(8)、吹气平台垂直方向直线运动轴(9)、气管(10)、减压阀(11)、压缩空气喷嘴(12)、偏转电机(13)、空压机组(14)、容胶池(15)、底座(16)，其中，挤胶机构包括拉杆(5)、应变片(17);其连接关系是，所述的底座(16)外形为凹状，底座(16)两方凸出的部分对称设置；底座(16)凸出的一方依次设置有与底座(16)底面平行的滴胶平台水平方向直线运动轴(2)、滴胶平台垂直方向直线运动轴(3)，所述的滴胶平台水平方向直线运动轴(2)、滴胶平台垂直方向直线运动轴(3)外侧与滴胶平台二维直线驱动机组(1)连接，滴胶平台水平方向直线运动轴(2)的中心轴设置有拉杆(5)，拉杆(5)的顶端连接有应变片(17)，滴胶器(6)嵌入在滴胶平台水平方向直线运动轴(2)的内侧端头；在滴胶平台水平方向直线运动轴(2)上设置有用于驱动拉杆(5)的旋转电机(4);底座(16)凸出的另一方依次设置有与底座(16)底面平行的吹气平台水平方向直线运动轴(8)、吹气平台垂直方向直线运动轴(9)，吹气平台水平方向直线运动轴(8)、吹气平台垂直方向直线运动轴(9)的外侧与吹气平台二维直线驱动机组(7)连接，吹气平台水平方向直线运动轴(8)的内侧端头设有压缩空气喷嘴(12)，压缩空气喷嘴(12)的上方与偏转电机(13)固定连接，下方设置有减压阀(11);所述的吹气平台水平方向直线运动轴(8)与滴胶平台水平方向直线运动轴(2)对应设置，端头相对；所述的空压机组(14)设置在底座(16)内，空压机组(14)通过气管(10)与压缩空气喷嘴(12)连接；在底座(16)的凹处设置有容胶池(15)，容胶池(15)为“W”型结构，容胶池(15)中心设置有用于安装工件(18)的凸起部分，容胶池(15)内四周设置有用于收集散落光刻胶的凹陷处。2.据权利要求1所述的光刻胶吹涂装置，其特征在于，所述的滴胶平台水平方向直线运动轴(2)、吹气平台水平方向直线运动轴(8)、拉杆(5)为同轴心设置。
【专利摘要】本实用新型提供了一种光刻胶吹涂装置。所述装置包括两套二维直线驱动机组、水平方向直线运动轴、垂直方向直线运动轴，还包括旋转电机、挤胶机构、滴胶器、偏转电机、压缩空气喷嘴、空压机组、溶胶池。其中一套二维直线驱动机组驱动水平和垂直方向的运动轴，使滴胶器位于工件上方，旋转电机驱动挤胶机构向工件表面滴胶，另一套二维直线驱动机组采用相同方法驱动压缩空气喷嘴至工件上方，开启空压机组向胶层表面吹送压缩空气，通过偏转电机转动压缩空气喷嘴调整气流方向，通过减压阀调节出口压力。本实用新型的装置适用于向工件表面滴光刻胶，以及通过吹送压缩空气进行胶层厚度控制。本实用新型能够实现平面、复杂曲面的光刻胶涂覆，功能强、应用范围广。
【IPC分类】G03F7/18
【公开号】CN205038435
【申请号】CN201520402127
【发明人】蒋柏斌, 袁光辉, 杨洪, 魏胜, 谢军, 杜凯, 任伟
【申请人】中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【公开日】2016年2月17日
【申请日】2015年6月12日