专利名称：蒸镀方法与蒸镀设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种镀物方法与镀物设备，且特别是涉及一种蒸镀方法与蒸镀设备。
背景技术：
有机电激发光显示装置是一种自发光型的显示装置，无需使用背光模块，故可省去背光模块的制造成本以及背光模块本身所消耗的能源。此外，由于有机电激发光显示装置无视角问题，且具有全彩化、高应答速度等特性，故有机电激发光显示装置已经成为一种兼具性能及环保概念的平面显示装置。相似地，太阳能电池也因属环保能源而成为热门的明星商品。在有机电激发光显示装置及太阳能电池的制造上，多成分蒸镀的良率为影响 发光均匀及太阳能电池效率的关键。然而，不同的有机材料蒸发(升华)温度不同，浓度及成分比例控制困难，且需避免材料裂解或化学反应。此外，不同的有机材料蒸发(升华)分子扩散速率不同，且无一定方向性，因此成分比例控制不易，且材料利用率低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种蒸镀设备，可精确控制蒸镀材料的成分比例。本发明另一目的在于提供一种蒸镀方法，可精确控制蒸镀材料的成分比例。为达上述目的，本发明的蒸镀方法包括下列步骤。使一第一气体与一第二气体在一第一腔室混合。使混合后的第一气体与第二气体从第一腔室进入一第二腔室。使第二腔室内的混合后的第一气体与第二气体离开第二腔室。在本发明的一实施例中，第一气体是由一第一祀材加热形成。在本发明的一实施例中，第一气体与第二气体是以临界流的状态进入第一腔室。在本发明的一实施例中，混合后的第一气体与第二气体是以临界流的状态从第一腔室进入第二腔室。在本发明的一实施例中，混合后的第一气体与第二气体是以临界流的状态离开第
二腔室。在本发明的一实施例中，蒸镀方法还包括引入一鞘层气体(sheath gas)至第二腔室，并以鞘层气体产生强制对流而将混合后的第一气体与第二气体带离第二腔室。在本发明的一实施例中，蒸镀方法还包括下列步骤。使一第三气体、第一气体与一第二气体在第一腔室混合。使混合后的第一气体、第二气体与第三气体从第一腔室进入第二腔室。使第二腔室内的混合后的第一气体、第二气体与第三气体离开第二腔室。本发明的蒸镀设备包括一腔体、至少一第一蒸镀源以及至少一第二蒸镀源。腔体具有一第一腔室、一第二腔室、一出口、一连通口、至少一第一入口与至少一第二入口。连通口连接第一腔室与第二腔室，出口位于第二腔室。第一蒸镀源配置于第一入口，第二蒸镀源配置于第二入口。第一蒸镀源提供的一第一气体经由第一入口进入第一腔室。第二蒸镀源提供的一第二气体经由第二入口进入第一腔室。进入第一腔室的第一气体与第二气体在第一腔室内混合后，经由连通口进入第二腔室，再经由出口离开第二腔室。在本发明的一实施例中，至少一第一入口、至少一第二入口、至少一第一蒸镀源与至少一第二蒸镀源的数量分别为多个。在本发明的一实施例中，出口为狭缝型开口。此外，出口的宽度例如介于O. 8毫米至3. 2毫米。在本发明的一实施例中，蒸镀设备还包括至少一第三蒸镀源。腔体还具有至少一第三入口，第三蒸镀源配置于第三入口。第一气体、第二气体与第三蒸镀源提供的一第三气体在第一腔室内混合后，经由连通口进入第二腔室，再经由出口离开第二腔室。在本发明的一实施例中，腔体还具有至少一第三入口，用以供一鞘层气体(sheathgas)经由第三入口进入第二腔室，并以鞘层气体产生强制对流而将混合后的第一气体与第二气体经由出口带离第二腔室。
在本发明的一实施例中，第一入口与第二入口的孔径介于O. I毫米至I. 2毫米。在本发明的一实施例中，连通口的孔径介于I毫米至2. 4毫米。基于上述，在本发明的蒸镀方法与蒸镀设备中，蒸镀气体先在第一腔室以特定比例充分混合后，再进入第二腔室并从出口离开第二腔室。因此，可精确控制镀膜的成分比例。为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。
图I是本发明一实施例的蒸镀设备的剖面示意图；图2是图I的蒸镀设备的立体示意图。主要元件符号说明50 :待镀物100 :蒸镀设备110:腔体112:第一腔室114:第二腔室 114116:出口118:连通口120 :第一蒸镀源130 :第二蒸镀源140 :第三蒸镀源P12:第一入口P14:第二入口P16:第三入口P18:入口Gl2 :第一气体G14 :第二气体
G16:第三气体G18 :銷层气体(sheath gas)
具体实施例方式本发明一实施例的蒸镀方法是先让一第一气体与一第二气体在一第一腔室混合。接着，使混合后的第一气体与第二气体从第一腔室进入一第二腔室。之后，使第二腔室内的混合后的第一气体与第二气体离开第二腔室而镀于一待镀物上。以下，将搭配图I与图2的蒸镀设备100举例说明本实施例的蒸镀方法，但本发明的蒸镀方法不一定要搭配图I与图2的蒸镀设备100，而蒸镀设备100也不限于仅能用于实施本实施例的蒸镀方法。图I是本发明一实施例的蒸镀设备的剖面示意图，而图2是图I的蒸镀设备的立体示意图。请参照图I与图2,本实施例的蒸镀设备100包括一腔体110、至少一第一蒸镀源120以及至少一第二蒸镀源130。腔体110具有一第一腔室112、一第二腔室114、一出口116、一连通口 118、至少一第一入口 P12与至少一第二入口 P14。连通口 118连接第一腔室 112与第二腔室114，出口 116位于第二腔室114。第一蒸镀源120配置于第一入口 P12，第二蒸镀源130配置于第二入口 P14。本实施例中，第一蒸镀源120与第二蒸镀源P14的数量都以多个为例，但也可能各仅有一个，而第一入口 P12与第二入口 P14的数量则随第一蒸镀源120与第二蒸镀源P14的数量变化。另外，本实施例的连通口 118的数量也以多个为例，但也可能各仅有一个，且连通口 118的数量与第一入口 P12与第二入口 P14的数量无特定关系。第一蒸镀源120提供的一第一气体G12经由第一入口 P12进入第一腔室112。第二蒸镀源130提供的一第二气体G14经由第二入口 P14进入第一腔室112。进入第一腔室112的第一气体G12与第二气体G14在第一腔室112内混合后，经由连通口 118而进入第二腔室114，再经由出口 116而镀于一待镀物50上。根据上述可知，由于第一气体G12与第二气体G14在先在第一腔室112内进行混合，因此可在此阶段精确控制气体的混合的成分比例。接着，完成混合后的第一气体G12与第二气体G14先进入第二腔室114，再从第二腔室114经由出口 116而镀于待镀物50上。另外，通过适当地让蒸镀设备100与待镀物50之间产生相对移动，可快速且均匀地完成大面积的蒸镀作业。本实施例的蒸镀设备100还包括至少一第三蒸镀源140。腔体110还具有至少一第三入口 P16，第三蒸镀源140配置于第三入口 P16。第一气体G12、第二气体G14与第三蒸镀源140提供的一第三气体G16在第一腔室112内混合后，经由连通口 118进入第二腔室114，再经由出口 116而镀于待镀物50上。换言之，本实施例的蒸镀设备100与蒸镀方法可进行多种材料的共蒸镀。本实施例中，第一气体G12是由一第一靶材加热形成，第二气体G14是由一第二靶材加热形成，而第三气体G16是由一第三靶材加热形成。第一靶材、第二靶材与第三靶材例如分别是铟(In)、镓(Ga)与硒(Se)。本实施例中，第一气体G12、第二气体G14与第三气体G16是以临界流的状态进入第一腔室112。临界流的状态是指气体通过开口的流量已达最大值，即使气体来源端的压力值继续升高，气体通过开口的流量也不会继续增加。因此，通过让第一气体G12、第二气体G14与第三气体G16是以临界流的状态进入第一腔室112，可控制第一气体G12、第二气体G14与第三气体G16以固定比例进入第一腔室112，进而获得成分比例固定的混合气体。此外，本实施例中混合后的第一气体G12、第二气体G14与第三气体G16是以临界流的状态从第一腔室112进入第二腔室114。另外,本实施例中混合后的第一气体G12、第二气体G14与第三气体G16也可以临界流的状态离开第二腔室114，以便于控制待镀物50上的蒸镀物的沈积速率。以上，都以描述同时具有第一气体G12、第二气体G14与第三气体G16的情况为例，但在只有第一气体G12与第二气体G14或还有更多蒸镀气体的状况下，同样可利用使气体维持在临界流的状态的方式来精确掌握蒸镀参数。本实施例的腔体110可还具有至少一入口 P18，用以供一鞘层气体G18经由入口P18进入第二腔室114，并以鞘层气体G18产生强制对流而将混合后的第一气体G12与第二气体G14经由出口 116带离第二腔室114。鞘层气体G18具有防止第一气体G12与第二气体G14镀于出口 116而导致出口 116阻塞的功能。本实施例的出口 116为狭缝型开口，狭缝型开口适合进行连续且大面积的蒸镀作业，材料使用率高，镀膜速率高，工时短，可有效降低成本并提高品质。另外，出口 116的孔径由第二腔室114朝向外界逐渐缩小，此种渐缩设计可预防出口 116的两侧生成涡漩流，进 而防止气体停滞而镀于出口 116的两侧上。本实施例的第一入口 P12与第二入口 P14的孔径介于O. I毫米至I. 2毫米，连通口 118的孔径介于I毫米至2. 4毫米，出口 116的宽度介于O. 8毫米至3. 2毫米。综上所述，在本发明的蒸镀方法与蒸镀设备中，腔体被区分为两个腔室，蒸镀气体先在第一腔室以特定比例充分混合后，才进入第二腔室，接着从出口离开而镀于待镀物上。因此，本发明的蒸镀方法与蒸镀设备可精确控制镀膜的成分比例。虽然结合以上实施例揭露了本发明，然而其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中熟悉此技术者，在不脱离本发明的精神和范围内，可作些许的更动与润饰，故本发明的保护范围应以附上的权利要求所界定的为准。
权利要求
1.一种蒸镀方法，包括 使一第一气体与一第二气体以临界流的状态进入第一腔室并混合； 使混合后的该第一气体与该第二气体从该第一腔室进入一第二腔室；以及 使该第二腔室内的混合后的该第一气体与该第二气体离开该第二腔室。
2.如权利要求I所述的蒸镀方法，其中该第一气体是由一第一靶材加热形成。
3.如权利要求I所述的蒸镀方法，其中该第二气体是由一第二靶材加热形成。
4.如权利要求I所述的蒸镀方法，其中混合后的该第一气体与该第二气体是以临界流的状态从该第一腔室进入该第二腔室。
5.如权利要求I所述的蒸镀方法，其中混合后的该第一气体与该第二气体是以临界流的状态离开该第二腔室。
6.如权利要求I所述的蒸镀方法，还包括引入一鞘层气体至该第二腔室，并以该鞘层气体产生强制对流而将混合后的该第一气体与该第二气体带离该第二腔室。
7.如权利要求I所述的蒸镀方法，还包括使一第三气体、该第一气体与一第二气体在该第一腔室混合； 使混合后的该第一气体、该第二气体与该第三气体从该第一腔室进入该第二腔室；以及 使该第二腔室内的混合后的该第一气体、该第二气体与该第三气体离开该第二腔室。
8.一种蒸镀设备，包括 腔体，具有第一腔室、第二腔室、出口、连通口、至少一第一入口与至少一第二入口，其中该连通口连接该第一腔室与该第二腔室，该出口位于该第二腔室； 至少一第一蒸镀源，配置于该第一入口 ；以及 至少一第二蒸镀源，配置于该第二入口，其中该第一蒸镀源提供的一第一气体经由该第一入口进入该第一腔室，该第二蒸镀源提供的一第二气体经由该第二入口进入该第一腔室，进入该第一腔室的该第一气体与该第二气体在该第一腔室内混合后，经由该连通口进入该第二腔室，再经由该出口离开该第二腔室。
9.如权利要求8所述的蒸镀设备，其中该至少一第一入口、该至少一第二入口、该至少一第一蒸镀源与该至少一第二蒸镀源的数量分别为多个。
10.如权利要求8所述的蒸镀设备，其中该出口为狭缝型开口。
11.如权利要求10所述的蒸镀设备，其中该出口的宽度介于O.8毫米至3. 2毫米。
12.如权利要求8所述的蒸镀设备，还包括至少一第三蒸镀源，其中该腔体还具有至少一第三入口，该第三蒸镀源配置于该第三入口，该第一气体、该第二气体与该第三蒸镀源提供的一第三气体在该第一腔室内混合后，经由该连通口进入该第二腔室，再经由该出口而离开该第二腔室。
13.如权利要求8所述的蒸镀设备，其中该腔体还具有至少一第三入口，用以供一鞘层气体经由该第三入口进入该第二腔室，并以该鞘层气体产生强制对流而将混合后的该第一气体与该第二气体经由该出口带离该第二腔室。
14.如权利要求8所述的蒸镀设备，其中该第一入口与该第二入口的孔径介于O.I毫米至I. 2毫米。
15.如权利要求8所述的蒸镀设备，其中该连通口的孔径介于I毫米至2.4毫米。
全文摘要
本发明公开一种蒸镀方法与蒸镀设备。该蒸镀设备包括一腔体、至少一第一蒸镀源以及至少一第二蒸镀源。腔体具有一第一腔室、一第二腔室、一出口、一连通口、至少一第一入口与至少一第二入口。第一蒸镀源配置于第一入口，第二蒸镀源配置于第二入口。第一蒸镀源提供的一第一气体经由第一入口进入第一腔室。第二蒸镀源提供的一第二气体经由第二入口进入第一腔室，进入第一腔室的第一气体与该第二气体在第一腔室内混合后，经由连通口进入第二腔室，再经由出口离开第二腔室。
文档编号C23C14/24GK102888587SQ20111024290
公开日2013年1月23日 申请日期2011年8月23日 优先权日2011年7月21日
发明者王庆钧, 陈建志, 黄智勇 申请人:财团法人工业技术研究院