带扩张装置制造方法

带扩张装置制造方法
【专利摘要】一种带扩张装置，即使夹持粘接带的对置的2个边进行拉伸使粘接带扩张垂直的2个边也不会缩小，即使在夹持了垂直的2个边的状态下也能使粘接带充分扩张。其具备：第1夹持构件，夹持带的第1边；第2夹持构件，夹持与第1边对置的第2边；第3夹持构件，夹持与第1边垂直的第3边；第4夹持构件，夹持与第3边对置的第4边；和扩张构件，使第1至第4夹持构件分别在与所夹持的各边垂直的方向移动，第1至第4夹持构件分别具备下侧夹持机构和上侧夹持机构，在下侧夹持机构的上部配设有多个辊子，在上侧夹持机构的下部配设有多个辊子，第1及第2夹持构件和/或者第3及第4夹持构件中，下侧和上侧夹持机构由中央夹持区域和端部夹持区域构成，端部夹持区域分别配置成比中央夹持区域向互相对置的一侧突出。
【专利说明】带扩张装置

【技术领域】
[0001] 本发明涉及用于使粘贴有晶片的粘接带扩张来对晶片施加外力的带扩张装置。

【背景技术】
[0002] 在半导体器件制造工序中，在为大致圆板形状的半导体晶片的表面由呈格子状排 列的被称作间隔道的分割预定线划分出多个区域，在该划分出的区域形成IC (Integrated Circuit:集成电路)、LSI (Large-scale Integration:大规模集成电路）等器件。并且，通 过沿间隔道将半导体晶片切断，由此分割形成有器件区域，制造出一个个的器件。另外，对 于在蓝宝石基板的表面层叠氮化镓系化合物半导体等而成的光器件晶片，也通过沿规定的 分割预定线切断，而将其分割成一个个的发光二极管、激光二极管等光器件，广泛应用于电 气设备。
[0003] 作为分割上述的半导体晶片或光器件晶片等被加工物的方法，下述这样的方法被 实际应用：使用对该被加工物具有透射性的波长的脉冲激光光线，将聚光点对准应该分割 的区域的内部进行照射，沿着间隔道在被加工物的内部连续地形成改性层，沿着因形成该 改性层而强度降低了的间隔道施加外力，由此分割被加工物。（例如，参照专利文献1。）
[0004] 并且，作为沿着因形成该改性层而强度降低了的间隔道施加外力的技术，在下述 专利文献2中记载了这样的技术：使粘贴有晶片的粘接带扩张，然后，在使粘接带扩张的状 态下，将环状的框架围绕着被分割成一个个器件的晶片粘贴于粘接带。
[0005] 专利文献1 :日本特许第3408805号公报
[0006] 专利文献2 :日本特开2006-229021号公报
[0007] 并且，上述专利文献2所记载的使粘贴有晶片的粘接带扩张的技术存在这样的问 题：由于是夹着粘接带的对置的2个边拉伸的方法，因此，垂直的2个边缩小，使得粘贴于粘 接带的一个个的分割出的器件受到损伤。另外，如果在夹持着垂直的2个边的状态下拉伸 对置的两个边，则存在粘接带未充分扩张这样的问题。


【发明内容】

[0008] 本发明是鉴于上述的情况完成的，其主要的技术课题在于提供一种带扩张装置， 即使夹持着粘接带的对置的2个边进行拉伸使粘接带扩张，粘接带的垂直的2个边也不会 缩小，并且，即使在夹持了垂直的2个边的状态下，也能够使粘接带充分扩张。
[0009] 为了解决上述的技术课题，根据本发明，提供一种带扩张装置，其对矩形的带进行 扩张，所述带扩张装置的特征在于，
[0010] 所述带扩张装置具备：
[0011] 第1夹持构件，其夹持带的第1边；第2夹持构件，其夹持带的与该第1边对置的 第2边；第3夹持构件，其夹持带的与该第1边和该第2边垂直的第3边；第4夹持构件，其 夹持带的与该第3边对置的第4边；和扩张构件，其使该第1夹持构件、该第2夹持构件、该 第3夹持构件和该第4夹持构件分别在与所夹持的各边垂直的方向上移动，
[0012] 该第1夹持构件、该第2夹持构件、该第3夹持构件和该第4夹持构件分别具备下 侧夹持机构和上侧夹持机构，在该下侧夹持机构的上部配设有在沿着所夹持的边的方向上 旋转的多个辊子，在该上侧夹持机构的下部，配设有在沿着所夹持的边的方向上旋转的多 个辊子，
[0013] 该下侧夹持机构和该上侧夹持机构中的任一方由下述部分构成：支承块，其使2 个辊子具有规定的间隔，并将这2个辊子支承成能够旋转；和按压构件，其按压该支承块上 的将2个辊子的间隔2等分的作用位置，
[0014] 在该第1夹持构件及该第2夹持构件两者和/或该第3夹持构件及该第4夹持构 件两者中，该下侧夹持机构和该上侧夹持机构由中央夹持区域和位于该中央夹持区域的两 侧的端部夹持区域构成，该端部夹持区域分别配置成比该中央夹持区域向互相对置的一侧 突出。
[0015] 在被上述第1夹持构件、第2夹持构件、第3夹持构件和第4夹持构件包围的中 央配设有用于圆形工作台，第1夹持构件及该第2夹持构件两者和/或第3夹持构件及第 4夹持构件两者的下侧夹持机构和上侧夹持机构中的该端部夹持区域被定位成以仿照圆形 工作台的外周的方式突出。
[0016] 上述按压构件由下述部分构成：按压块，其在2个支承块的作用位置处将2个支承 块分别支承成能够旋转；和致动器，其按压该按压块上的将2个支承块的该作用位置2等分 的按压位置。
[0017] 在根据本发明构成的带扩张装置中，由于第1夹持构件、第2夹持构件、第3夹持 构件和第4夹持构件分别具备下侧夹持机构和上侧夹持机构，在下侧夹持机构的上部配设 有在沿着所夹持的边的方向上旋转的多个辊子，在上侧夹持机构的下部配设有在沿着所夹 持的边的方向上旋转的多个辊子，因此，例如在夹持着粘接带的第3边和第4边进行扩张 时，即使利用夹持与第3边和第4边垂直的第1边和第2边的第1夹持构件和第2夹持构 件的下侧夹持机构和上侧夹持机构进行了夹持，由于在下侧夹持机构和上侧夹持机构上配 设的多个辊子旋转，因此粘接带能够被充分地扩张。另外，在夹持着粘接带的第1边和第2 边进行扩张时，即使利用夹持与第1边和第2边垂直的第3边和第4边的第3夹持构件和 第4夹持构件的下侧夹持机构和上侧夹持机构进行了夹持，由于在下侧夹持机构和上侧夹 持机构上配设的多个辊子旋转，因此粘接带能够被充分地扩张。
[0018] 另外，在本发明的带扩张装置中，由于下侧夹持机构和上侧夹持机构中的任意一 方具备：支承块，其使2个辊子具有规定的间隔，并将这2个辊子支承成能够旋转；和按压 构件，其按压支承块上的将2个辊子的间隔2等分的作用位置，因此，支承有2个辊子的多 个支承块分别在将2个辊子的间隔2等分的作用位置被按压，因此，构成为一对的所有2个 辊子能够与配设在上侧夹持机构或下侧夹持机构的下侧夹持部件上的多个辊子以均匀的 力夹持粘接带1的各边。
[0019] 另外，在本发明的带扩张装置中，在第1夹持构件及第2夹持构件两者和/或第3 夹持构件及第4夹持构件两者中，下侧夹持机构和上侧夹持机构由中央夹持区域和位于中 央夹持区域的两侧的端部夹持区域构成，端部夹持区域分别配置成比中央夹持区域向互相 对置的一侧突出，因此，在扩张带时，能够克服四角的带的拉伸力牢固地进行夹持。

【专利附图】

【附图说明】
[0020] 图1是根据本发明构成的带扩张装置的立体图。
[0021] 图2是构成图1所示的带扩张装置的上侧夹持机构的主要部分立体图。
[0022] 图3是将图2所示的上侧夹持机构的主要部分分解示出的立体图。
[0023] 图4是将构成图1所示的带扩张装置的夹持构件的下侧夹持机构和上侧夹持机构 的主要部分放大示出的主视图。
[0024] 图5是使用图1所示的带扩张装置实施的带夹持工序的说明图。
[0025] 图6是使用图1所示的带扩张装置实施的第1带扩张工序的说明图。
[0026] 图7是使用图1所示的带扩张装置实施的第2带扩张工序的说明图。
[0027] 图8是示出在实施了第1带扩张工序和第2带扩张工序后的粘接带上粘贴的被分 割成一个一个的器件的状态的说明图。
[0028] 图9是使用图1所示的带扩张装置实施的框架安装工序的说明图。
[0029] 图10是示出下述状态的剖视图：实施了图9所示的框架安装工序，在分割成一个 一个的器件之间形成有间隔（s)的晶片10经由粘接带被支承于环状的框架。
[0030] 图11是通过带扩张装置进行扩张的粘接带的俯视图。
[0031] 标号说明
[0032] 1 :粘接带；
[0033] 2 :带扩张装置；
[0034] 20 :固定基座；
[0035] 3:圆形工作台；
[0036] 4a :第1夹持构件；
[0037] 4b :第2夹持构件；
[0038] 4c :第3夹持构件；
[0039] 4d :第4夹持构件；
[0040] 41 :可动基座；
[0041] 42A、42B :下侧夹持机构；
[0042] 422A、422B :下侧夹持部件；
[0043] 423 :辊子；
[0044] 43A、43B :上侧夹持机构；
[0045] 433 :辊子；
[0046] 4：34 :支承块；
[0047] 435 :按压构件；
[0048] 436 :按压块；
[0049] 437 :致动器；
[0050] 44 :第1移动机构；
[0051] 45:第2移动机构；
[0052] 5a :第1带扩张构件；
[0053] 5b :第2带扩张构件；
[0054] 5c :第3带扩张构件；
[0055] 5d :第4带扩张构件；
[0056] 7 :环状的框架；
[0057] 10:晶片。

【具体实施方式】
[0058] 以下，参照附图，对根据本发明构成的带扩张装置的优选的实施方式详细地进行 说明。
[0059] 在图11中示出了通过带扩张装置进行扩张的粘接带的俯视图。图示的粘接带1 形成为正方形(矩形)，且具备：第1边la ;第2边lb，其与该第1边la对置；第3边lc，其 与该第1边la和该第2边lb垂直；和第4边ld，其与该第3边lc对置。在这样形成的粘 接带1的表面涂布有粘接层，在其表面的中央部粘贴有晶片10。并且，对于晶片10,在图示 的实施方式中，在表面l〇a呈格子状形成有多个间隔道101，并且，晶片10由在被该多个间 隔道101划分出的多个区域中分别形成有器件102的半导体晶片构成，晶片10被沿着间隔 道101分割成了一个个器件102。
[0060] 接下来，对于用于扩张粘接带1的带扩张装置参照图1至图3进行说明，在所述粘 接带1上粘贴有被分割成上述的一个个器件102的晶片10。
[0061] 在图1中示出了根据本发明构成的带扩张装置的一个实施方式的立体图。
[0062] 图1所示的实施方式中的带扩张装置2具备：固定基座20 ;圆形工作台3,其配设 在该固定基座20的中央部上表面，载置上述粘接带1 ;第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、 第3夹持构件4c和第4夹持构件4d，它们围绕着该圆形工作台3配设，对被载置于圆形工 作台3上的上述粘接带1进行夹持；以及第1带扩张构件5a、第2带扩张构件5b、第3带扩 张构件5c和第4带扩张构件5d，它们分别使该第1夹持构件4a、该第2夹持构件4b、该第 3夹持构件4c和该第4夹持构件4d沿圆形工作台3的径向移动。并且，在图示的实施方 式中，第1夹持构件4a夹持上述粘接带1的第1边la，第2夹持构件4b夹持与第1边la 对置的第2边lb，第3夹持构件4c夹持与第1边la和第2边lb垂直的第3边lc，第4夹 持构件4d夹持与第3边lc对置的第4边Id。另外，第1带扩张构件5a、第2带扩张构件 5b、第3带扩张构件5c和第4带扩张构件5d使第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、第3夹 持构件4c和第4夹持构件4d分别在与所夹持的粘接带1的各边垂直的方向移动。
[0063] 上述固定基座20形成为矩形，在其上表面形成有第1引导槽201a、第2引导槽 201b、第3引导槽201c和第4引导槽201d，这些引导槽互相具有90度的角度地朝向上述圆 形工作台3的中心而形成。另外，固定基座20的形成有上述第1引导槽201a、第2引导槽 201b、第3引导槽201c和第4引导槽201d的外周部形成为向外方突出。
[0064] 上述圆形工作台3被支承构件30支承于固定基座20的上表面。该支承构件30 在图示的实施方式中构成为能够使圆形工作台3在上下方向上移动。
[0065] 上述第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、第3夹持构件4c和第4夹持构件4d分 别配设在形成于上述固定基座20的第1引导槽201a、第2引导槽201b、第3引导槽201c 和第4引导槽20Id上方。即，4个夹持构件4a、4b、4c、4d配设成在周向上互相具有相等的 角度。像这样配设在固定基座20上的第1夹持构件4a和第2夹持构件4b在图示的实施 方式中为相同的结构，且分别具备：可动基座41，其形成为L字状；下侧夹持机构42A和上 侧夹持机构43A，它们以能够在上下方向上移动的方式安装于该可动基座41 ;以及第1移动 机构44和第2移动机构45,它们使该下侧夹持机构42A和上侧夹持机构43A分别在上下 方向上移动。另外，第3夹持构件4c和第4夹持构件4d在图示的实施方式中为相同的结 构，且分别具备：可动基座41，其形成为L字状；下侧夹持机构42B和上侧夹持机构43B，它 们以能够在上下方向上移动的方式安装于该可动基座41 ;以及第1移动机构44和第2移 动机构45,它们使该下侧夹持机构42B和上侧夹持机构43B分别在上下方向上移动。这样， 第1夹持构件4a及第2夹持构件4b、同第3夹持构件4c及第4夹持构件4d除了下侧夹持 机构42A及上侧夹持机构43A和下侧夹持机构42B及上侧夹持机构43B以外，构成为相同 的结构。
[0066] 可动基座41由移动部411和支承部412构成，该支承部412从该移动部411的上 表面立起设置而形成。在移动部411的下表面设置有分别嵌合于上述第1引导槽201a、第 2引导槽201b、第3引导槽201c和第4引导槽201d中的被引导轨道411a，通过将该被引导 轨道411a分别嵌合于上述第1引导槽201a、第2引导槽201b、第3引导槽201c、第4引导 槽201d中，可动基座41以能够分别沿着上述第1引导槽201a、第2引导槽201b、第3引导 槽201c、第4引导槽201d移动的方式构成在固定基座20上。另外，在移动部411中贯穿形 成有内螺纹411b。在上述支承部412的内侧的面(互相对置的一侧的面）上设置有在上下 方向上延伸的导轨412a，在上述支承部412的外侧的面上形成有在上下方向上延伸的长槽 412b。另外，在导轨412a上形成有长孔412c，该长孔412c从内侧的面到达上述长槽412b， 且在上下方向上延伸。
[0067] 上述第1夹持构件4a和第2夹持构件4b的下侧夹持机构42A、42A分别由下述 部分构成：支承臂421，其配设成能够沿着在上述可动基座41的支承部412上设置的导轨 412a移动；和下侧夹持部件422A，其安装于该支承臂421。在支承臂421的基端设置有与 上述导轨412a嵌合的被引导槽421a，通过将该被引导槽421a与导轨412a嵌合，由此，支承 臂421构成为能够沿着可动基座41的支承部412的导轨412a在上下方向上移动。另外， 在支承臂421的基部设置有内螺纹块421c，该内螺纹块421c具备内螺纹421b，该内螺纹块 421c配设成贯插于上述长孔412c中。上述下侧夹持部件422A在图示的实施方式中形成为 长方体状，并且配设成长度方向朝向与被引导轨道411a垂直的方向。这样构成的下侧夹持 机构42A、42A的下侧夹持部件422A、422A分别具备中央夹持区域422a和位于该中央夹持 区域422a的两侧的端部夹持区域422b、422b，该端部夹持区域422b、422b配设成分别比中 央夹持区域422a向互相对置的一侧突出。在这样构成的下侧夹持部件422A、422A的夹持 面侧即上表面，配设有在下侧夹持部件422A的长度方向上旋转的多个辊子423。
[0068] 上述第3夹持构件4c和第4夹持构件4d的下侧夹持机构42B、42B分别由下述 部分构成：支承臂421，其配设成能够沿着在上述可动基座41的支承部412上设置的导轨 412a移动；和下侧夹持部件422B，其安装于该支承臂421。在支承臂421的基端设置有与 上述导轨412a嵌合的被引导槽421a，通过将该被引导槽421a与导轨412a嵌合，由此，支承 臂421构成为能够沿着可动基座41的支承部412的导轨412a在上下方向上移动。另外， 在支承臂421的基部设置有内螺纹块421c，该内螺纹块421c具备内螺纹421b，该内螺纹块 421c配设成贯插在上述长孔412c中。上述下侧夹持部件422在图示的实施方式中形成为 长方体状，并且配设成长度方向朝向与被引导轨道411a垂直的方向。这样构成的下侧夹持 机构42B、42B的下侧夹持部件422B、422B形成为直线状，且在夹持面侧即上表面配设有在 下侧夹持部件422B的长度方向上旋转的多个辊子423。
[0069] 上述第1夹持构件4a和第2夹持构件4b的上侧夹持机构43A、43A具备：支承臂 431，其配设成能够沿着在上述可动基座41的支承部412上设置的导轨412a移动；和支承 罩432A、432A，它们安装于该支承臂431上。在支承臂431的基端设置有与上述导轨412a 嵌合的被引导槽431a，通过将该被引导槽431a与导轨412a嵌合，由此，支承臂431构成为 在可动基座41的支承部412上能够沿着导轨412a在上下方向上移动。另外，在支承臂431 的基部设置有内螺纹块431c，该内螺纹块431c具备内螺纹431b，该内螺纹块421c配设成 贯插在上述长孔412c中。
[0070] 上述支承罩432A、432A分别具备中央夹持区域432a和位于该中央夹持区域432a 的两侧的端部夹持区域432b、432b，该端部夹持区域432b、432b配设成分别比中央夹持区 域432a向互相对置的一侧突出。对于上侧夹持机构43A、43A的配设在像这样构成的支承 罩432A、432A内的构成部件，参照图2和图3进行说明。图2和图3所示的上侧夹持机构 43A、43A分别具备：支承块434,其使2个辊子433具有规定的间隔并将它们支承成能够旋 转；和按压构件435,其按压该支承块上的将2个辊子的间隔2等分的作用位置。支承块 434具备辊子支承部434a和按压作用部434b，该按压作用部434b在该辊子支承部434a上 从上端水平延伸。在辊子支承部434a上隔开规定的间隔地配设有2个支承轴433a，辊子 433分别以能够旋转的方式支承于该2个支承轴433a。并且，在构成支承块434的按压作 用部434b上的将2个支承轴433a (2个辊子433)的间隔2等分的作用位置设有轴贯插孔 434c。这样构成的支承块434以2个为一对被按压构件435按压。
[0071] 按压构件435由下述部分构成：按压块436,其在2个支承块434的作用位置处将 2个支承块434分别支承成能够旋转；和致动器437,其按压该按压块436上的将2个支承 块434的作用位置2等分的按压位置。按压块436由上壁436a、侧壁436b及436c、和端壁 436d及436e构成，按压块436形成为下侧敞开的箱状。在像这样形成的按压块436的侧壁 436b上安装的2个支承轴(未图示)分别以能够旋转的方式嵌合于上述的在构成支承块434 的按压作用部434b上设置的轴贯插孔434c中。在像这样构成的按压块436的上壁436a 上，安装有用于连结致动器437的一对连结部件438a、438b。在一个连结部件438a上形成 有贯插孔438c，在另一个连结部件438b上形成有螺纹孔438d。致动器437在图示的实施 方式中由气缸机构构成，在其活塞杆437a的末端部形成有连结孔437b。将这样构成的致动 器437的活塞杆437a的末端部定位在一对连结部件438a、438b之间，将连结螺栓439贯穿 插入到在一个连结部件438a上形成的贯插孔438c和在活塞杆437a的末端部形成的连结 孔437b中，并螺合于在另一个连结部件438b上形成的螺纹孔438d中，由此，将构成致动器 437的活塞杆437a与安装在按压块436的上壁436a的上一对连结部件438a、438b连结起 来。这样构成的致动器437被安装在上述支承罩432A的上壁。
[0072] 如以上这样构成的上侧夹持机构43A、43A配设成与上述下侧夹持机构42A、42A对 置。S卩，将构成上侧夹持机构43A、43A的支承罩432A、432A的中央夹持区域432a和端部夹 持区域432b、432b定位成分别与构成下侧夹持机构42A、42A的下侧夹持机构42A、42A的中 央夹持区域422a和端部夹持区域422b、422b对置。并且，在上侧夹持机构43A的多个支承 块434上分别支承有2个的多个辊子433被配设成与在上述下侧夹持机构42A的下侧夹持 部件422A上配设的多个辊子423对置。并且，下侧夹持机构42A、42A中的端部夹持区域 422b、422b和上侧夹持机构43A、43A中的端部夹持区域432b、432b被定位成以仿照圆形工 作台3的外周的方式突出。
[0073] 返回图1继续说明，上述第3夹持构件4c和第4夹持构件4d的上侧夹持机构43B、 43B分别具有：支承臂431，其配设成能够沿着在上述可动基座41的支承部412上设置的导 轨412a移动；和支承罩432、432,它们安装于该支承臂431上。在支承臂431的基端设置 有与上述导轨412a嵌合的被引导槽431a，通过将该被引导槽431a与导轨412a嵌合，由此， 支承臂431构成为在可动基座41的支承部412上能够沿着导轨412a在上下方向上移动。 另外，在支承臂431的基部设置有内螺纹块431c，该内螺纹块431c具备内螺纹431b，该内 螺纹块421c配设成贯插在上述长孔412c中。
[0074] 上述支承罩432、432与下侧夹持机构42B、42B的下侧夹持部件422B、422B相对 应地形成为直线状，并且被定位成与下侧夹持部件422B、422B对置。在这样形成的支承罩 432、432内，在上述多个支承块434上分别支承有2个的多个辊子433配设成与在下侧夹持 部件422B上配设的多个辊子423对置。
[0075] 参照图1继续说明，使上述下侧夹持机构42A、42A和下侧夹持机构42B、42B分别 在上下方向上移动的第1移动机构44由下述部分构成：外螺纹杆441，其与导轨412a平行 地配设于在上述可动基座41的支承部412上形成的长槽412b内，并且与在上述支承臂421 的基部处设置的内螺纹块421c的内螺纹421b螺合；轴承442,其配设于可动基座41的支承 部412,将外螺纹杆441的一端部支承成能够旋转；以及脉冲马达443,其与外螺纹杆441的 另一端连结，用于驱动外螺纹杆441旋转。这样构成的第1移动机构44驱动脉冲马达443 使外螺纹杆441向一个方向或另一个方向转动，由此分别使下侧夹持机构42A、42A和下侧 夹持机构42B、42B沿着导轨412a在上下方向上移动。
[0076] 使上述上侧夹持机构43A、43A和上侧夹持机构43B、43B分别在上下方向上移动的 第2移动机构45是与上述第1移动机构44相同的结构，且配设在第1移动机构44的上 侦k即，第2移动机构45由下述部分构成：外螺纹杆451，其与导轨412a平行地配设于在 上述可动基座41的支承部412上形成的长槽412b内，并且与在上述支承臂431的基部处 设置的内螺纹块431c的内螺纹431b螺合；轴承452,其配设于可动基座41的支承部412， 将外螺纹杆451的一端部支承成能够旋转；以及脉冲马达453,其与外螺纹杆451的另一端 连结，用于驱动外螺纹杆451旋转。这样构成的第2移动机构45驱动脉冲马达453使外螺 纹杆451向一个方向或另一个方向转动，由此分别使上侧夹持机构43A、43A和上侧夹持机 构43B、43B沿着导轨412a在上下方向上移动。
[0077] 分别使上述第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、第3夹持构件4c、第4夹持构件 4d沿着圆形工作台3的径向移动的第1带扩张构件5a、第2带扩张构件5b、第3带扩张构 件5c、第4带扩张构件5d，分别沿着在上述固定基座20上形成的上述第1引导槽201a、第 2引导槽201b、第3引导槽201c、第4引导槽201d配设。该第1带扩张构件5a、第2带扩 张构件5b、第3带扩张构件5c、第4带扩张构件5d分别由下述部分构成：外螺纹杆51，其 配设成与第1引导槽201a、第2引导槽201b、第3引导槽201c、第4引导槽201d平行，且与 在上述可动基座41的移动部411上形成的内螺纹411b螺合；轴承52,其配设于上述固定 基座20,并且将外螺纹杆51的一端部支承成能够旋转；以及脉冲马达53,其与外螺纹杆51 的另一端连结，用于驱动外螺纹杆51旋转。这样构成的第1带扩张构件5a、第2带扩张构 件5b、第3带扩张构件5c、第4带扩张构件5d分别驱动脉冲马达53使外螺纹杆51向一个 方向或另一个方向转动，由此使第1夹持构件4a、第2夹持构件4b、第3夹持构件4c、第4 夹持构件4d分别沿着圆形工作台3的径向移动。
[0078] 图1至图3所示的实施方式中的带扩张装置2如以上这样构成，下面对其作用进 行说明。
[0079] 上述图11所示的在表面中央部粘贴有晶片10 (被分割成一个个的器件102)的粘 接带1通过未图示的搬送装置而被载置于圆形工作台3上。此时，粘接带1被载置成使第1 边la朝向第1夹持构件4a，使第2边lb朝向第2夹持构件4b，使第3边lc朝向第3夹持 构件4c，使第4边Id朝向第4夹持构件4d。并且，此时圆形工作台3的上表面被定位在上 述第1夹持构件4a和第2夹持构件4b的下侧夹持机构42A、42A以及第3夹持构件4c和 第4夹持构件4d的下侧夹持机构42B、42B、与第1夹持构件4a和第2夹持构件4b的上侧 夹持机构43A、43A以及第3夹持构件4c和第4夹持构件4d的上侧夹持机构43B、43B的中 间位置的高度。
[0080] 接下来，使第1带扩张构件5a、第2带扩张构件5b、第3带扩张构件5c、第4带扩 张构件5d工作，将第1夹持构件4a和第2夹持构件4b的下侧夹持机构42A、42A以及第3 夹持构件4c和第4夹持构件4d的下侧夹持机构42B、42B、与第1夹持构件4a和第2夹持 构件4b的上侧夹持机构43A、43A以及第3夹持构件4c和第4夹持构件4d的上侧夹持机 构43B、43B定位在能够夹持粘接带1的位置。然后，使构成第1夹持构件4a、第2夹持构 件4b、第3夹持构件4c、第4夹持构件4d的第1移动机构44和第2移动机构45工作，并 且，使构成上侧夹持机构43 (A、B)的致动器437工作，经按压块436将支承块434向下方 按压。其结果是，如图4和图5所示，利用在下侧夹持机构42 (A、B)的下侧夹持部件422 (A、B)上配设的多个辊子423、和上侧夹持机构43 (A、B)的在支承块434 (参照图3)(分 别被上侧夹持机构43 (A、B)的多个按压块436按压）各支承有2个的辊子433,夹持粘接 带1的各边(带夹持工序)。此时，各对2个辊子433进行支承的多个支承块434分别在将2 个辊子433的间隔2等分的作用位置被按压，因此，构成为一对的所有2个辊子433能够与 配设在下侧夹持机构42 (A、B)的下侧夹持部件422 (A、B)上的多个辊子423以均匀的力 夹持粘接带1的各边。在像这样夹持着粘接带1的各边的状态下，如图5所示，构成第1带 扩张构件5a和第2带扩张构件5b的上侧夹持机构43A、43A中的端部夹持区域432b、432b 的按压块436被定位成比中央夹持区域432a的按压块436向互相对置的一侧（中央侧）突 出。并且，虽然在图5中没有示出，但是，构成第1带扩张构件5a和第2带扩张构件5b的下 侧夹持机构42A、42A中的端部夹持区域422b、422b也被定位成比中央夹持区域422a靠互 相对置的一侧（中央侧)，并且被定位在与上侧夹持机构43A、43A中的端部夹持区域432b、 432b对置的位置。
[0081] 如图4和图5所示，在利用在下侧夹持机构42 (A、B)的下侧夹持部件422 (A、B) 上配设的多个辊子423、和上侧夹持机构43 (A、B)的在支承块434 (参照图3)(分别被多 个按压块436按压)各支承有2个的辊子433夹持粘接带1的各边后，例如使第3带扩张构 件5c和第4带扩张构件5d工作，如图6所示，使构成第3夹持构件4c和第4夹持构件4d 的下侧夹持机构42B和上侧夹持机构43B向图6中箭头A1和A2所示的方向（在图6中为 左右方向)移动。其结果是，粘接带1被向箭头A1和A2所示的方向(在图6中为左右方向） 拉伸而扩张(第1带扩张工序)。此时，粘接带1的第3边lc和第4边Id被构成第3夹持 构件4c和第4夹持构件4d的下侧夹持机构42B和上侧夹持机构43B夹持，第1夹持构件 4a和第2夹持构件4b夹持与粘接带1的第3边lc和第4边Id垂直的第1边la和第2边 lb，在第1夹持构件4a和第2夹持构件4b的构成下侧夹持机构42A的下侧夹持部件422A 上配设的多个辊子423和分别支承于支承块434 (分别被构成上侧夹持机构43A的多个按 压块436按压）的2个辊子433配设成在长度方向（沿着第1边la和第2边lb的方向）上 旋转，因此，当粘接带1被向箭头A1和A2所示的方向（在图6中为左右方向）拉伸而扩张 时，在构成下侧夹持机构42A的下侧夹持部件422A上配设的多个辊子423和分别支承于支 承块434 (分别被构成上侧夹持机构43A的多个按压块436按压)的2个辊子433旋转。因 此，在夹持着粘接带1的第3边lc和第4边Id进行扩张时，即使利用夹持与第3边lc和 第4边Id垂直的第1边la和第2边lb的第1夹持构件4a和第2夹持构件4b的下侧夹持 机构42A和上侧夹持机构43A进行了夹持，由于在构成下侧夹持机构42A的下侧夹持部件 422A上配设的多个辊子423和分别支承于支承块434 (分别被构成上侧夹持机构43A的多 个按压块436按压）的2个辊子433旋转，因此粘接带1能够被充分地扩张。另外，构成第 1带扩张构件5a和第2带扩张构件5b的下侧夹持机构42A、42A中的端部夹持区域422b、 422b、和构成第1带扩张构件5a和第2带扩张构件5b的上侧夹持机构43A、43A中的端部 夹持区域432b、432b分别被定位成比中央夹持区域422a和432a向互相对置的一侧（中央 侦D突出，因此，在扩张了粘接带1时，能够克服四角的带的拉伸力牢牢地进行夹持。并且， 由于上述下侧夹持机构42A、42A中的端部夹持区域422b、422b和上侧夹持机构43A、43A中 的端部夹持区域432b、432b被定位成以仿照圆形工作台3的外周的方式突出，因此，在扩张 了粘接带1时，能够克服四角的带的拉伸力牢牢地进行夹持。
[0082] 接下来，在上述的第6图所示的夹持着粘接带1的第3边lc和第4边Id进行了 扩张的状态下，如图7所示，使构成第1夹持构件4a和第2夹持构件4b的下侧夹持机构 42A和上侧夹持机构43A向图7中箭头B1和B2所示的方向（在图7中为上下方向）移动。 其结果是，粘接带1被向箭头B1和B2所示的方向(在图7中为上下方向）拉伸而扩张(第2 带扩张工序)。此时，粘接带1的第1边la和第2边lb被构成第1夹持构件4a和第2夹 持构件4b的下侧夹持机构42A和上侧夹持机构43A夹持，第3夹持构件4c和第4夹持构 件4d夹持与粘接带1的第1边la和第2边lb垂直的第3边lc和第4边ld，在第3夹持 构件4c和第4夹持构件4d的下侧夹持机构42B的下侧夹持部件422B上配设的多个辊子 423和上侧夹持机构43B的分别支承于支承块434(分别被上侧夹持机构43B的多个按压块 436按压）的2个辊子433被配设成在长度方向（沿着第3边lc和第4边Id的方向）上旋 转，因此，当粘接带1被向箭头B1和B2所示的方向（在图7中为上下方向）拉伸而扩张时， 在构成下侧夹持机构42B的下侧夹持部件422B上配设的多个辊子423和分别支承于支承 块434 (分别被构成上侧夹持机构43B的多个按压块436按压）的2个辊子433旋转。因 此，在夹持粘接带1的第1边la和第2边lb进行扩张时，即使利用夹持与第1边la和第 2边lb垂直的第3边lc和第4边Id的第3夹持构件4c和第4夹持构件4d的下侧夹持 机构42B和上侧夹持机构43B进行了夹持，由于在构成下侧夹持机构42B的下侧夹持部件 422B上配设的多个辊子423和分别支承于支承块434 (分别被构成上侧夹持机构43B的多 个按压块436按压）的2个辊子433旋转，因此粘接带1能够被充分地扩张。
[0083] 并且，在上述的实施方式中，示出了这样的例子：在夹持着粘接带1的第1边la及 第2边lb和第3边lc及第4边Id的状态下，分开实施使粘接带1的第3边lc和第4边 Id扩张的第1带扩张工序、和使粘接带1的第1边la和第2边lb扩张的第2带扩张工序， 但是，也可以同时实施第1带扩张工序和第2带扩张工序。
[0084] 通过如以上这样扩张粘接带1的第3边lc及第4边Id和第1边la及第2边lb， 由此，如图8所示，在粘贴在粘接带1上的晶片10被分割成一个个而成的器件102之间形 成了间隙S。
[0085] 并且，即使在器件的纵向和横向的尺寸不同、且配设于晶片的器件的纵列和横列 的数目不同的情况下，通过对应于配设的器件的数量调整粘接带1的第1边la及第2边lb 的扩张量和第3边lc及第4边Id的扩张量，能够使分割成一个个的器件之间的间隙S恒 定，并且能够使间隙形成在一条直线上。
[0086] 接下来，在粘贴于上述的粘接带1上的晶片10被分割成一个个而成的器件102之 间形成有间隙S的状态下，如图9所示，将环状的框架7安装于粘接带1的涂布有粘接层的 表面，该框架7具有收纳晶片10的大小的开口部70 (框架安装工序)。其结果是，如图10 所示，在分割成一个个的器件102之间形成有间隔（s)的晶片10被收纳于环状的框架7的 开口部70,该晶片10经由粘接带1被环状的框架7支承。这样，在将环状的框架7安装于 粘接带1的表面后，沿着环状的框架7的外周切断粘接带1。然后，经由粘接带1而被支承 于环状的框架7的晶片10 (在器件102之间形成有间隔（s))被搬送至拾取器件的拾取工 序。
[0087] 以上，基于图示的实施方式对本发明进行了说明，但本发明并不仅仅限定于实施 方式，能够在本发明的宗旨的范围内进行各种变形。在上述的实施方式中，示出了这样的 例子：构成第1带扩张构件5a和第2带扩张构件5b的下侧夹持机构42A、42A中的端部夹 持区域422b、422b、和构成第1带扩张构件5a和第2带扩张构件5b的上侧夹持机构43A、 43A中的端部夹持区域432b、432b分别被定位成比中央夹持区域422a和432a向互相对置 的一侧（中央侧)突出，但是，也可以将第3夹持构件4c和第4夹持构件4d的下侧夹持机构 42B、42B和上侧夹持机构43B、43B的端部夹持区域定位成比中央夹持区域向互相对置的一 侦W中央侧）突出，也可以将构成第1带扩张构件5a及第2带扩张构件5b的下侧夹持机构 42A、42A、和第3夹持构件4c及第4夹持构件4d的下侧夹持机构42B、42B及上侧夹持机构 43B、43B双方的端部夹持区域定位成比中央夹持区域向互相对置的一侧（中央侧）突出。
[0088] 另外，在上述的实施方式中，示出了这样的例子：将2个辊子433支承成能够旋转 的多个支承块434和按压多个支承块434的多个按压构件435配设于上侧夹持机构43A、 43B，但是，也可以将多个支承块434和多个按压构件435配设于下侧夹持机构42A、42B。
[0089] 而且，在上述的实施方式中，示出了使粘贴有沿着间隔道101被分割开的晶片10 的粘接带1扩张的例子，但是，本发明的带扩张装置也可以用于这样的情况：使粘贴着沿 间隔道101在内部形成有改性层的晶片的粘接带扩张，沿着形成有改性层的间隔道分割晶 片。
【权利要求】
1. 一种带扩张装置，其对矩形的带进行扩张， 所述带扩张装置的特征在于， 所述带扩张装置具备：第1夹持构件，其夹持带的第1边；第2夹持构件，其夹持带的与 该第1边对置的第2边；第3夹持构件，其夹持带的与该第1边和该第2边垂直的第3边； 第4夹持构件，其夹持带的与该第3边对置的第4边；和扩张构件，其使该第1夹持构件、该 第2夹持构件、该第3夹持构件和该第4夹持构件分别在与所夹持的各边垂直的方向上移 动， 该第1夹持构件、该第2夹持构件、该第3夹持构件和该第4夹持构件分别具备下侧夹 持机构和上侧夹持机构，在该下侧夹持机构的上部配设有在沿着所夹持的边的方向上旋转 的多个辊子，在该上侧夹持机构的下部，配设有在沿着所夹持的边的方向上旋转的多个辊 子， 该下侧夹持机构和该上侧夹持机构中的任一方由下述部分构成：支承块，其使2个辊 子具有规定的间隔，并将这2个辊子支承成能够旋转；和按压构件，其按压该支承块上的将 2个辊子的间隔2等分的作用位置， 在该第1夹持构件及该第2夹持构件两者和/或该第3夹持构件及该第4夹持构件 两者中，该下侧夹持机构和该上侧夹持机构由中央夹持区域和位于该中央夹持区域的两侧 的端部夹持区域构成，该端部夹持区域分别配置成比该中央夹持区域向互相对置的一侧突 出。
2. 根据权利要求1所述的带扩张装置，其特征在于， 在被该第1夹持构件、该第2夹持构件、该第3夹持构件和该第4夹持构件包围的中央 配设有用于载置该矩形的带的圆形工作台，该第1夹持构件及该第2夹持构件两者和/或 该第3夹持构件及该第4夹持构件两者的该下侧夹持机构和该上侧夹持机构中的该端部夹 持区域被定位成以仿照圆形工作台的外周的方式突出。
3. 根据权利要求1或2所述的带扩张装置，其特征在于， 上述按压构件由下述部分构成：按压块，其在2个支承块的作用位置处将2个支承块分 别支承成能够旋转；和致动器，其按压该按压块上的将2个支承块的作用位置2等分的按压 位置。
【文档编号】H01L21/78GK104103585SQ201410144272
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2014年4月11日 优先权日:2013年4月15日
【发明者】关家一马, 高泽徹 申请人:株式会社迪思科