半导体元件测试用分选机的托盘装载装置制造方法

半导体元件测试用分选机的托盘装载装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及半导体元件测试用分选机的托盘装载装置。根据本发明的托盘装载装置还具备用于调节客户托盘的支撑高度的高度调节部件。因此，通过简单地操作高度调节部件，能够相互转用具有彼此相同的装载高度的客户托盘的移动技术，因此能够消除交替费用和交替时间，还能够减少人力浪费，最终具有提高设备的使用率的效果。
【专利说明】半导体元件测试用分选机的托盘装载装置

【技术领域】
[0001]本发明涉及在对半导体元件测试时所使用的分选机的托盘装载装置。

【背景技术】
[0002]半导体元件测试用分选机(以下称为“分选机”)是一种将经过预定制造工序制造出的半导体元件电连接到测试器之后，根据测试结果分类半导体元件的设备。
[0003]用于支持半导体元件的测试的分选机通过诸如韩国公开专利10-2002-0053406号或日本公开专利特开2011-247908等的多种专利文献被公开。
[0004]在分选机中，从客户托盘移出半导体元件并对其进行加热之后电连接到测试器，并将完成测试的半导体元件移入空的客户托盘。在此，半导体元件的移出作业是将位于移出位置的客户托盘作为对象而进行，而完成测试的半导体元件的移入作业则将位于移入位置的客户托盘作为对象而进行。
[0005]通常，安置有需要测试的半导体元件的客户托盘装载于搬入用托盘装载装置，而安置有完成测试的半导体元件的客户托盘装载于搬出用托盘装载装置。因此，装载于搬入用托盘装载装置的客户托盘向移出位置移动，位于移入位置的客户托盘朝搬出用托盘装载装置移动。
[0006]图1为关于如上的通常的分选机的100的概略的平面图。
[0007]分选机100具备多个托盘装载装置111至116、加热板120、往复板130、连接部分140以及缓冲托盘151、152。
[0008]多个托盘装载装置111至116包括搬入用托盘装载装置111、一对空的托盘装载装置112、113、三个搬出用托盘装载装置111至116。
[0009]搬入用托盘装载装置111中装载有安置有需要测试的半导体元件的客户托盘CT。装载于搬入用托盘装载装置111的客户托盘CT依次一张一张地朝后方的移出位置DP移动。而且，移出了所安置的所有半导体元件的客户托盘CT从移出位置DP朝右侧的搬出位置CP移动。
[0010]第一空的托盘装载装置112中装载有来自搬出位置CP的空的客户托盘CT。
[0011]第二空的托盘装载装置113中装载有空的客户托盘CT。装载于这种第二空的托盘装载装置113的空的客户托盘CT依次一张一张地朝后方的待机位置WP移动之后朝右侧的移入位置TP1至TP3。而且，装填有完成测试的半导体元件的客户托盘CT从移入位置TP1至TP3朝前方的搬出用托盘装载装置114至116移动。
[0012]搬出用托盘装载装置114至116中装载有安置有完成测试的半导体元件的客户托盘CT。作为参考，具备多个搬出用托盘装载装置114至116的原因在于，为了根据测试结果而区分放置半导体元件。
[0013]加热板120对从位于移出位置DP的客户托盘CT移出过来的半导体元件进行加热。这种加热板120沿前后方向往复移动。作为参考，半导体元件在常温条件下进行测试时，半导体元件也可以不经过加热板而从客户托盘CT直接移动至往复板130。
[0014]设置往复板130的目的在于，接收来自加热板120的半导体元件而供应到连接部分140，或者将从连接部分140接收的半导体元件供应到缓冲托盘151、152或客户托盘CT。为此，往复板130沿左右方向往复移动。在此，在往复板130位于左侧的装载位置LP的情况下，接收来自加热板120的半导体元件，而在往复板130位于右侧的卸载位置UP的情况下，所安置的半导体元件朝缓冲托盘151、152或位于移入位置TP1至TP3的客户托盘CT移动，在往复板130位于连接部分140后方的出入位置GP的情况下，所安置的半导体元件借助连接部分140而移出或借助连接部分140而移入。
[0015]连接部分140从往复板130移出半导体元件并将半导体元件电连接到测试器(未图示)，且使完成测试的半导体元件移入至往复板130。作为参考，电连接于测试器的半导体元件通过测试器测试电特性。
[0016]缓冲托盘151、152中安置有来自位于卸载位置UP的往复板130的少量的半导体元件。这种缓冲托盘151、152可单独地构成，也可由客户托盘CT实现。
[0017]大致的情况是，经测试的半导体元件被分为多个等级而分类，对于若干等级(为了便于说明称为“少量等级”)而言，被划分有少量的半导体元件，而对于其他若干等级(为了便于说明称为“多量等级”)而言，被划分有多量的半导体元件。此时，在缓冲托盘151、152上安置测试结果被划分为少量等级的半导体元件，在位于移入位置TP1至TP3的客户托盘CT上安置被划分为多量等级的半导体元件。
[0018]在以上构成中，本发明涉及将客户托盘CT从搬入用托盘装载装置111移动至移出位置DP或者从第二空的托盘装载装置113移动至待机位置WP的技术、从搬出位置CP移动至第一空的托盘装载装置112或者从移入位置TP1至TP3移动至搬出用托盘装载装置114至116的技术。这样的客户托盘的移动技术已通过日本专利2003-270294号(以下称为“现有技术”)的图9等而众所周知。而且，为了使这种客户托盘能够移动，托盘装载装置111至116需要具备用于移动客户托盘的构成。
[0019]另一方面，图2的(a)及(b)为关于客户托盘CT的概略的平面图和侧面图。
[0020]如图2的(a)及(b)所示，在客户托盘CT的上面，多个安置槽SS以阵列形态形成，其侧面形成有四个支撑槽PS。
[0021]多个安置槽SS内安置有半导体元件。而且，装载于托盘装载装置111至116的客户托盘CT在四个支撑槽PS部分上被支撑。
[0022]然而，如图2的(b)所示，根据不同的客户托盘，有装载高度H为6.35mm的情形，还有装载高度H为5.62mm的情形。但是，当遵照应用两级升降技术的现有技术时，无法将移动具有6.35mm装载高度的客户托盘的构成转用为移动具有5.62mm装载高度的客户托盘的构成，或者无法将移动具有5.62mm装载高度的客户托盘的构成直接转用为移动具有6.35mm装载高度的客户托盘的构成。
[0023]因此，如果变更客户托盘的装载高度，则需要替换托盘装载装置或者最低限度也要替换用于移动客户托盘的构成。而且，这一点会带来替换成本、人力以及替换时间的浪费，而且会降低设备的使用率。
[0024]当然，当在两级升降技术中应用电机来代替行程距离确定的两级气缸时，可无需专门替换构成部件而通过进行控制来调节两级升降高度，然而电机的价格高，因而导致成产成本变高，而且需要用于输入专门的命令的繁杂的控制指示。


【发明内容】

[0025]本发明的目的在于提供一种能够在不替换所有构成部件的情况下简便地相互转用装载高度互不相同的客户托盘的移动技术的托盘装载装置。
[0026]根据本发明的半导体元件测试用分选机的托盘装载装置包括:至少一个装载引导器，引导待装载的客户托盘的装载；至少一个支撑器，支撑根据所述装载引导器的引导而被装载的客户托盘；升降器，用于使支撑于所述至少一个支撑器的客户托盘一张一张地下降；以及移动器，用于使借助所述升降器而下降的客户托盘移动，所述升降器包括:支撑板，用于支撑客户托盘；高度调节部件，设置于所述支撑板以用于调节客户托盘的支撑高度；以及驱动源，用于升降所述支撑板。
[0027]所述支撑板形成有用于设置所述高度调节部件的设置孔，所述高度调节部件可插入设置于所述设置孔。
[0028]所述高度调节部件具有两个使用模式，以用于转换为对应于客户托盘的装载高度的支撑高度。
[0029]能够仅由所述高度调节部件支撑客户托盘。
[0030]所述高度调节部件可装卸地结合于所述支撑板，以能够在所述支撑板中选择性地设置使支撑高度变得互不相同的多个高度调节部件。
[0031]所述高度调节部件可旋转地插入设置于所述设置孔，所述高度调节部件具有用于铰链结合于所述支撑板的铰链轴，所述铰链轴形成在相比从所述铰链轴至高度调节部件的一侧面的距离，从所述铰链轴至高度调节部件的另一侧面的距离更远的位置。
[0032]所述高度调节部件形成有卡接凸起，所述支撑板形成有用于卡接所述卡接凸起的卡接台。
[0033]所述铰链轴形成在朝卡接凸起的相反侧偏斜的位置。
[0034]所述支撑器包括:支撑部件，根据进退而支撑客户托盘或解除支撑状态；驱动源，用于使所述支撑部件进退；以及防旋转销，防止所述支撑部件的旋转。
[0035]根据本发明，通过简单地操作高度调节部件，能够相互转用具有彼此相同的装载高度的客户托盘的移动技术，因此能够消除交替费用和交替时间，还能够减少人力浪费，最终具有提高设备的使用率的效果。

【专利附图】

【附图说明】
[0036]图1为通常的半导体元件测试用分选机的概略的平面图。
[0037]图2为关于通常的客户托盘的概略的平面图及侧面图。
[0038]图3为能够应用根据本发明的托盘装载装置的半导体元件测试用分选机的概略的平面图。
[0039]图4为关于根据本发明的实施例的托盘装载装置的概略的立体图。
[0040]图5至图7为用于说明图4的托盘装载装置的参照图。
[0041]图8至图16为用于说明图4的托盘装载装置的使用及动作的参照图。
[0042]图17和图18为用于说明变形例的参照图。
[0043]符号说明:
[0044]TLA:托盘装载装置411a至411d:装载引导器
[0045]412a至412d:支撑器PE:支撑部件
[0046]SD:气缸RP:防旋转销
[0047]413:升降器413a、513a:支撑板
[0048]IH:设置孔SJ:卡接台
[0049]413b,513b:高度调节部件HS:铰链轴
[0050]SP:卡接凸起413C:驱动源
[0051]414:移动器

【具体实施方式】
[0052]以下，参照【专利附图】

【附图说明】根据本发明的优选实施例，为了使说明简洁，尽可能省略或压减【背景技术】中言及的说明
[0053]图3为应用根据本发明的托盘装载装置的分选机的概略的平面图。
[0054]根据图3的分选机具备多个托盘装载装置311至316、一对加热板321、322、一对往复板331、332、连接部分340以及三个缓冲托盘351至353。
[0055]在图3的分选机300中，一对加热板321、322被设置为上下具有高度差，因而可沿前后方向交叉的同时进行往复移动，而且一对往复板331、332中间隔着连接部分340而布置。由于这种加热板321、322和往复板331、332构成为多个，可提高处理速度。关于图3的分选机300的剩余的构成或功能的说明与【背景技术】重复，因而省略对其的说明。当然，缓冲托盘351至353可用客户托盘CT来代替，因此是选择性的构成，这与前面的说明相同。
[0056]图4为关于根据本发明的实施例的托盘装载装置TLA的概略的立体图。
[0057]根据本实施例的托盘装载装置TLA包括四个装载引导器411a至411d、四个支撑器412a至412d、升降器413、移动器414。
[0058]四个装载引导器411a至411d其水平截面为“Π”字形状，各自引导客户托盘CT的四边形拐角部分。作为参考，在本实施例中，为了作业者在前面装载客户托盘CT的作业的便利，符号411a及411b的装载引导器的高度设置为较低。当然，四个装载引导器411a至411d只要能够执行引导客户托盘CT的装载及维持装载的功能，可以变更为杆状或其他多种形态。
[0059]四个支撑器412a至412d在四个位置上支撑根据装载引导器411a至411d的引导而装载的客户托盘CT。为此，各个支撑器412a至412d包括支撑部件PE、气缸SD、防旋转销RP、设置部件IE。
[0060]支撑部件PE被设置为能够沿左右方向进退。这种支撑部件PE具有用于支撑客户托盘CT的支撑凸起PP。因此，如图5的(a)及(b)所示，当支撑部件PE朝客户托盘CT侧前进时，支撑凸起PP插入到客户托盘CT的支撑槽PS的同时支撑客户托盘CT，当支撑部件PE后退时，支撑凸起PP从客户托盘CT的支撑槽PS脱离，同时客户托盘CT的支撑状态被解除。
[0061]气缸SD是用于使支撑部件PE进退的驱动源。在本实施例中，气缸SD的活塞杆PR朝一侧偏斜地结合于支撑部件PE。这是为了防止与其他构成要素之间的设计干涉等。
[0062]防旋转销RP防止支撑部件PE的旋转。如前面所提及的那样，由于活塞杆PR朝一侧偏斜地结合于支撑部件PE，因而支撑部件PE有可能因支撑部件PE的进退动作时的冲击等而沿箭头a方向旋转。在这种情况下，支撑部件PE有可能无法适宜地支撑客户托盘CT，而且在其进退时有可能给予客户托盘CT损伤。这一点可通过防旋转销RP防止支撑部件PE旋转而得以解决。
[0063]设置部件IE上设置有支撑部件PE、气缸SD以及防旋转销RP。这种设置部件IE其前面大致为“ L ”字形状，结合于构成托盘装载装置TLA的骨架的框架FM。
[0064]升降器413使支撑于四个支撑器412a至412d的客户托盘CT中位于最底部的客户托盘CT 一张一张地下降。为此，如图6的截取侧剖视图所示，升降器413具备支撑板413a、一对高度调节部件413b以及驱动源413c。
[0065]支撑板413a支撑客户托盘CT。这种支撑板413a具有两个设置孔IH和卡接台SJ。
[0066]设置孔IH中插入设置有高度调价部件413b。
[0067]卡接台SJ突出形成于各个设置孔IH的两端。
[0068]高度调节部件413b可旋转地插入设置于设置孔IH，以调节客户托盘CT的支撑高度。即，高度调节部件413b调节支撑板413a的上表面与客户托盘CT之间的支撑高度。为此，高度调节部件413b具备铰链轴HS和卡接凸起ST。
[0069]铰链轴HS形成在相比其与高度调节部件413b的一侧面之间的距离L1，其与高度调节部件413b的另一侧面之间的距离L2更远的位置。因此，如图7的(a)及(b)所示，在高度调节部件413b的一侧面变成上表面的情况下，高度调节部件413b的上表面与支撑板413a的上表面的高度相同，而在高度调节部件413b的另一侧面变成上表面的情况下，高度调节部件413b的上表面相比支撑板413a的上表面进一步突出到更高的位置。此时，高度调节部件413b的上表面与支撑板413a的上表面之间的高度差为0.73mm。
[0070]以上所言及的高度差0.73mm是针对本发明的实施例来说的，当图2的(b)中所言及的客户托盘CT的装载高度H变得不同时，高度差可以变得不同，在这种情况下，选择满足相关高度差的高度调节部件即可。
[0071]并且，铰链轴HS形成于在前后方向上朝卡接凸起ST的相反侧偏斜的位置。因此，高度调节部件413b的重量中心偏向卡接凸起ST侧，所以可稳定化高度调节部件413b的当前状态。
[0072]卡接凸起ST卡接于卡接台SJ，据此维持高度调节部件413b的180度旋转及当前状态。
[0073]关于前述高度调节部件413b的作用，将在后面的使用说明部分中进一步详细地说明。
[0074]驱动源413c是为了升降支撑板413a而设置的。这种驱动源413c由具有第一行程距离的第一气缸S-1和具有第二行程距离的第二气缸S-2构成。此时，第二气缸S-2的第二行程距离为6.35mm。当然，作为用于升降支撑板的驱动源也可考虑使用电机。
[0075]移动器414使下降的客户托盘CT朝后方的移出位置DP移动。为此，移动器414具备一对传送带BT和电机MT。据此，根据电机MT的运转，放置于一对传送带BT上的客户托盘CT与传送带BT的旋转联动，从而移动至后方的移出位置DP。
[0076]接着，对如上的装载装置的使用和动作进行说明。
[0077]首先，对高度调节部件413b在图7的(a)的情况下将被支撑在支撑器412a至412d的装载高度为6.35mm的客户托盘CT 一张一张地移送至移出位置DP的动作进行说明。
[0078]在图8的状态下，第一气缸S-1和第二气缸S-2 —起运行而使支撑板413a上升(如图9所示)。据此，支撑板413a的上表面抵接于位于最下方的第一层客户托盘CT的下表面。
[0079]在图9的状态下，气缸SD运行而使支撑部件PE后退(如图10所示)。据此，客户托盘CT维持暂时被支撑板413a支撑的状态。
[0080]在图10的状态下，第二气缸S-2运行而使客户托盘CT下降6.35mm(如图11所示)O
[0081]在图11的状态下，气缸SD运行而使支撑部件PE前进(如图12所示)，据此支撑部件PE支撑第二层客户托盘CT。
[0082]在图12的状态下，第一气缸S-1运行而使支撑板413a完全下降(如图13所示)。据此，第一层客户托盘CT也下降，从而第一层客户托盘CT的两端被置于移动器414的传送带BT上。
[0083]在图13的状态下，电机MT运行而使第一层客户托盘CT朝后方的移出位置DP移动。
[0084]作为参考，在图14中，为了进行说明，将一侧的高度调节部件413b示出为能够支撑装载高度为6.35mm的客户托盘CT的状态，并将另一侧的高度调节部件413b示出为能够支撑装载高度为5.62mm的客户托盘CT的状态。这样示出的原因在于，为了同时呈现出装载高度为6.35mm或5.62nn的情形下的高度调节部件413b的使用状态。但是，两个高度调节部件413b实际上应当是全部变成能够支撑装载高度为6.35mm的客户托盘CT的状态，或者全部变成能够支撑装载高度为5.62mm的客户托盘CT的状态。
[0085]另一方面，对将装载高度为5.62mm的客户托盘CT移送至移出位置DP的动作进行说明。此时，如果高度调节部件按照图7的(b)的状态工作，则会在对应于图11的图15的状态下产生问题。即，当第二气缸S-2运行而使支撑板413a下降6.35mm时，第二层客户托盘CT'的支撑槽PS'和支撑部件PE的支撑凸起PP的高度不相同。
[0086]因此，为了将装载高度为5.62mm的客户托盘CIw适宜地移送到移出位置DP，将高度调节部件413b旋转180度使其变成图7的(b)的使用状态。通过这样的操作，如图16所示，即便第二气缸S-2使支撑板413a下降6.35mm,高度调节部件413b也能够将客户托盘CT'以相比支撑板413a的上表面高出0.73mm的状态支撑，所以第二层客户托盘CT'的支撑槽PS^和支撑部件PE的支撑凸起PP可以变成相同的高度。因此，随后的动作能够顺畅地进行。即，高度调节部件413b使用为用于支撑装载高度为6.35mm的客户托盘CT的使用模式和用于支撑装载高度为5.62mm的客户托盘CT'的使用模式中的任意一个使用模式。
[0087]在此，在装载高度为6.35mm的情形下，使高度调节部件413b的上表面的高度与支撑板413a的上表面的高度相同，由此利用高度调节部件413b和支撑板413a同时支撑客户托盘CT，然而，在装载高度为5.62mm的情形下，高度调节部件413b的上表面的高度高于支撑板413a的上表面的高度，所以将仅由高度调节部件413b来支撑客户托盘CT。但是，如图14所示，两个高度调节部件413a布置在能够使客户托盘CT维持平衡的位置，而且具有足够的面积，因此仅利用高度调节部件413b来支撑客户托盘CT并将其沿上下方向移送也不会存在问题。当然，在装载高度为6.35mm的情形下，也可以构成为使高度调节部件413b的上表面的高度低于支撑板413a的上表面的高度。
[0088]在本发明中，将第二气缸S-2的行程距离设定为与作为客户托盘CT的装载高度H的6.35mm相同，然而可根据不同的情形设定为不同。即，在图9中，设置成运行第一气缸S-1和第二气缸S-2而使支撑板413a的上表面接触到位于最下面的第一层客户托盘CT的下表面，然而根据不同的情形可设置成如下:将装载后的整个客户托盘CT托举到预定的高度(如图17所示)。在这种情况下，第二气缸S-2的行程距离可以是6.35mm以上。
[0089]所说明的托盘装载装置TLA在图3的符号311至316的装载装置中均可适用，或者选择性地适用。当然，在图4的托盘装载装置TLA适用为搬出用托盘装载装置314至316的情形下，客户托盘CT的移动将会按照与上面的图8以下的动作相反的顺序的动作进行。
[0090]而且，在上面的实施例中，可旋转地设置了高度调节部件413b，然而例如如图18的(a)及(b)所示，在客户托盘CT的装载高度H为6.35_的情形下，可以使用或者不使用高度调节部件513b，而且在由于客户托盘CT的装载高度发生改变而需要使支撑板513a的上表面和高度调节部件513b的上表面的高度不同的情形下，如图18的(c)所示，也可以在设置孔IH中螺栓结合高度调节部件513b而使用。即，高度调节部件并不局限于如参照图4等的上面的实施例那样的旋转方式，可具有装卸式结构或其他不同的结构。进一步，本发明中，如图18所示，对于能够对应于客户托盘的多种装载高度的多个高度调节部件也可以由选择性地装卸的方式来实现。
[0091]如上所述，通过参照附图的实施例对本发明进行了具体说明，然而前述实施例仅仅是举出本发明的优选示例而进行的说明，因此不能仅局限于上述的实施例来理解本发明，本发明的权利范围应当以权利要求书以及其等价概念来理解。
【权利要求】
1.一种半导体元件测试用分选机的托盘装载装置，其特征在于包括: 至少一个装载引导器，引导待装载的客户托盘的装载； 至少一个支撑器，支撑根据所述装载引导器的引导而被装载的客户托盘； 升降器，用于使支撑于所述至少一个支撑器的客户托盘一张一张地下降；以及 移动器，用于使借助所述升降器而下降的客户托盘移动， 所述升降器包括: 支撑板，用于支撑客户托盘； 高度调节部件，设置于所述支撑板以用于调节客户托盘的支撑高度；以及 驱动源，用于升降所述支撑板。
2.如权利要求1所述的半导体元件测试用分选机的托盘装载装置，其特征在于， 所述支撑板形成有用于设置所述高度调节部件的设置孔， 所述高度调节部件能够插入设置于所述设置孔。
3.如权利要求2所述的半导体元件测试用分选机的托盘装载装置，其特征在于，所述高度调节部件具有两个使用模式，以用于转换为对应于客户托盘的装载高度的支撑高度。
4.如权利要求2或3所述的半导体元件测试用分选机的托盘装载装置，其特征在于，能够仅由所述高度调节部件支撑客户托盘。
5.如权利要求2所述的半导体元件测试用分选机的托盘装载装置，其特征在于，所述高度调节部件可装卸地结合于所述支撑板，以能够在所述支撑板中选择性地设置使支撑高度变得互不相同的多个高度调节部件。
6.如权利要求2所述的半导体元件测试用分选机的托盘装载装置，其特征在于， 所述高度调节部件可旋转地插入设置于所述设置孔， 所述高度调节部件具有用于铰链结合于所述支撑板的铰链轴， 所述铰链轴形成在相比从所述铰链轴至高度调节部件的一侧面的距离，从所述铰链轴至高度调节部件的另一侧面的距离更远的位置。
7.如权利要求2所述的半导体元件测试用分选机的托盘装载装置，其特征在于， 所述高度调节部件形成有卡接凸起， 所述支撑板形成有用于卡接所述卡接凸起的卡接台。
8.如权利要求7所述的半导体元件测试用分选机的托盘装载装置，其特征在于， 所述高度调节部件具有用于铰链结合于所述支撑板的铰链轴， 所述铰链轴形成在朝卡接凸起的相反侧偏斜的位置。
9.如权利要求1所述的半导体元件测试用分选机的托盘装载装置，其特征在于，所述支撑器包括: 支撑部件，根据进退而支撑客户托盘或解除支撑状态； 驱动源，用于使所述支撑部件进退；以及 防旋转销，防止所述支撑部件的旋转。
【文档编号】H01L21/683GK104167383SQ201410204738
【公开日】2014年11月26日 申请日期:2014年5月15日 优先权日:2013年5月16日
【发明者】罗闰成, 成耆炷, 咸锺仁 申请人:泰克元有限公司