1.一种硅片清洗制绒装置，其特征在于：包括去损伤槽体（1）、第一溢流清洗槽（2）、制绒槽体（3）、第二溢流清洗槽（4）、第一酸槽体（5）、第三溢流清洗槽（6）、机械臂（7）、花篮和卡爪（8），六个槽体并排排列，所述机械臂（7）水平移动地设置于各个槽体的上方，所述卡爪（8）设置于所述机械臂（7）上，所述机械臂（7）上还一体连接有一由控制器控制的喷淋装置（9），所述花篮的两端均延伸设置有与所述卡爪（8）卡接的延伸端（81），所述硅片放置于所述花篮中，所述机械臂（7）、所述喷淋装置（9）和所述卡爪（8）上下抬升运动时带动所述花篮上下运动，实现放置在花篮中的硅片在各个槽体内的清洗。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗制绒装置，其特征在于：所述6个槽体相互之间均设置有用于隔离的隔板。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗制绒装置，其特征在于：所述6个槽体上方均自动开合连接有一槽盖。
4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗制绒装置，其特征在于：所述机械臂的两端对称固定设置有两对卡爪，所述卡爪（8）为倒7字型，每对所述卡爪的下端分别开设有一用于挂设所述花篮的延伸端（81）。
5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗制绒装置，其特征在于：所述喷淋装置（9）上设置有喷嘴，所述喷嘴连接至清洗剂供给管路。
6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗制绒装置，其特征在于：所述喷淋装置（9）包括至少一根管路，每个所述管路上均开设有多个用于喷射的喷孔，每个所述管路为耐腐蚀的管路。
7.根据权利要求1所述的一种硅片清洗制绒装置，其特征在于：还包括并排排列的第四溢流清洗槽、第二酸槽体和第三酸槽体。
8.如权利要求1-7中任一所述的一种硅片清洗制绒方法，其特征在于：包括如下步骤：
S1、槽盖打开，所述机械臂向下运动将放置有硅片的花篮放置于所述去损伤槽体中进行清洗，该清洗时间为3min，所述去损伤槽内的溶液为氢氧化钾、双氧水和纯水的混合溶液，所述机械臂向上运动将放置有硅片的花篮从所述去损伤槽体中提起，槽盖关闭之后所述喷淋装置开始喷淋，所述喷淋装置的水温为60～70℃；
S2、所述机械臂水平移动将经S1步骤后的硅片放置于第一溢流清洗槽中进行水洗，所述第一溢流清洗槽水洗的时间为3min；
S3、槽盖打开，所述机械臂向下运动将动将经S2步骤后的硅片放置于制绒槽体中进行清洗，清洗时间为15～30min，所述制绒槽体内的溶液为氢氧化钾和添加剂的混合溶液，所述机械臂向上运动将放置有硅片的花篮从所述制绒槽体中提起，槽盖关闭之后所述喷淋装置开始喷淋，所述喷淋装置的水温为65～75℃；
S4、所述机械臂水平移动将经S3步骤后的硅片放置于第二溢流清洗槽中进行水洗，所述第一溢流清洗槽水洗的时间为2min；
S5、槽盖打开，所述机械臂向下运动将放置有硅片的花篮放置于所述第一酸槽体中进行清洗，清洗时间为3min，所述酸槽体的溶液为氢氟酸，所述机械臂向上运动将放置有硅片的花篮从所述第一酸槽体中提起，槽盖关闭之后所述喷淋装置开始喷淋，所述喷淋装置的水温为20～25℃；
S6、所述机械臂水平移动将经S5步骤后的硅片放置于第三溢流清洗槽中进行水洗，所述第一溢流清洗槽水洗的时间为2min。
9.根据权利要求8所述的一种硅片清洗制绒方法，其特征在于：所述去损伤槽内中的氢氧化钾为500ML，双氧水为16L，纯水为160L，所述制绒槽体中的氢氧化钾为500～600M，所述第一酸槽体中的氢氟酸为8L。
10.根据权利要求8所述的一种硅片清洗制绒方法，其特征在于：还包括以下步骤：S7：所述机械臂水平移动将经S6步骤后的硅片放置于第四溢流清洗槽中进行水洗，所述第四溢流清洗槽水洗的时间为2min；
S8：所述机械臂水平移动将经S7步骤后的硅片放置于所述第二酸槽体中进行水洗，所述第二酸槽体酸洗的时间为3min，所述第二酸槽体中的盐酸为28L；S9：所述机械臂水平移动将经S9步骤后的硅片放置于所述第三酸槽体中进行水洗，所述第三酸槽体酸洗的时间为3min，所述第三酸槽体中的氢氟酸为16L。