过这样的上载物台3的下动，保持于上载物台3的上基板K1、和保持于下载物台4的下基板K2被贴合并加压。如果真空腔室5内是真空状态，则上基板Kl和下基板K2通过真空而贴合。
[0046]另外，如上所述，经由多个上轴2a将上载物台3固定到上框架2。因此，用测压元件20d检测通过上载物台3对上基板Kl和下基板K2加压时的荷重。测压元件20d的检测信号被输入到控制装置100。
[0047]图2是示出支持销的图。
[0048]如图2所示，在上框架2处具备多个支持销7。支持销7是在上下方向上延伸设置的管状部件，配置成与上载物台3独立地可上下移动。所有支持销7都安装于I个支持基座7a，所有支持销7同时上下移动。支持基座7a配置于上腔室5a与上载物台3之间。支持基座7a通过未图示的上下移动机构(滚珠螺杆机构等)而上下移动。通过控制装置100控制该上下移动机构。
[0049]支持销7相比上载物台3的平面(上部基板面3a)更配置于上方，在相对于上载物台3下动时从上部基板面3a向下方突出。另外，上部基板面3a为与下载物台4 (参照图1)对置的平面。
[0050]另外，支持销7呈现中空的管状，其中空部7al与支持基座7a的中空部7al连通。对支持基座7a的中空部7al连接真空栗Pl。如果真空栗Pl驱动，则中空部7al成为真空，上基板Kl被支持销7真空吸附。通过控制装置100控制真空栗Pl。S卩，根据控制装置100的指令，真空栗Pl进行驱动而上基板Kl被支持销7真空吸附。
[0051 ] 图3是示出粘附销的图。
[0052]如图3所示，在上框架2处具备多个粘附销8。粘附销8是在上下方向上延伸设置的管状部件，配置成与上载物台3以及支持销7独立地可上下移动。粘附销8的上下移动为相对于上部基板面3a的垂直动作。
[0053]粘附销8相比上部基板面3a更配置于上方，在相对于上载物台3下动时，从上部基板面3a向下方突出。另外，粘附销8上动而从上部基板面3a引入。在本实施例中，将粘附销8未从上部基板面3a突出的状态、即粘附销8的突出量是零(或者其以下)的状态设为从上部基板面3a引入了粘附销8的状态。然后，粘附销8下动而从上部基板面3a突出。另外，粘附销8的突出量表示粘附销8从上部基板面3a起的突出量(以下相同)。
[0054]粘附销8安装于基础部(粘附销板8a)。将I个以上的粘附销8安装到粘附销板8a。各个粘附销板8a能够独立地上下移动(相对地上部基板面3a的垂直动作)。
[0055]粘附销8在前端具有粘附部8b。
[0056]另外，粘附销8呈现中空的管状，在中心开凿了真空吸附孔Sc。真空吸附孔Sc与作为粘附销板8a的中空部而形成的负压室8al连通。对粘附销板8a的负压室8al连接第I吸引单元(真空栗P2)。因此，经由负压室Sal对粘附销8的真空吸附孔Sc连接第I吸引单元(真空栗P2)。
[0057]粘附销8在真空栗P2进行驱动而真空吸附孔Sc成为真空状态时对上基板Kl进行真空吸引，进而，将被真空吸引了的上基板Kl粘附到粘附部Sb而保持(粘附保持)。粘附销8在从上部基板面3a突出了的状态时保持上基板Kl。
[0058]通过控制装置100控制真空栗P2。根据控制装置100的指令，将上基板Kl真空吸引到粘附销8而粘附到粘附部Sb。
[0059]对粘附销板8a的负压室8al连接气体供给单元8d。通过控制装置100控制气体供给单元8d。气体供给单元8d根据控制装置100的指令进行驱动而对负压室8al供给规定的气体(空气、氮气等)。通过从气体供给单元8d供给的气体，负压室8al和真空吸附孔Sc升压，粘附于粘附部Sb的上基板Kl从粘附部Sb剥离。
[0060]在各粘附销板8a处具备第2驱动机构(上下移动机构80)。上下移动机构80具有被旋转自如地支撑于安装部80a而在Z轴方向上延伸设置的滚珠螺杆轴81、使滚珠螺杆轴81旋转的电动马达83以及通过旋转的滚珠螺杆轴81而上下移动的滚珠螺杆机构82。安装部80a被固定于上框架2。滚珠螺杆轴81通过电动马达83而旋转，使滚珠螺杆机构82上下移动。然后，滚珠螺杆机构82安装于粘附销板8a。与通过滚珠螺杆轴81的旋转而上下移动的滚珠螺杆机构82 —体地，粘附销板8a上下移动。
[0061]通过控制装置100控制上下移动机构80，根据控制装置100的指令，粘附销板8a和粘附销8上下移动。
[0062]安装部80a安装于上框架2，与上框架2 —体地上下移动。另外，如上所述，上载物台3与上框架2 —体地上下移动。上框架2通过Z轴驱动机构20 (参照图1)而上下移动，如果上框架2下动，则上载物台3和安装部80a朝向下载物台4(参照图1)行进。上下移动机构80安装于安装部80a，根据安装部80a的上下移动，粘附销板8a(粘附销8)上下移动。因此，Z轴驱动机构20(第I驱动机构)具有使粘附销8和上载物台3朝向下载物台4行进的功能。
[0063]图4是示出上载物台的上部基板面的图，示出了粘附销的配置的一个例子。
[0064]作为一个例子，如图4所示，在上载物台3处具备81个粘附销8的本实施例中，9个粘附销8安装于I个粘附销板8a。另外，与I个上载物台3对应地具备9个粘附销板8a。另外，在I个粘附销板8a处具备4个上下移动机构80。例如，在呈矩形的粘附销板8a的4角，具备上下移动机构80。9个粘附销板8a通过上下移动机构80可相互独立地上下移动。
[0065]这样，本实施例的上下移动机构80(第2驱动机构)构成为能够使多个(9个)粘附销板8a分别独立地上下移动(相对于上部基板面3a的垂直动作)。
[0066]另外，上下移动机构80能够以针对每个粘附销板8a设定的突出量，使粘附销8从上部基板面3a突出。由此，粘附销8能够在以针对每个粘附销板8a设定的突出量从上部基板面3a突出了的状态下保持上基板Kl (参照图1)。
[0067]图5的(a)是示出下载物台的图，(b)是Secl-Secl下的剖面图。
[0068]如图5(a)所示，下载物台4收容于上方开口的下腔室5b的内侧。下载物台4的下方和侧面被下腔室5b包围。在下载物台4与下腔室5b之间，分别在横向(X轴方向)和纵向(Y轴方向)上形成了间隙Gx、Gy。另外，下载物台4的下方被多个XY Θ移动组件40支撑。在图5(a)中，图示了被9个ΧΥΘ移动组件40支撑了的下载物台4，但支撑下载物台4的XY Θ移动组件40的数量未被限定。
[0069]XY Θ移动组件40可在X轴方向和Y轴方向上自由位移地支撑下载物台4。通过这样的构造，下载物台4可相对于下腔室5b在X轴方向和Y轴方向上自由位移。
[0070]另外，将移动机构41安装到下载物台4。移动机构41具有与下载物台4的端边连结的轴部41b、和使轴部41b在轴线方向上位移的驱动部41a。驱动部41a通过例如滚珠螺杆机构使轴部41b在轴线方向上位移。
[0071]如图5 (a)所示，对下载物台4连结了 3个移动机构41。I个移动机构41的轴部41b在X轴方向上延伸设置，2个移动机构41的轴部41b在Y轴方向上延伸设置。
[0072]在X轴方向上延伸设置的轴部41b与下载物台4的端边的中央部附近连结。通过在X轴方向上延伸设置的轴部41b的位移，下载物台4在X轴方向(横向)上位移。
[0073]另外，在Y轴方向上延伸设置的2个轴部41b在下载物台4处与相同一侧的端边的端部附近连结。当在Y轴方向上延伸设置的2个轴部41b的位移量相等的情况下，下载物台4在Y轴方向(纵向)上位移。另外，当在Y轴方向上延伸设置的2个轴部41b的位移量不同的情况下，由于轴部41b的位移量较大的一方比位移量较小的一方更大程度地在Y轴方向上位移，所以下载物台4绕Z轴旋转。
[0074]这样，被连接3个移动机构41的下载物台4能够实现X轴方向(横向)的位移、Y轴方向(纵向)的位移以及绕Z轴的旋转。
[0075]通过控制装置100控制3个移动机构41。控制装置100对3个移动机构41提供指令而使轴部41b适当位移，使下载物台4位移。
[0076]另外，在下载物台4处具备升降机42。以例如在X轴方向上横穿下载物台4的方式延伸设置升降机42。升降机42通过滚珠螺杆机构等升降装置42a如在图5(b)的黑箭头所示地上下移动。通过控制装置100控制升降装置42a。控制装置100在通过传送装置200 (参照图1)传送下基板K2 (参照图1)时，驱动升降机42而将下基板K2放置到下载物台4。
[0077]另外，在呈矩形的下载物台4的4角，形成了对位窗4b。如图5(b)所示，对位窗4b是贯通下载物台4的平面(下部基板面4a)的贯通孔。摄像部收容筒1a从下方进入到对位窗