一种蒸镀设备和系统的制作方法

文档序号:11442700阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蒸镀设备,其特征在于,所述蒸镀设备包括反光罩、加热丝和设备本体,所述设备本体包括底座和两端开口的中空加热室,所述加热室上开设有第一通孔;

所述底座与所述加热室的一端连接,所述反光罩套设于所述加热室,且所述第一通孔暴露于所述反光罩外,所述加热丝设置于所述加热室。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备,其特征在于,所述反光罩包括两端开口的中空罩体和支架,所述支架与所述罩体的一端连接。

3.根据权利要求1所述的蒸镀设备,其特征在于,所述设备本体还包括开设有多个第二通孔的盖体,所述盖体安装于远离所述底座的所述加热室的一端。

4.根据权利要求1所述的蒸镀设备,其特征在于,所述加热丝绕设于所述加热室的外部。

5.根据权利要求4所述的蒸镀设备,其特征在于,所述加热室的外壁开设有用于放置所述加热丝的凹槽。

6.根据权利要求1所述的蒸镀设备,其特征在于,所述底座设置有第三通孔,所述加热丝绕设于所述加热室的内壁,且通过所述第三通孔延伸至所述加热室外。

7.根据权利要求1所述的蒸镀设备,其特征在于,所述加热丝内嵌于所述加热室的侧壁,且所述加热丝的两端穿透所述侧壁,并延伸至所述加热室外。

8.根据权利要求1所述的蒸镀设备,其特征在于,所述底座设置有加热丝。

9.根据权利要求1所述的蒸镀设备,其特征在于,所述加热丝为钨丝。

10.一种蒸镀系统,其特征在于,所述蒸镀系统包括监控设备和上述权利要求1-9中任一项所述的蒸镀设备,所述监控设备包括检测探头,所述检测探头设置于所述第一通孔处。

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