一种坩埚及蒸镀设备的制作方法

本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种坩埚及蒸镀设备。

背景技术：

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机电致)发光器件以其自发光、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于柔性面板等特性，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。

OLDE器件目前多采用蒸镀法进行制备，蒸镀设备包括用于加热有机蒸镀材料的坩埚，蒸镀材料经坩埚加热后升华为蒸汽，蒸汽由坩埚内逸出后在基板上凝结，形成所需的膜层。

常见的坩埚包括坩埚本体和与坩埚本体可拆卸连接的顶盖，现有技术中，顶盖和坩埚本体之间采用螺纹连接，即在坩埚本体上设置螺纹孔，在顶盖上设置通孔，通过螺钉将顶盖和坩埚本体进行连接。在坩埚的使用过程中会出现螺钉断裂的情况，此时需将其他螺钉全部拧下并将顶盖移除后，才可将断裂的螺钉取出。由于常用的坩埚所需的螺钉数量较多(通常为36个)，且蒸镀设备中的坩埚数量较多(通常为20-30个)，在出现螺钉断裂问题后，需要花费较多时间取出断裂的螺钉，其过程较为繁琐，降低了蒸镀设备的维护效率和产能。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种坩埚及蒸镀设备，用于解决现有技术中的坩埚由于取出断裂螺钉的过程繁琐而导致的蒸镀设备维护效率低和产能下降的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下的技术方案：

一种坩埚，包括坩埚本体和与所述坩埚本体可拆卸连接的顶盖，还包括用于连接所述坩埚本体和所述顶盖的连接机构，其中，所述连接机构包括：

设置于所述坩埚本体的第一连接法兰，所述第一连接法兰的边缘上设有多个贯穿所述第一连接法兰厚度方向的第一连接豁口；

设置于所述顶盖的第二连接法兰，所述第二连接法兰的边缘上设有与所述多个贯穿所述第二连接法兰厚度方向的第二连接豁口，所述多个第一连接豁口与所述多个第二连接豁口一一对应；

多个连接件，所述多个连接件与多个第一连接豁口和所述多个第二连接豁口一一对应设置，每个连接件包括连接部和设置于所述连接部两端的两个限位部，每个连接件的两个限位部在对应的连接部的延伸方向上的距离可调；

在所述顶盖和所述坩埚本体连接时，所述第一连接法兰与所述第二连接法兰相对，每个第一连接豁口在所述第二连接法兰的投影的至少一部分与对应的第二连接豁口重合，且每个连接件的连接部位于对应的第一连接豁口和第二连接豁口内，且每个连接件的两个限位部分别与所述第一连接法兰和所述第二连接法兰相背的两个侧面卡接。

本实用新型提供的坩埚包括设置于坩埚本体的第一连接法兰，以及设置于顶盖的第二连接法兰，当坩埚本体和顶盖连接时，第一连接法兰和第二连接法兰相对，且第一连接法兰上的每个第一连接豁口在第二连接法兰上的投影的至少一部分与对应的第二连接法兰重合，每个连接件的连接部位于对应的第一连接豁口和对应的第二连接豁口内，且每个连接件的两个限位部分别与第一连接法兰和第二连接法兰相背离的两个侧面卡接，以使坩埚本体和顶盖之间的位置固定。由于每个连接件的连接部可由对应的第一连接豁口和第二连接豁口的开口处运动到对应的第一连接豁口和第二连接豁口内部或外部，因此，在需要更换连接件时，将两个限位部松开，即可将连接件由对应的第一连接豁口和第二连接豁口的开口处取下或装入，而无需拆卸其他连接件，提高了坩埚的维护效率，改善了现有技术中的坩埚由于取出断裂螺钉的过程繁琐而导致的蒸镀设备维护效率低和产能下降的问题。

优选地，每个连接件中，至少一个限位部与对应的连接部螺纹连接。

进一步地，每个连接件包括一个螺栓和与所述螺栓连接的螺母，所述螺栓的螺杆部形成所述连接部，所述螺栓的螺头部形成一个限位部，所述螺母形成另一个限位部；或，

每个连接件包括一个螺杆和与所述螺杆连接的两个螺母，所述螺杆形成所述连接部，所述两个螺母形成所述两个限位部。

进一步地，所述第一连接法兰上与设有多个与所述多个第一连接豁口一一对应的第一容置槽，每个第一容置槽与对应的第一连接豁口的一部分重叠形成阶梯状结构；

所述第二连接法兰上与设有多个与所述多个第二连接豁口一一对应的容置槽，每个第二容置槽与对应的第二连接豁口的一部分重叠形成阶梯状结构；

所述多个第一容置槽与所述多个第二容置槽分别设置于所述第一连接法兰和所述第二连接法兰相对设置时互相背离的两个侧面上；

在所述顶盖和所述坩埚本体连接时，每个连接件的螺栓的螺头部和螺母可分别卡接于与对应的第一容置槽和第二容置槽，或，每个连接件的两个螺母分别卡接于与对应的第一容置槽和第二容置槽。

进一步地，每个连接件的螺母为立方体螺母、半球体螺母或六角螺母。

进一步地，每个第一容置槽，和/或，每个第二容置槽为矩形槽、半球形槽或六角形槽。

优选地，所述第一连接法兰设置于所述坩埚本体的开口的周缘，所述第二连接法兰设置于所述顶盖的周缘。

进一步地，所述第一连接法兰与所述坩埚本体为一体式结构，和/或，所述第二连接法兰与所述顶盖为一体式结构。

优选地，所述多个第一连接豁口在所述第一连接法兰上均匀分布，所述多个第二连接豁口在所述第二连接法兰上均匀分布。

本实用新型还提供了一种蒸镀设备，包括至少一个如上所述的坩埚。

附图说明

图1是本实用新型的实施例提供的一种坩埚的分解结构示意图；

图2是图1中A区域的局部放大图；

图3是图1中B区域的局部放大图；

图4是本实用新型的实施例提供的一种坩埚的结构示意图；

图5是本实用新型的实施例提供的坩埚的连接件的一种结构示意图；

图6是本实用新型的实施例提供的坩埚的连接件的另一种结构示意图；

图7是本实用新型的实施例提供的坩埚的连接件的另一种结构示意图。

附图标记：

10，坩埚本体；20，顶盖；30，连接机构；31，第一连接法兰；

311，第一连接豁口；312，第一容置槽；32，第二连接法兰；

321，第二连接豁口；322，第二容置槽；

33，连接件；331，螺栓；332，螺母；333，双头螺杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

参见图1-图7所示，本实施例提供了一种坩埚，用于解决现有技术中的坩埚由于取出断裂螺钉的过程繁琐而导致的蒸镀设备维护效率低和产能下降的问题。

该坩埚的结构参见图1所示，包括坩埚本体10和与坩埚本体10可拆卸连接的顶盖20，还包括用于连接坩埚本体10和顶盖20的连接机构30。

如图1所示，连接机构30包括设置于坩埚本体10的第一连接法兰31，具体实施中，第一连接法兰31应设置于坩埚本体10的两侧或四周，其厚度应根据坩埚本体10和顶盖20之间的连接强度需求进行设置；第一连接法兰31的边缘上设有多个贯穿第一连接法兰31厚度方向的第一连接豁口311，第一连接豁口311的结构参见图2所示，本实施例中的第一连接豁口311为U形结构，具体实施中，第一连接豁口311还可为矩形、半圆形等形状；

继续参见图1所示，连接机构30还包括设置于顶盖20的第二连接法兰32，具体实施中，第二连接法兰32应设置于顶盖20的两侧或四周，其厚度应根据坩埚本体10和顶盖20之间的连接强度需求进行设置；第二连接法兰32的边缘上设有与多个贯穿第二连接法兰32厚度方向的第二连接豁口321，多个第一连接豁口311与多个第二连接豁口321一一对应；第二连接豁口321的结构参见图3所示，本实施例中的第二连接豁口321为U形结构，具体实施中，第二连接豁口321还可为矩形、半圆形等形状；

继续参见图1所示，连接机构30还包括多个连接件33，多个连接件33与多个第一连接豁口311和多个第二连接豁口321一一对应设置，需要说明的是，为便于说明，图1中只示出一个连接件33。每个连接件33包括连接部和设置于连接部两端的两个限位部，每个连接件33的两个限位部在对应的连接部的延伸方向上的距离可调；本实施例一种具体实现方式中，每个连接件33中，至少一个限位部与对应的连接部螺纹连接，以实现两个限位部之间的相对距离的调节。具体地参见图1所示，每个连接件33包括一个螺栓331和与螺栓331连接的螺母332，螺栓331的螺杆部形成连接部，螺栓331的螺头部形成一个限位部，螺母332形成另一个限位部，拧动螺母332，即可调节螺母332与螺栓331的螺头部之间的距离；

参见图1和图4所示，在顶盖20和坩埚本体10连接时，第一连接法兰31与第二连接法兰32相对，每个第一连接豁口311在第二连接法兰32的投影的至少一部分与对应的第二连接豁口321重合，且每个螺栓331的螺杆部位于对应的第一连接豁口311和第二连接豁口321内，且每个螺栓331的螺头部和对应的每个螺母332分别与第一连接法兰31和第二连接法兰32相背的两个侧面卡接，将每个螺母332拧紧，即可将坩埚本体10和顶盖20之间进行连接为图4中所示结构。

由于每个连接件33的连接部可由对应的第一连接豁口311和第二连接豁口321的开口处运动到对应的第一连接豁口311和第二连接豁口321内部或外部，因此，在需要更换连接件33时，将两个限位部松开，即可将连接件33由对应的第一连接豁口311和第二连接豁口321的开口处取下或装入，而无需拆卸其他连接件33，提高了坩埚的维护效率，改善了现有技术中的坩埚由于取出断裂螺钉的过程繁琐而导致的蒸镀设备维护效率低和产能下降的问题。

需要说明的是，图1所示的螺母332为圆柱体结构，而在其他实现方式中，根据第一连接法兰31和第二连接法兰32的宽度大小需求，还可将每个连接件33的螺母332设置为图5中所示的立方体螺母332、或图6中所示的半球体螺母332或图7中所示的六角螺母332。在螺母332为圆柱体或矩形登非标准结构时，可通过控制螺母332的加工工艺，使其体积小于同等螺纹内径的标准件螺母332，以减小第一连接法兰31和第二连接法兰32用于加工第一连接豁口311和第二连接豁口321的边的宽度，进而进一步减小坩埚的体积。

另一种具体实现方式中，参见图7所示，连接件33还可采用一个双头螺杆333和两个螺母332实现，即每个连接件33包括一个螺杆和与螺杆连接的两个螺母332，螺杆形成连接部，两个螺母332形成两个限位部，同样可实现顶盖20和坩埚本体10之间的连接。图7中的螺母332也可采用图5或图6中所示的立方体或半球体结构。

参见图2和图3所示，为进一步提高连接件33与第一连接豁口311和第二连接豁口321之间的连接稳定性，第一连接法兰31上与设有多个与多个第一连接豁口311一一对应的第一容置槽312，每个第一容置槽312与对应的第一连接豁口311的一部分重叠形成阶梯状结构；第二连接法兰32上与设有多个与多个第二连接豁口321一一对应的容置槽，每个第二容置槽322与对应的第二连接豁口321的一部分重叠形成阶梯状结构；多个第一容置槽312与多个第二容置槽322分别设置于第一连接法兰31和第二连接法兰32相对设置时互相背离的两个侧面上；在顶盖20和坩埚本体10连接时，每个连接件33的螺栓331的螺头部和螺母332可分别卡接于与对应的第一容置槽312和第二容置槽322，提高了螺栓331的螺头部和螺母332与第一连接豁口311和第二连接豁口321之间的连接稳定性。

需要说明的是，本实施例中，第一容置槽312和第二容置槽322均为U形结构，且具有与第一连接豁口311和第二连接豁口321朝向相同的开口，在具体实施中，与所使用的螺母332的形状相适应地，第一容置槽312和第二容置槽322还可采用图5中所示的矩形、或图6中所示的半球形结构，且可不具有开口。

为提高坩埚本体10和顶盖20之间的连接稳定性，参见图1和图4所示，一种具体实施方式中，第一连接法兰31设置于坩埚本体10的开口的周缘，第二连接法兰32设置于顶盖20的周缘。在顶盖20和坩埚本体10连接时，第一连接法兰31和第二连接法兰32贴合，进一步提高了坩埚本体10和顶盖20之间的连接稳定性。

为进一步提高坩埚本体10和顶盖20之间的连接稳定性，一种具体实施方式中，第一连接法兰31与坩埚本体10为一体式结构，或第二连接法兰32与顶盖20为一体式结构，或第一连接法兰31与坩埚本体10为一体式结构且第二连接法兰32与顶盖20为一体式结构。

此外，参见图1和图4所示，一种具体实施方式中，多个第一连接豁口311在第一连接法兰31上均匀分布，多个第二连接豁口321在第二连接法兰32上均匀分布，同样可提高提高坩埚本体10和顶盖20之间的连接稳定性。

实施例二

基于同一实用新型构思，本实施例提供了一种蒸镀设备，包括至少一个如上述实施例一提供的坩埚。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。