一种蒸镀掩膜版以及蒸镀设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示设备制造领域，尤其涉及一种蒸镀掩膜版以及蒸镀设备。
【背景技术】
[0002]随着显示技术的急速进步，作为显示装置核心的半导体元件技术也随之得到了飞跃性的进步。对于现有的显示装置而言，有机发光二极管(Organic Light EmittingD1de, OLED)作为一种电流型发光器件，因其所具有的自发光、快速响应、宽视角和可制作在柔性衬底上等特点而越来越多地被应用于高性能显示领域当中。
[0003]现有技术中OLED器件包括阴极、阳极以及位于阴极和阳极之间的功能层。所述功能层包括空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层以及电子注入层。其中，有机发光层的成膜方法有很多种，包括蒸镀成膜法、分子束外延法、有机化学气相沉积法以及溶胶-凝胶法等；其中，蒸镀成膜法由于具有操作简单、膜厚容易控制、对薄膜的污染小以及易于实现掺杂等优点，现有技术中多采用蒸镀成膜法形成有机发光层等有机功能膜层，即在真空环境下，将有机材料加热使其蒸发(升华)，并沉积到目标基板上形成对应的膜层。
[0004]然而，在蒸镀上述功能层的过程中，由于从蒸镀源蒸发出的物质呈圆锥型放射状向基板扩散并沉积，容易造成基板上形成的膜层存在厚度不均一的问题，导致显示面板出现亮度或色彩差异，从而降低了产品质量。
【发明内容】
[0005]本发明的实施例提供一种蒸镀掩膜版以及蒸镀设备，能够改善蒸镀的薄膜层厚度不均一的问题。
[0006]为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案:
[0007]本发明实施例的一方面，提供一种蒸镀掩膜版，包括间隔设置的遮挡区和蒸镀区，所述遮挡区设置有遮挡部，所述蒸镀掩膜版还包括至少覆盖所述蒸镀区的挡板；所述挡板包括多个蒸镀子区，每个所述蒸镀子区中设置有多个开孔；所述多个蒸镀子区中包括一个第一蒸镀子区，相对于其余蒸镀子区，所述第一蒸镀子区中单位面积内所有开孔的面积总和最小；距离所述第一蒸镀子区越近的蒸镀子区，该蒸镀子区中单位面积内所有开孔的面积总和越小。
[0008]优选的，所述第一蒸镀子区为圆形且位于所述蒸镀区的中心位置；其余蒸镀子区呈环形与所述第一蒸镀子区同心，并包裹所述第一蒸镀子区；依次远离所述第一蒸镀子区的呈环形的蒸镀子区的面积依次增大。
[0009]优选的，所述挡板通过支架固定于所述遮挡部上，用于使得所述挡板与所述遮挡部之间具有间隙。
[0010]优选的，所述支架的高度为15cm?30cm。
[0011]优选的，所述第一蒸镀子区中开孔的孔径为4.5mm?6.5mm。
[0012]优选的，除了所述第一蒸镀子区以外的蒸镀子区中开孔的孔径为9.5mm?10.5mmο
[0013]优选的，所述挡板的厚度为1.5mm?3.5mmο
[0014]优选的，构成所述挡板的材料为树脂材料或金属材料，所述树脂材料或所述金属材料的耐受温度大于等于200°C。
[0015]本发明实施例的另一方面，提供一种蒸镀设备，包括如上所述的任意一种蒸镀掩膜版。
[0016]优选的，还包括蒸镀源，挡板相对于遮挡部靠近所述蒸镀源。
[0017]本发明实施例提供一种蒸镀掩膜版以及蒸镀设备，该蒸镀掩膜版包括间隔设置的遮挡区和蒸镀区，遮挡区设置有遮挡部，所述蒸镀掩膜版还包括至少覆盖蒸镀区的挡板。挡板包括多个蒸镀子区，每个蒸镀子区中设置有多个开孔。上述多个蒸镀子区中包括一个第一蒸镀子区，相对于其余蒸镀子区，该第一蒸镀子区中单位面积内所有开孔的面积总和最小。并且距离第一蒸镀子区越近的蒸镀子区，该蒸镀子区中单位面积内所有开孔的面积总和越小。
[0018]这样一来，当第一蒸镀子区与现有技术中蒸镀薄膜层的基板上，薄膜层厚度最厚的位置相对应时，由于第一蒸镀子区中单位面积内所有开孔的面积总和相对于其余蒸镀子区最小，因此通过第一蒸镀子区中单位面积的蒸镀材料的量最少。此外，由于距离第一蒸镀子区越近的蒸镀子区，该蒸镀子区中单位面积内所有开孔的面积总和越小，因此通过距离第一蒸镀子区越近的蒸镀子区中单位面积的蒸镀材料的量越少，而通过距离第一蒸镀子区越远的蒸镀子区中单位面积的蒸镀材料的量越多。从而使得现有技术中，原本在基板上形成的薄膜层较厚的位置，通过本发明提供的蒸镀掩膜版进行蒸镀后，薄膜层的厚度有所减少，而原本厚度较薄的位置形成薄膜层的厚度有所增加。进而减小了现有技术中蒸镀薄膜层的基板上薄膜层的厚度差异，改善了薄膜层厚度不均一的问题。
【附图说明】
[0019]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1a为本发明实施例提供的一种蒸镀设备的结构示意图；
[0021]图1b为图1所示的蒸镀掩膜版中遮挡部和蒸镀区的示意图；
[0022]图2为图1a中蒸镀掩膜版上一种挡板的俯视图；
[0023]图3为图1a中蒸镀掩膜版上另一种挡板的俯视图；
[0024]图4为图1a中设置有支架的蒸镀掩膜版的结构示意图。
[0025]附图标记:
[0026]10-基板；101、101’-成膜区；11-薄膜层；12-蒸镀源；20_蒸镀掩膜版；201_遮挡部；202_挡板；2021_蒸镀子区；2023_第一蒸镀子区；2024_除了第一蒸镀子区以外的蒸镀子区；2022_开孔；30_支架；h、h’ -薄膜层的厚度；L-支架的高度；B-挡板的厚度；40_蒸镀区；41_边框；42-遮挡区。
【具体实施方式】
[0027]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0028]本发明实施例提供一种蒸镀掩膜版20，如图1b所示包括间隔设置的遮挡区42和蒸镀区40，该遮挡区42设置有遮挡部201，其中，遮挡部201可以阻挡蒸镀材料抵达如图1a所示的基板10。在此基础上，该蒸镀掩膜版20如图1a所示还包括至少覆盖蒸镀区40的挡板 202。
[0029]上述挡板202可以包括多个蒸镀子区2021，每个蒸镀子区2021中设置有多个开孔2022。具体的如图2所示，上述多个蒸镀子区2021中包括一个第一蒸镀子区2023，其中相对于其余蒸镀子区2024，该第一蒸镀子区2023中单位面积内所有开孔2022的面积总和最小。即其余蒸镀子区2024中单位面积内所有开孔2022的面积总和均大于第一蒸镀子区2023中单位面积内所有开孔2022的面积总和。上述区域蒸镀子区2024为，除了第一蒸镀子区2023中以外的蒸镀子区2024。这样一来，通过第一蒸镀子区2023中单位面积并到达基板10的蒸镀材料最少。
[0030]并且距离第一蒸镀子区2023越近的蒸镀子区2024，该蒸镀子区中单位面积内所有开孔202的面积总和越小。这样一来，通过距离第一蒸镀子区2023越近的蒸镀子区2024中单位面积的蒸镀材料的量越少，而通过距离第一蒸镀子区2023越远的蒸镀子区2024中单位面积的蒸镀材料的量越多。
[0031]需要说明的是，第一、在蒸镀上述薄膜层11的过程中，由于从蒸镀源12蒸发出的物质呈圆锥型放射状向基板10扩散并沉积，容易造成基板10上形成的薄膜层11出现厚度不均一的现象。因此如图1a所示，在基板10上的薄膜层11会具有多个厚度h不同的成膜区101。例如图1a中，薄膜层11在成膜区101’的厚度h’相对于薄膜层11在成膜区101的厚度h而言较小。
[0032]此外，在蒸镀的过程中，每个蒸镀子区2021与一个成膜区101的上、下位置相对应。而与上述第一蒸镀子区2023位置相对应的成膜区101中薄膜层11的厚度最厚。在此情况下，当第一蒸镀子区2023中单位面积内所有开孔2022的面积总和相对于其余蒸镀子区2024最小时，可以使得单位面积内通过第一蒸镀子区2023的蒸镀材料的量最少，以减小与该第一蒸镀子区2023位置相对应的成膜区101中薄膜层的厚度。
[0033]第二、不同的蒸镀设备中基板10上的薄膜层11厚度最厚的位置也不同。当薄膜层11厚度最厚的成膜区101位于基板10的中心位置时。优选的，如图3所示，上述第一蒸镀子区2023为圆形且位于蒸镀区40的中心位置。其余蒸镀子区2024呈环形与第一蒸镀子区2023同心，并包裹该第一蒸镀子区2023。此外，依次远离第一蒸镀子区2023的呈环形的蒸镀子区2024的面积依次增大。这样一来，由于依次远离第一蒸镀子区2023的呈环形的蒸镀子区2024的面积依次增大。因此通过依次远离第一蒸镀子区2023的呈环形的蒸镀子区2024的蒸镀材料的量依次增多，从而使得逐渐远薄膜层11厚度最厚的成膜区101的其余成膜区101’的厚度逐渐增大，进而逐渐减小了基板10上不同成膜区101中薄膜层11的厚度差异，使得基板10上的薄膜层11的厚度更加均匀。
[0034]当然上述仅仅是以第一蒸镀子区2023位于蒸镀区40的中心位置时，对挡板202上的开孔2022的分布情况进行的举例说明。对于第一蒸镀子区2023位于其它位置时，挡板202上开孔2022的分布情况在此不再一一赘述。
[0035]第三、本发明对蒸镀子区2021中开孔2022的分布情况不做限定，可以均匀分布，也可以根据本领域技术人员的需要进行设定。只要能够保证第一蒸镀子区2023中单位面积内所有开孔2022的面积总和相对于其余蒸镀子区2024最小，并且距离第一蒸镀子区2023越近的蒸镀子区2024，该蒸镀子区中单位面积内开孔202的面积总和越小即可。
[0036]第四、挡板202至少覆盖蒸镀区40可以是指，每个蒸镀区40设置有一个挡板202。或者可以是指所有遮挡区42和所有蒸镀区40均被一个遮挡部202覆盖。
[0037]本发明实施例提供一种蒸镀掩膜版，包括间隔设置的遮挡区和蒸镀区，遮挡区设