本实用新型涉及真空镀膜设备领域，具体地说，涉及一种真空镀膜设备的抽真空装置。
背景技术：
现有的真空镀膜设备的抽真空装置包括多个分子泵、两个低真空泵、两个高真空泵、分子泵前级管路。多个分子泵安装在真空镀膜设备的真空箱体上并与该真空箱体内部连通，分子泵前级管路连接在分子泵和高真空泵之间，两个低真空泵分别与真空箱体首尾端内部连通。该抽真空装置的工作流程是首先通过两个低真空泵对真空箱体抽低真空，当箱体内的真空达到设定值后，再启动分子泵和高真空泵对真空箱体抽高真空。由于在抽低真空阶段，只有两个低真空泵在工作，而箱体内部空间很大，这样需要花费的很长时间，生产效率低。
技术实现要素：
本实用新型旨在提供一种真空镀膜设备的抽真空装置，以解决现有抽真空装置抽低真空需要较长时间的问题。为此，本实用新型采用的具体方案如下：
一种真空镀膜设备的抽真空装置，包括多个分子泵、两个低真空泵、两个高真空泵、分子泵前级管路、阀门和连接管，所述分子泵安装在真空镀膜设备的真空箱体上并与该真空箱体内部连通，所述分子泵前级管路连接在分子泵和高真空泵之间，两个低真空泵分别与真空箱体首尾端内部连通，所述连接管一端与分子泵前级管路连通，另一端与真空箱体连通，所述阀门安装在所述连接管上。
进一步地，所述阀门是手动阀或自动阀。
本实用新型采用上述技术方案，具有的有益效果是：当开机时，在抽低真空阶段，两个低真空泵和两个高真空泵可以同时运行，这样就大大减少了抽低真空的时间，提高了生产效率。
附图说明
图1 示出了本实用新型的示意框图。
具体实施方式
为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图。这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理。配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点。图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。
现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。参照图1，真空镀膜设备的抽真空装置1包括多个分子泵10、两个低真空泵20、两个高真空泵30、分子泵前级管路40、阀门50和连接管60，所述分子泵10安装在真空镀膜设备的真空箱体2上并与该真空箱体内部连通，所述分子泵前级管路40连接在分子泵10和高真空泵30之间，两个低真空泵10分别与真空箱体2首尾端内部连通，所述连接管60一端与分子泵前级管路40连通，另一端与真空箱体2连通，所述阀门50安装在所述连接管60上。
在本实施例中，阀门50可以是手动阀门。当需要抽低真空时，操作员手动打开阀门50，而当需要抽高真空时，手动关闭阀门50。但是，阀门50也可以是自动阀门，通过诸如PLC的控制装置根据预先设定的程序对其进行自动控制。
现简要说明一下本实用新型的工作原理。当开机时，在抽低真空阶段，阀门50打开，启动低真空泵20和高真空泵30，当真空箱体2内的真空度达到预设值时，关闭阀门50、停止低真空泵20，然后启动分子泵10，通过分子泵10和高真空泵30进行抽高真空。
综上所述，本实用新型通过利用低真空泵和高真空泵一起对真空箱体进行抽低真空，大大节省了开机时间，从原来需要2-3小时减少到现在只需要20-30分钟，提高了生产效率。本实用新型相对于现有技术仅增加了一阀门及连接管，成本低，但取得很好的效果。
尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本实用新型，但所属领域的技术人员应该明白，在不脱离所附权利要求书所限定的本实用新型的精神和范围内，在形式上和细节上可以对本实用新型做出各种变化，均为本实用新型的保护范围。