技术特征：
技术总结
本申请涉及一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括坩埚主体，以及设置在所述坩埚主体四周的侧面加热装置和设置在所述坩埚主体下方的底部加热装置；所述底部加热装置能够沿着所述侧面加热装置的高度方向上下移动，并支撑所述坩埚主体上升至高于所述侧面加热装置的位置。本申请通过底部设置加热装置，使得坩埚主体能够上下移动，提高保养效率，缩短保养时间，减少多余的工作程序。
技术研发人员：谭伟
受保护的技术使用者：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日：2017.11.27
技术公布日：2018.03.16