一种蒸镀设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示装置的制造技术领域，特别是涉及一种蒸镀设备。
【背景技术】
[0002]OLED (Organic Light-Emitting D1de，有机发光二级管，简称 0LED)显示屏由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等优点，已被列为极具发展前景的下一代显示技术。
[0003]在基板上形成OLED器件通常采用蒸镀工艺，其是指在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸气，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。
[0004]如图1所示，现有的一种蒸镀设备包括:机械手(图中未示出)，以及分布在机械手的主轴外侧的一个蒸镀腔室2、两个基板装载腔室3和一个掩模板存放腔室4，其中:位置相对的两个基板装载腔室，其中一个作为基板传入腔室，另一个作为基板传出腔室；机械手用于在基板装载腔室3和蒸镀腔室2之间运送基板，及在掩模板存放腔室4和蒸镀腔室2之间运送掩模板；蒸镀腔室2内配置有两个并排设置的基板蒸镀工位21、一个线蒸镀源22以及调整对位设备(图中未示出)，两个基板蒸镀工位21的相对的侧边垂直于线蒸镀源22的蒸镀扫描方向；调整对位设备用于调整基板对位基板蒸镀工位21，及调整掩模板对位基板。
[0005]本申请的发明人发现，上述现有技术在将基板送入蒸镀腔室2之后，还需要调整基板与基板蒸镀工位21对位，也就是将基板旋转一定角度至基板的侧边与线蒸镀源22的蒸镀扫描方向垂直，其技术缺陷在于，反复的旋转对位操作不但浪费操作处理时间，而且易造成调整对位设备的机械部件老化，从而导致对位精度降低，致使基板与掩模板无法精确对位，这严重影响到蒸镀的工艺品质。
【发明内容】
[0006]本发明实施例的目的是提供一种蒸镀设备，以简化蒸镀设备的操作，减少蒸镀设备的机械老化，提高蒸镀设备的精度可靠性。
[0007]本发明实施例提供的蒸镀设备，包括机械手，以及分布在机械手的主轴外侧的蒸镀腔室和基板位置调整腔室，其中:
[0008]所述蒸镀腔室内配置有线蒸镀源、两个并排设置的基板蒸镀工位，以及调整掩模板对位基板的调整对位设备，所述两个基板蒸镀工位的相对的侧边垂直于线蒸镀源的蒸镀扫描方向；
[0009]所述基板位置调整腔室内配置有两个并排设置的基板装载工位以及调整基板对位基板装载工位的基板位置调整设备，所述两个基板装载工位分别与所述两个基板蒸镀工位在环绕主轴的周向上位置相对应；
[0010]所述机械手包括两个末端执行器，所述两个末端执行器可对应驱动至两个基板蒸镀工位以及两个基板装载工位。
[0011 ] 优选的，所述蒸镀腔室至少为两个，所述基板位置调整腔室至少为两个，所述蒸镀设备还包括:每个基板蒸镀工位所对应的掩模板存放腔室，所述掩模板存放腔室内的掩模板存放工位与对应的基板蒸镀工位在环绕主轴的周向上位置相对应。
[0012]具体的，所述至少两个基板位置调整腔室包括基板传入位置调整腔室和基板传出位置调整腔室。
[0013]优选的，所述蒸镀设备为多个，相邻两个蒸镀设备中，上游蒸镀设备的基板传出位置调整腔室与下游蒸镀设备的基板传入位置调整腔室之间配置有传送带，或者相邻两个蒸镀设备中，上游蒸镀设备的基板传出位置调整腔室与下游蒸镀设备的基板传入位置调整腔室为共用的一体结构。
[0014]可选的，所述机械手为真空机械手，所述两个末端执行器设置在与主轴枢接的一个机械手臂上，且彼此间隔设定距离。
[0015]优选的，所述机械手为真空机械手，所述两个末端执行器分别设置在与主轴枢接的两个机械手臂上。
[0016]优选的，每个机械手臂为可升降机械手臂。
[0017]优选的，每个机械手臂的末节节臂呈L形。
[0018]较佳的，所述两个机械手臂对称设置。
[0019]可选的，所述两个机械手臂的末端执行器高度相同，或者，所述两个机械手臂的末端执行器高度不同。
[0020]在本发明实施例的技术方案中，基板位置调整腔室内的两个基板装载工位分别与蒸镀腔室内的两个基板蒸镀工位在环绕主轴的周向上位置相对应，因此，机械手从基板装载工位上拾取基板后转动设定角度，可刚好将基板送至相应的基板蒸镀工位，从而使基板的侧边垂直于线蒸镀源的蒸镀扫描方向。与现有技术相比，该方案蒸镀腔室内无需进行基板的调整对位操作，并且可以同时操作两张基板，因此，简化了蒸镀设备的操作，从而有利于减少机械老化和提高设备的精度可靠性。
【附图说明】
[0021]图1为现有一种蒸锻设备的俯视结构不意图；
[0022]图2为本发明一实施例蒸镀设备的俯视结构示意图(机械手在图中未示出)；
[0023]图3为本发明一实施例中机械手的结构示意图；
[0024]图4为本发明一实施例中机械手将基板运送至蒸镀腔室示意图；
[0025]图5为本发明一实施例的蒸镀设备应用于蒸镀生产线示意图。
[0026]附图标记:
[0027]现有技术部分:
[0028]2-蒸镀腔室；3_基板装载腔室；4_掩模板存放腔室；21_基板蒸镀工位；
[0029]22-线蒸镀源。
[0030]本发明实施例部分:
[0031]100a、10b-蒸镀腔室；101-线蒸镀源；102a、102b_基板蒸镀工位；
[0032]200a,200b-基板位置调整腔室；202a、202b_基板装载工位；
[0033]300a、300b-掩模板存放腔室；301_掩模板；302a、302b_掩模板存放工位；
[0034]400-机械手；401_主轴；402a、402b_末端执行器；10_基板；11_传送带。
【具体实施方式】
[0035]为了简化蒸镀设备的操作，减少蒸镀设备的机械老化，提高蒸镀设备的精度可靠性，本发明实施例提供了一种蒸镀设备。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举实施例对本发明作进一步详细说明。
[0036]如图2?图4所示，本发明实施例提供的蒸镀设备，包括机械手400，以及分布在机械手400的主轴401外侧的蒸镀腔室100a、100b和基板位置调整腔室200a、200b，其中:
[0037]蒸镀腔室100a、100b内分别配置有线蒸镀源101、两个并排设置的基板蒸镀工位102a、102b，以及调整掩模板对位基板的调整对位设备(图中未示出)，两个基板蒸镀工位102a、102b的相对的侧边垂直于线蒸镀源101的蒸镀扫描方向；
[0038]基板位置调整腔室200a、200b内分别配置有两个并排设置的基板装载工位202a、202b以及调整基板对位基板装载工位202a、202b的基板位置调整设备，两个基板装载工位202a、202b分别与两个基板蒸镀工位102a、102b在环绕主轴401的周向上位置相对应；
[0039]机械手400包括两个末端执行器402a、402b，两个末端执行器402a、402b可对应驱动至两个基板蒸镀工位102a、102b以及两个基板装载工位202a、202b。
[0040]在本发明实施例中，蒸镀设备可包括一中央腔体，该中央腔体可以呈正多边形，机械手的主轴位于该中央腔体的中心位置，蒸镀腔室、基板位置调整腔室以及掩模板存放腔室等可分布于该中央腔体的周侧，以便于机械手进行搬运操作。机械手的具体类型不限，优选采用真空机械手。
[0041]蒸镀腔室100a、100b内的基板蒸镀工位102a、102b是指:线蒸镀源101对基板进行蒸镀时基板的标准放置工位。线蒸镀源101对基板进行蒸镀时，应使线蒸镀源101的蒸镀扫描方向垂直于基板的一侧侧边，这样，线蒸镀源101在基板的下方作直线往返运动，可将蒸镀材料透过掩模板的镂空区域蒸镀到基板10上。蒸镀腔室内的两个基板蒸镀工位102a、102b并排设置，线蒸镀源101依次在两个基板蒸镀工位102a、102b所放置基板10的下方直线移动，从而完成基板的蒸镀。当其中一个基板蒸镀完毕后，可取出该蒸镀完毕的基板，然后重新放入待蒸镀的基板，从而使得蒸镀作业能够持续进行，以提高蒸镀效率，减少蒸镀材料的浪费。
[0042]两个基板装载工位202a、202b分别与两个基板蒸镀工位102a、102b在环绕主轴401的周向上位置相对应，可以理解为:基板装载工位202a与基板蒸镀工位102a位于以主轴401为圆心的同一周向上，基板装载工位202b与基板蒸镀工位102b位于以主轴401为圆心的同一周向上，并且，两个基板装载工位202a、202b之间的距离等于两个基板蒸镀工位102a、102b之间的距离，这样，机械手从两个基板装载工位202a、202b上拾取基板后转动设定角度，可刚好将基板运送至两个基板蒸镀工位102a、102b，从而使基板的侧边垂直于线蒸镀源101的蒸镀扫描方向。
[0043]在本发明实施例的技术方案中，基板位置调整腔室内的两个基板装载工位分别与蒸镀腔室内的两个基板蒸镀工位在环绕主轴的周向上位置相对应，因此，