一种线形蒸发源及蒸镀设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及蒸镀设备技术领域，特别是涉及一种线形蒸发源及蒸镀设备。
【背景技术】
[0002]近年来，有机电致发光显示器(0LED)作为一种新型的平板显示逐渐受到更多的关注。由于其具有主动发光、发光亮度高、分辨率高、宽视角、响应速度快、低能耗以及可柔性化等特点，成为有可能代替液晶显示的下一代显示技术。
[0003]蒸镀装置是应用于薄膜制备领域的实验和生产设备，在有机电致发光二极管(0LED)、有机太阳能电池(0PV)、有机场效应晶体管(0FET)等有机光电领域被广泛使用。
[0004]有机发光二极管(Organic Light-Emitting D1de，简称0LED)通过蒸镀有机材料来制作构成0LED显示器件的载流子传输层和有机发光层。现今的0LED蒸镀装置的蒸发源分为点形蒸发源和线形蒸发源。在蒸发源中蒸镀的有机蒸镀材料主要分两种，一种是升华型有机材料，另一种则是熔融型有机材料。其中，升华型有机材料主要是将有机材料直接加热，有机材料升华为气态再冷却于基板上形成有机膜层；熔融型有机材料在加热后则先融为液态再升温为气态，最后再冷却于基板上形成有机膜层。
[0005]目前使用的线性源一般由坩祸和设于坩祸上方的多个喷嘴组成，坩祸与喷嘴外周缘设有加热丝，通过对坩祸进行加热，使其中的蒸镀材料变为蒸气，在坩祸内部均匀后蒸气从喷嘴喷出至基板上成膜。
[0006]但是，在使用线形蒸发源的情况下，由于蒸发源的热量放射到喷嘴部时温度不均匀，会发生蒸镀材料堵塞喷嘴的现象，降低蒸镀效率。
【发明内容】
[0007]本发明的目的是提供一种线形蒸发源及蒸镀设备，用以减少喷嘴堵塞现象的发生，提高蒸镀效率。
[0008]为达到上述目的，本发明提供了如下技术方案:
[0009]本发明提供了一种线形蒸发源，包括:一端开口的坩祸，所述坩祸内设有用于容置蒸镀材料的中空腔室；包围在所述坩祸外侧、为所述坩祸提供热量的第一加热器；盖合所述坩祸开口端的顶罩，所述顶罩上设有多个用于向待镀基板喷射气化的蒸镀材料的喷嘴；还包括:
[0010]为每个所述喷嘴提供热量的第二加热器，所述第二加热器包括:与所述喷嘴一一对应、且包裹在对应的所述喷嘴的外表面的加热端。
[0011]本发明提供的线形蒸发源，通过在每个喷嘴的外侧设置第二加热器，使得喷嘴各部分的温度均匀，避免喷嘴处的温度不同或较低，导致蒸镀材料在喷嘴处温度降低冷却成固体堵塞喷嘴的现象的发生，进而可以提高蒸镀效率。
[0012]在一些可选的实施方式中，所述第二加热器为热量均匀分布的加热板，且所述加热板上设有与所述喷嘴—对应的第一通孔以形成多个所述加热端。加热板可以为电加热板，加热板上设有与外接电源电连接的导线，当然，加热板也可以有自身发热的材料制成。
[0013]在一些可选的实施方式中，所述加热板的材料为6061T6铝。6061T6高强度，高硬度(可达HV90度以上)良好的加工效果，氧化效果佳，无沙眼气孔，平整度较好，提高加工效率，降低材料成本。
[0014]在一些可选的实施方式中，所述顶罩与所述坩祸之间通过密封圈密封连接。密封圈的设置可以防止坩祸内的蒸镀材料气化后从坩祸内溢出的现象的发生。
[0015]在一些可选的实施方式中，所述密封圈的材料包括:镍、304不锈钢、316L不锈钢中的任意一种。
[0016]在一些可选的实施方式中，所述顶罩内设有第一扩散板，所述第一扩散板位于所述第二加热器和所述坩祸之间，所述第一扩散板上设有与所述喷嘴一一对应的第一出气口，且所述第一出气口的开度可调。此第一出气口的作用是:可将坩祸内蒸发的气体放射，根据口的大小和位置，可以使得通过喷嘴的气体可均匀的放射。另外，因第一出气口的开度可调，所以可调节坩祸内的材料通过第一出气口的放射量，使得坩祸内部能保持一定的压力。
[0017]在一些可选的实施方式中，所述坩祸内设有第二扩散板，所述第二扩散板位于所述第一扩散板和所述坩祸内的蒸镀材料之间，所述第二扩散板上设有与所述喷嘴一一对应的第二出气口，且所述第二出气口的开度可调。此第二出气口的作用是:可将坩祸内蒸发的气体放射，根据口的大小和位置，可以使得通过喷嘴的气体可均匀的放射。另外，因第二出气口的开度可调，所以可调节坩祸内的材料通过第一出气口的放射量，使得坩祸内部能保持一定的压力。
[0018]在一些可选的实施方式中，所述第一加热器包括:沿所述坩祸高度方向分布的主加热部和辅加热部。主加热部和辅加热部给i甘祸输出的热量可以分别控制，辅加热部可以根据蒸镀材料的多少，选择开启或不开启以及开启后输出的温度。
[0019]在一些可选的实施方式中，每个所述喷嘴上设有喷嘴盖，所述喷嘴盖上设有至少一个喷孔。这样便于控制喷嘴喷射量，提高基板上镀膜厚度的均匀性。
[0020]在一些可选的实施方式中，所述坩祸内设有至少一个挡板以将所述坩祸的中空腔室分成多个子腔室。这样可以提高蒸镀材料蒸发的均匀性。
[0021]在一些可选的实施方式中，所述顶罩上还设有用于测量待镀基板上的蒸镀膜厚度的测量喷嘴。测量喷嘴的设置便于测量待蒸镀基板上的蒸镀膜的厚度，气体通过测量喷嘴放射到测定厚度的系统(通常称为Thickness Monitor)上，通过测定厚度的系统得到蒸镀膜的厚度，且可以提高测量用石英元件的寿命。
[0022]在一些可选的实施方式中，上述线形蒸发源还包括:用于容纳所述坩祸、第一加热器、顶罩以及第二加热器的外壳，所述外壳的顶盖上设有与所述喷嘴一一对应且允许对应的所述喷嘴穿过的第二通孔，所述外壳的顶盖还设有与所述至少一个测量喷嘴一一对应且允许对应的所述测量喷嘴穿过的第三通孔。外壳的设置可以便于对坩祸进行保温，且可以防止蒸发源产生的热量直接喷射到待镀基板上。
[0023]在一些可选的实施方式中，所述外壳的内侧面上设有反射板。反射板的设置用于将第一加热器产生的热量中分散到外壳内壁上的热量反射至坩祸外壁，提高第一加热器的加热效率。
[0024]在一些可选的实施方式中，所述反射板的材料包括:钛、304不锈钢、316L不锈钢、
钼、钽中的任意一种。
[0025]在一些可选的实施方式中，所述外壳的外侧壁设有冷却装置。冷却装置的设置，可以避免热量从外壳的外壁上流失，防止对附近的物体造成烫伤，当然外壳也可以采用绝热材料制成，也可以起到防止对附近的物体造成烫伤的现象的发生。上述冷却装置可以为冷却线或内部设有冷却液体的冷却管。
[0026]本发明还提供了一种蒸镀设备，包括上述任一项所述的线形蒸发源。由于上述线形蒸发源可以减少喷嘴堵塞现象的发生，可以提高蒸镀效率。故本发明提供的蒸镀设备，具有较好的使用性能，且可以提高生产效率。
【附图说明】
[0027]图1为本发明实施例提供的线形蒸发源一种结构示意图；
[0028]图2为本发明实施例提供的线形蒸发源的另一种结构示意图；
[0029]图3为本发明实施例提供的线形蒸发源的第二加热器的结构实体图；
[0030]图4为本发明实施例提供的线形蒸发源的内部部分结构示意图；
[0031]图5为本发明实施例提供的线形蒸发源的第一加热器的结构示意图；
[0032]图6为本发明实施例提供的线性蒸发源的坩祸的内部结构示意图。
[0033]附图标记:
[0034]1-坩祸11-子腔室
[0035]12-挡板21-第一加热器
[0036]211-主加热部212-辅加热部
[0037]22-第二加热器221-第一通孔
[0038]3-顶罩31-喷嘴
[0039]311-喷嘴盖4-密封圈
[0040]51-第一扩散板52-第二扩散板
[0041]6-测量喷嘴7-外壳
[0042]71-顶盖8-冷却装置
【具体实施方式】
[0043]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明专利保护的范围。
[0044]如图1和图2所示，其中:图1为本发明实施例提供的线形蒸发源一种结构示意图；图2为本发明实施例提供的线形蒸发源的另一种结构示意图；本发明提供的线形蒸发源，包括:一端开口的坩祸1，坩祸1内设有用于容置蒸镀材料的中空腔室；包围在坩祸1外侦叭为坩祸1提供热量的第一加热器21 ;盖合坩祸1开口端的顶罩3，顶罩3上设有多个用于向待镀基板喷射气化的蒸镀材料的喷嘴31 ;还包括:
[0045]为每个喷嘴31提供相同的热量的第二加热器22，第二加热器22包括:与喷嘴31——对应，且包裹在对应的喷嘴31的外表面的加热端。
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