专利名称：盐以及用于制备酸生成剂的方法
技术领域：
本发明涉及一种适合用于制备酸生成剂的中间体的盐以及用于制备酸生成剂的方法。
背景技术：
用于采用光刻法的半导体微型制造的化学放大型正性抗蚀剂组合物含有酸生成剂，该酸生成剂通过辐照产生酸。US 2006/0194982A1公开了一种用于制备由式(Bl-I)表示的酸生成剂的方法， 所述方法包括如下所述，将由式(H1-5)表示的盐与由式(H1-4)表示的盐反应，所述由式 (H1-4)表示的盐通过将由式(H1-2)表示的盐与由式(H1-3)表示的化合物反应而获得。
权利要求
1.一种由式(IO)表示的盐
2.根据权利要求1所述的盐，其中m为1。
3.根据权利要求1或2所述的盐，其中Lltl是其中一个或多个-CH2-可以被-0-或-co-代替的二价C1-C17饱和烃基。
4.根据权利要求1或2所述的盐，其中Lki是-CO-。
5.根据权利要求1所述的盐，其中所述由式(IO)表示的盐是由式(I)表示的盐
6.根据权利要求5所述的盐，其中L1是-CO-。
7.根据权利要求5或6所述的盐，其中Z+是三
8.根据权利要求5或6所述的盐，其中Z+是三
9.一种用于制备由式(I)表示的盐的方法芳基锍阳离子或碱金属阳离子。 芳基锍阳离子。
10. 一种用于制备由式(Bi)表示的盐的方法
11.根据权利要求10所述的方法，其中L2是-0-。
全文摘要
本发明公开了一种盐以及用于制备酸生成剂的方法，所述盐由式(I0)表示，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示其中一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替的二价C1-C17烃基，m表示1或2，Zm+表示m价的有机或无机阳离子。
文档编号C07D333/46GK102167684SQ20111003816
公开日2011年8月31日 申请日期2011年2月12日 优先权日2010年2月16日
发明者吉田勋, 市川幸司 申请人:住友化学株式会社