磁控溅射制备的工作压强为5X 10_5Pa，有机材料的蒸镀速率为0.lnm/s,有机材料的蒸镀速率为0.lnm/s，金属的蒸镀速率为lnm/s。磁控溅射的加速电压:800V，磁场约:200G，功率密度:lW/cm2。
[0079]热阻蒸镀方式的具体工艺条件为:工作压强为5X10_5Pa，工作电流为1A，有机材料的蒸镀速率为0.lnm/s，金属及金属化合物的蒸镀速率为lnm/s。
[0080]电子束蒸镀方式的具体工艺条件为:工作压强为5X 10_5Pa，电子束蒸镀的能量密度为lOOW/cm2，有机材料的蒸镀速率为0.lnm/s，金属及金属化合物的蒸镀速率为lnm/s。
[0081]实施例4
[0082]本实施例制备结构为玻璃基底/LiBr/Yb: BCzVBi/FeCl3: Au/IT0/V205/TCTA/BCzVBi/Bphen/LiF/Pt的有机电致发光器件。
[0083]玻璃基底为N-LASF41A，将玻璃基底用蒸馏水、乙醇冲洗干净后，放在异丙醇中浸泡一个晚上在玻璃基底上制备散射层，散射层由锂盐材料层、金属掺杂层和铁盐材料掺杂层组成，在玻璃基板表面采用热阻蒸镀制备锂盐材料层，材料为LiBr，厚度为7nm，在锂盐材料层表面采用热阻蒸镀制备金属掺杂层，材料为Yb:BCzVBi，Yb与BCzVBi的质量比为9:1，厚度为180nm，在金属掺杂层表面采用电子束蒸镀制备铁盐材料掺杂层，材料为FeCl3:Au, FeCl3与Au的质量比为0.25:1，厚度120nm。然后在散射层上制备ITO,厚度为180nm，采用磁控溅射的方法制备；蒸镀空穴注入层，材料为V2O5，厚度为SOnm ;蒸镀空穴传输层:材料为TCTA，厚度为60nm ;蒸镀发光层:所选材料为BCzVBi，厚度为40nm ;蒸镀电子传输层，材料为Bphen,厚度为35nm ;蒸镀电子注入层、材料为LiF,厚度为Inm ;蒸镀阴极，材料为Pt，厚度为250nm ;最后得到所需要的电致发光器件。
[0084]磁控溅射制备的工作压强为2X 10_4Pa，有机材料的蒸镀速率为0.5nm/s,金属化合物的蒸镀速率为0.6nm/s,金属的蒸镀速率为6nm/s。磁控派射的加速电压:600V,磁场约:10G，功率密度:30W/cm2。
[0085]热阻蒸镀方式的具体工艺条件为:工作压强为2X10_4Pa，工作电流为2A，有机材料的蒸镀速率为0.5nm/s，金属及金属化合物的蒸镀速率为6nm/s。
[0086]电子束蒸镀方式的具体工艺条件为:工作压强为2X 10_4Pa，电子束蒸镀的能量密度为25W/cm2，有机材料的蒸镀速率为0.5nm/s，金属及金属化合物的蒸镀速率为6nm/s。
[0087]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种有机电致发光器件，其特征在于，包括依次层叠的玻璃基底、散射层、阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极，所述散射层由锂盐材料层、金属掺杂层和铁盐材料掺杂层组成，所述锂盐材料层的材料选自氧化锂、氟化锂、氯化锂及溴化锂中至少一种，所述金属掺杂层包括第一金属材料及掺杂在所述第一金属材料中的所述发光材料，所述第一金属材料的功函数为-2.0eV?-3.5eV,所述发光材料选自4_ (二腈甲基)-2- 丁基-6- (I, I, 7，7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基)-4H-吡喃、9，10- 二 - β -亚萘基蒽、4，4’ -双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1，I’ -联苯及8-羟基喹啉铝中至少一种，所述铁盐材料掺杂层包括铁盐材料及掺杂在所述铁盐材料中的所述第二金属材料，所述铁盐材料选自氯化铁、溴化铁及硫化铁中至少一种，所述第二金属材料功函数为-4.0eV?-5.5eV。
2.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述第一金属材料选自镁、锶、钙及镱中至少一种，所述第二金属材料选自银、铝、钼及金中至少一种。
3.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述锂盐材料层的厚度为5nm?1nm,所述金属掺杂层的厚度为40nm?300nm,所述铁盐材料掺杂层的厚度为10nm ?300nm。
4.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述金属掺杂层中所述第一金属材料与所述发光材料的质量比为1:1?10:1，所述铁盐材料掺杂层中所述铁盐材料与所述第二金属材料的质量比为1:10?3:10。
5.一种有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 在玻璃基底表面蒸镀制备散射层，所述散射层由锂盐材料层、金属掺杂层和铁盐材料掺杂层组成，在所述玻璃基底表面通过热阻蒸镀制备锂盐材料层，所述锂盐材料层的材料选自氧化锂、氟化锂、氯化锂及溴化锂中至少一种，在所述锂盐材料层表面通过热阻蒸镀制备所述金属掺杂层，所述金属掺杂层包括第一金属材料及掺杂在所述第一金属材料中的所述发光材料，所述第一金属材料的功函数为-2.0eV?-3.5eV,所述发光材料选自4- (二腈甲基)-2-丁基-6- (I, 1，7，7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基)-4H-吡喃、9，10-二-β-亚萘基蒽、4，4’ -双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1，I’ -联苯及8-羟基喹啉铝中至少一种，接着在所述金属掺杂层表面通过电子束蒸镀制备铁盐材料掺杂层，所述铁盐材料掺杂层包括铁盐材料及掺杂在所述铁盐材料中的所述第二金属材料，所述铁盐材料选自氯化铁、溴化铁及硫化铁中至少一种，所述第二金属材料功函数为-4.0eV?-5.5eV ； 在所述散射层表面磁控溅射制备阳极，所述阳极的材料为铟锡氧化物、铝锌氧化物或铟锌氧化物 '及 在所述阳极的表面依次蒸镀制备穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极。
6.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法,其特征在于:所述第一金属材料选自镁、锶、钙及镱中至少一种，所述第二金属材料选自银、铝、钼及金中至少一种。
7.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述锂盐材料层的厚度为5nm?1nm,所述金属掺杂层的厚度为40nm?300nm,所述铁盐材料掺杂层的厚度为10nm?300nm。
8.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述金属掺杂层中所述第一金属材料与所述发光材料的质量比为1:1?10:1，所述铁盐材料掺杂层中所述铁盐材料与所述第二金属材料的质量比为1:10?3:10。
9.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述热阻蒸镀方式的工艺具体为:工作压强为2X10_3?5X10_5Pa，工作电流为IA?5A，有机材料的蒸镀速率为0.1?lnm/s,金属及金属化合物的蒸镀速率为lnm/s?10nm/s。
10.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述电子束蒸镀方式的工艺具体为:工作压强为2X10—3?5X10_5Pa，电子束蒸镀的能量密度为1W/cm2?100W/cm2,有机材料的蒸镀速率为0.1?lnm/s,金属及金属化合物的蒸镀速率为lnm/s ?10nm/so
【专利摘要】一种有机电致发光器件，包括依次层叠的玻璃基底、散射层、阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极，所述散射层由锂盐材料层、金属掺杂层和铁盐材料掺杂层组成，所述锂盐材料层的材料选自氧化锂、氟化锂、氯化锂及溴化锂中至少一种，所述金属掺杂层包括第一金属材料及掺杂在所述第一金属材料中的所述发光材料，所述第一金属材料的功函数为-2.0eV～-3.5eV，所述铁盐材料掺杂层包括铁盐材料及掺杂在所述铁盐材料中的所述第二金属材料，所述铁盐材料选自氯化铁、溴化铁及硫化铁中至少一种，所述第二金属材料功函数为-4.0eV～-5.5eV。本发明还提供一种有机电致发光器件的制备方法。
【IPC分类】H01L51-54, H01L51-52, H01L51-56
【公开号】CN104659266
【申请号】CN201310608390
【发明人】周明杰, 黄辉, 陈吉星, 王平
【申请人】海洋王照明科技股份有限公司, 深圳市海洋王照明技术有限公司, 深圳市海洋王照明工程有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年11月25日