机械手从基板装载工位上拾取基板后转动设定角度，可刚好将基板送至相应的基板蒸镀工位，从而使基板的侧边垂直于线蒸镀源的蒸镀扫描方向。与现有技术相比，该方案蒸镀腔室内无需进行基板的调整对位操作，并且可以同时操作两张基板，因此，简化了蒸镀设备的操作，从而有利于减少机械老化和提高设备的精度可靠性。
[0044]机械手的具体结构形式不限，例如，在本发明的一个实施例中，两个末端执行器设置在与主轴枢接的一个机械手臂上，且彼此间隔设定距离。
[0045]优选的，如图3和图4所示，两个末端执行器402a、402b对应设置在与主轴401枢接的两个机械手臂上。机械手臂包括顺序铰接的多节节臂，其伸展时的臂姿可驱动两个末端执行器402a、402b至两个基板蒸镀工位102a、102b或者两个基板装载工位202a、202b。
[0046]每个机械手臂优选为可升降机械手臂。这样，两个机械手臂的末端执行器高度不同时，可以通过驱动机械手臂升降，使末端执行器处于合适的操作高度。此外，也可以在其中一个机械手臂的末节节臂与末端执行器之间设置纵向的连接件，从而使两个机械手臂的末端执行器处于同一操作高度。
[0047]在图3所示的实施例中，每个机械手臂的末节节臂呈L形，基板蒸镀工位102a、102b和基板装载工位202a、202b的中心轴线偏离机械手的主轴401设定距离。优选的，如图4所示，将两个机械手臂的结构对称设置。此外，机械手臂也可以采用其它结构形式，只要在展开时，能够使末端执行器准确驱动至基板蒸镀工位102a、102b及基板装载工位202a、202b即可。还需要说明的是，本发明上述实施例中，两个机械手臂可以根据需要同步动作或者单独动作。
[0048]在本发明一实施例中，蒸镀腔室至少为两个，基板位置调整腔室至少为两个，蒸镀设备还包括:每个基板蒸镀工位所对应的掩模板存放腔室，掩模板存放腔室内的掩模板存放工位与对应的基板蒸镀工位在环绕主轴的周向上位置相对应。蒸镀腔室、基板位置调整腔室、掩模板存放腔室的具体数量、位置可根据中央腔体的具体结构来设计，中央腔体可以大致呈五边形、六边形、八边形等等。至少两个基板位置调整腔室可以包括基板传入位置调整腔室和基板传出位置调整腔室，每个基板位置调整腔室内设置基板位置调整设备，以使基板与基板装载工位对位，使机械手能够准确拾取。
[0049]如图2所示，该实施例中，中央腔体大致呈正五边形，蒸镀腔室为两个(分别为蒸镀腔室100a、100b)，基板位置调整腔室为两个(分别为基板位置调整腔室200a、200b)，掩模板存放腔室为两个(分别为掩模板存放腔室300a、300b)。两个蒸镀腔室100a、10b和基板传入位置调整腔室(即图中左侧的基板位置调整腔室200a)分别设置于中央腔体的三个边侧，基板传出位置调整腔室(即图中右侧的基板位置调整腔室200b)与基板传入位置调整腔室相对而置。两个掩模板存放腔室300a、300b分别设置在中央腔体的另外两个边侧，并且，掩模板存放腔室300a、300b内的掩模板存放工位与蒸镀腔室内的其中一个基板蒸镀工位在环绕主轴的周向上位置相对应，即掩模板存放工位302a对应于基板蒸镀工位102a，掩模板存放工位302b对应于基板蒸镀工位102b。当基板在蒸镀腔室内放置到位后，机械手从掩模板存放工位上拾取掩模板301，然后转动设定角度，可刚好将掩模板送至相应的基板下方；之后，调整对位设备调整掩模板上的对位标记与基板上的对位标记对位，以使蒸镀时基板上能够形成准确的膜层图案。
[0050]本发明实施例所提供的蒸镀设备可应用于蒸镀生产线中，具体的，如图5所示，蒸镀设备为多个，相邻两个蒸镀设备中，上游蒸镀设备的基板传出位置调整腔室与下游蒸镀设备的基板传入位置调整腔室之间配置有传送带11。此外，相邻两个蒸镀设备中，上游蒸镀设备的基板传出位置调整腔室与下游蒸镀设备的基板传入位置调整腔室也可以为共用的一体结构，这样可以减小蒸镀生产线的占地面积并节约设备成本。该方案提高了蒸镀生产线的工作效率，并且有利于减少机械老化和提高设备的精度可靠性。
[0051]本发明实施例所提供的蒸镀设备应用于蒸镀生产线时，工作过程如下:
[0052]基板传入位置调整腔室内的基板位置调整设备将两个基板调整至与基板装载工位 202a、202b 对位；
[0053]机械手400的两个机械手臂伸展至特定臂姿，使两个末端执行器402a、402b对应驱动至两个基板装载工位202a、202b拾取基板；
[0054]两个机械手臂缩回，并转动设定角度；
[0055]两个机械手臂再次伸展至特定臂姿，将基板送至蒸镀腔室10a内的基板蒸镀工位102a、102b，此时，基板的侧边垂直于线蒸镀源101的蒸镀扫描方向；
[0056]机械手臂通过类似的上述动作将掩模板301送至相应的基板下方；
[0057]调整对位设备调整掩模板上的对位标记与基板上的对位标记对位；
[0058]线蒸镀源101在基板的下方透过掩模板对基板进行蒸镀扫描，当其中一个基板蒸镀完成后，相应的机械手臂可将该基板运送至蒸镀腔室10b进行下一步蒸镀工序，机械手臂的动作与上述动作类似；
[0059]当基板在蒸镀腔室10b内的蒸镀完成后，机械手通过类似的动作，将基板运送至基板传出位置调整腔室，之后可通过下一蒸镀设备继续进行后续的蒸镀工艺。
[0060]可以看出，该蒸镀设备的操作较为简化，蒸镀腔室内无需进行基板的调整对位操作，并且可以同时操作两张基板，从而有利于减少机械老化和提高设备的精度可靠性。
[0061]显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括机械手，以及分布在机械手的主轴外侧的蒸镀腔室和基板位置调整腔室，其中: 所述蒸镀腔室内配置有线蒸镀源、两个并排设置的基板蒸镀工位，以及调整掩模板对位基板的调整对位设备，所述两个基板蒸镀工位的相对的侧边垂直于线蒸镀源的蒸镀扫描方向； 所述基板位置调整腔室内配置有两个并排设置的基板装载工位以及调整基板对位基板装载工位的基板位置调整设备，所述两个基板装载工位分别与所述两个基板蒸镀工位在环绕主轴的周向上位置相对应； 所述机械手包括两个末端执行器，所述两个末端执行器可对应驱动至两个基板蒸镀工位以及两个基板装载工位。
2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀腔室至少为两个，所述基板位置调整腔室至少为两个，所述蒸镀设备还包括: 每个基板蒸镀工位所对应的掩模板存放腔室，所述掩模板存放腔室内的掩模板存放工位与对应的基板蒸镀工位在环绕主轴的周向上位置相对应。
3.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述至少两个基板位置调整腔室包括基板传入位置调整腔室和基板传出位置调整腔室。
4.如权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备为多个，相邻两个蒸镀设备中，上游蒸镀设备的基板传出位置调整腔室与下游蒸镀设备的基板传入位置调整腔室之间配置有传送带；或者，相邻两个蒸镀设备中，上游蒸镀设备的基板传出位置调整腔室与下游蒸镀设备的基板传入位置调整腔室为共用的一体结构。
5.如权利要求1?4任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述机械手为真空机械手，所述两个末端执行器设置在与主轴枢接的一个机械手臂上，且彼此间隔设定距离。
6.如权利要求1?4任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述机械手为真空机械手，所述两个末端执行器分别设置在与主轴枢接的两个机械手臂上。
7.如权利要求6所述的蒸镀设备，其特征在于，每个机械手臂为可升降机械手臂。
8.如权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，所述两个机械手臂的末端执行器高度相同，或者，所述两个机械手臂的末端执行器高度不同。
9.如权利要求6所述的蒸镀设备，其特征在于，每个机械手臂的末节节臂呈L形。
10.如权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于，所述两个机械手臂对称设置。
【专利摘要】本发明涉及显示装置的制造技术领域，公开了一种蒸镀设备，以简化蒸镀设备的操作，减少蒸镀设备的机械老化，提高蒸镀设备的精度可靠性。蒸镀设备包括机械手，以及分布在机械手的主轴外侧的蒸镀腔室和基板位置调整腔室，其中：蒸镀腔室内配置有线蒸镀源、两个并排设置的基板蒸镀工位，以及调整掩模板对位基板的调整对位设备，两个基板蒸镀工位的相对的侧边垂直于线蒸镀源的蒸镀扫描方向；基板位置调整腔室内配置有两个并排设置的基板装载工位以及基板位置调整设备，两个基板装载工位分别与两个基板蒸镀工位在环绕主轴的周向上位置相对应；机械手包括两个末端执行器，两个末端执行器可对应驱动至两个基板蒸镀工位以及两个基板装载工位。
【IPC分类】C23C14-24, H01L51-56, C23C14-04
【公开号】CN104846330
【申请号】CN201510221513
【发明人】金熏, 金甲锡, 李浩永
【申请人】北京欣奕华科技有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年5月4日