专利名称：感光性硅氧烷组合物、由其形成的固化膜和具有固化膜的元件的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于形成液晶显示元件、有机EL显示元件等的薄膜晶体管(TFT)基板用平坦化膜、触摸屏的保护膜、绝缘膜、半导体元件的层间绝缘膜、或光波导路的芯、覆盖材料等的感光性硅氧烷组合物、由其形成的固化膜、和具有该固化膜的元件。
背景技术：
近年来，对于液晶显示器、有机EL显示器等，要求实现进一步的高精细、高析像清晰度。另外，近年来在液晶显示器等中，触摸屏的采用变得活跃，特别是静电电容方式的触摸屏受到人们的瞩目。·现有技术文献 专利文献
例如在专利文献I中，对于液晶显不器、有机EL显不器等，作为实现进一步的闻精细、高析像清晰度的方法，记载了提高显示装置的开口率的方法。该方法是通过将透明的平坦化膜作为保护膜设置在TFT基板的上部，可使数据线与像素电极重叠，与现有技术相比提高了开口率的方法。作为这种TFT基板用平坦化膜的材料，需要具有高耐热性、高透明性的特性，且为了将TFT基板电极和ITO电极接起来，需要形成数μπι 50μπι左右的穿孔图案，一般可以使用正型感光性材料。专利文献2、3中，作为正型感光性材料的代表性材料，记载了在丙烯酸树脂中组合了重氮醌(々)m y' K)化合物的材料。另一方面，作为具有高耐热性、高透明性的特性的材料，已知有聚硅氧烷，专利文献4、5、6中记载了为了赋予其正型的感光性，而组合了重氮醌化合物的材料，这些材料的耐热性高，即使通过高温处理，也不产生裂纹等的缺点，可以得到高透明的固化膜。专利文献I :日本特开平9 - 152625号公报(权利要求I)
专利文献2 :日本特开2001 - 281853号公报(权利要求I)
专利文献3 :日本特开2001 - 281861号公报(权利要求I)
专利文献4 :日本特开2006 - 178436号公报(权利要求I)
专利文献5 :日本特开2009 - 211033号公报(权利要求I)
专利文献6 :日本特开2010 - 33005号公报(权利要求I)。
发明内容
但是，专利文献I的透明的平坦化膜由于是使用了丙烯酸树脂材料的膜，因此耐热性不充分。另外，专利文献2、3中记载的材料的耐热性不充分，存在由于基板的高温处理，导致固化膜着色，透明性降低的问题。另外，对于触摸屏，为了提高性能，研究了利用作为透明电极构件的ITO的高温成膜进行的高透明化和高导电化，与之相伴，即使对于用作保护膜、绝缘膜的材料，也要求耐热性，但对于这些丙烯酸材料，耐热性不充分，不能形成高透明、高导电的ΙΤ0。专利文献4、5、6中记载的材料对于ITO蚀刻液等药水的耐性不充分，要求耐药品性的提闻。本发明是鉴于上述事实而作出的发明，其课题在于提供可得到具有高耐热性、高透明性的特性、且耐药品性良好的固化膜的感光性硅氧烷组合物。另外，本发明的其它课题在于提供由上述感光性硅氧烷组合物形成的TFT基板用平坦化膜、触摸屏用绝缘膜等的固化膜和具有该固化膜的液晶显示元件等的元件。即，本发明的目的通过含有(a)使通式(I)所示的有机硅烷的I种以上反应来合成的聚硅氧烷、(b)重氮醌化合物、(c)溶剂和(d)通式(2)所示的硅酸酯化合物的感光性硅氧烷组合物来实现。[化I]
权利要求
1.感光性硅氧烷组合物，其含有 Ca)通过使通式(I)所示的有机硅烷的I种以上反应而合成的聚硅氧烷、(b)重氮醌化合物、(C)溶剂和(d)通式(2)所示的硅酸酯化合物， [化I]
2.根据权利要求I所述的感光性硅氧烷组合物，其中，在(d)通式(2)所示的硅酸酯化合物中，R3 R6为甲基。
3.根据权利要求I所述的感光性硅氧烷组合物，其中，进一步含有(e)通式(6)所示的金属螯合物， [化3]
4.根据权利要求I所述的感光性硅氧烷组合物，其中，(b)重氮醌化合物是在通式(7)所示的具有酚性羟基的化合物上以形成酯键的方式结合了重氮萘醌磺酸的化合物， [化4]
5.固化膜，其是由权利要求I所述的感光性硅氧烷组合物形成的固化膜，其中，波长400nm下的每3 μ m膜厚的光透射率为90%以上。
6.元件，其具备权利要求5所述的固化膜。
全文摘要
感光性硅氧烷组合物，其含有(a)通过使通式(1)所示的有机硅烷的1种以上反应而合成的聚硅氧烷、(b)重氮醌化合物、(c)溶剂和(d)通式(2)所示的硅酸酯化合物。(式(1)中，R1表示氢、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为2～10的烯基、碳原子数为6～15的芳基的任一者，多个R1可以分别相同或不同，R2表示氢、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基、碳原子数为6～15的芳基的任一者，多个R2可以分别相同或不同，n表示0～3的整数。)(式(2)中，R3～R6分别独立地表示氢、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基、碳原子数为6～15的芳基的任一者，ｐ表示2～10的整数。)可以提供能够得到具有高耐热性、高透明性的特性、且耐药品性良好的固化膜的感光性硅氧烷组合物。。
文档编号G02F1/1368GK102918460SQ201180028270
公开日2013年2月6日 申请日期2011年6月2日 优先权日2010年6月9日
发明者妹尾将秀, 藤原健典, 福原将, 诹访充史, 山本荣悟, 內田圭一 申请人:东丽株式会社